System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置制造方法及图纸_技高网

一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置制造方法及图纸

技术编号:40320062 阅读:10 留言:0更新日期:2024-02-09 14:16
本发明专利技术提出了一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置,该方法包括如下步骤:基于B/S架构部署运行环境;监控晶圆图档文件生成,通过ftp/smb方式下载所述晶圆图档文件到本地;获取所述晶圆图档文件的信息对象,根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法;读取解析后的文件信息,查询转译配置,对标识码进行转译操作;将转译后的标识码存储至csv文件中,并导入到数据库。本发明专利技术使用B/S架构,免客户端安装,无需维护客户端,维护成本低,通过定时检测晶圆图档文件生成,当检测到所述晶圆图档文件时,执行监控逻辑;通过晶圆的转译设置,使得标识码转译为对应的字符或字符串,加快了解析文件和储存数据的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及计算机信息,具体而言,涉及一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置


技术介绍

1、eqp设备在生产测试晶圆(wafer)的时候,会对晶圆进行检测,不同的设备测试对于成功与失败晶圆,采用的识别码(bincode)形式不同,例如:失败晶圆用*表示,成功晶圆用1表示。每个晶圆以及空晶圆最后形成一个由识别码组成的图形,存入txt文件中,这个txt文件称为半导体晶圆图档。

2、目前,对半导体晶圆图档进行解析的系统普遍采用c/s架构,该架构存在如下缺陷:(1)适用面窄:通常用于局域网;(2)通用性差,需安装客户端,部署麻烦,且维护性差,不易扩展;(3)客户端硬件要求高:大数据算力需要高成本硬件支持,对客户端硬件要求较高,(4)解析多文件性能较慢,大数据量展示晶圆图较慢。


技术实现思路

1、鉴于上述问题,本专利技术提供了一种半导体晶圆图档高性能解析方法和装置,通过采用b/s架构的解析系统,加快了解析文件和储存数据的时间。

2、为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种半导体晶圆图档高性能解析方法,包括如下步骤:基于b/s架构部署运行环境;监控晶圆图档文件生成,通过ftp/smb方式下载所述晶圆图档文件到本地;获取所述晶圆图档文件的信息对象,根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法;读取解析后的文件信息,查询转译配置,对标识码进行转译操作;将转译后的标识码存储至csv文件中,并导入到数据库。

3、作为优选方案,所述基于b/s架构部署运行环境,包括如下步骤:在客户端安装浏览器;在服务器安装postgresql数据库管理系统、sql server数据库管理系统、和nginx服务;上传jar包到客户端并启动;所述浏览器通过服务器与数据库进行数据交互。

4、作为优选方案,所述客户端为eqp设备,所述服务器包括map文件服务器、ap服务器和eap服务器,所述数据库为db数据库;则所述浏览器通过服务器与数据库进行数据交互,包括:eqp设备生产晶圆图档文件后,通过ftp/smb上传到map文件服务器;eqp设备生产文件后,通过secs协议传晶圆图档文件给eap服务器;eap服务器通过http/https调用ap服务器接口上传文件到ap服务器;eap服务器通过secs协议从eqp设备下载文件;ap服务器通过http/https调用eap服务器下载文件到ap服务器;ap服务器解析完成后,储存数据到db数据库。

5、作为优选方案,所述监控晶圆图档文件生成,包括:定时检测晶圆图档文件生成,当检测到所述晶圆图档文件时,执行监控逻辑;检查所述晶圆图档文件路径是否与其头部内容相符,若否,则停止监控,并存储数据至数据库中,若是,则执行下一步;检查所述晶圆图档文件中晶圆方向是否匹配,若是,则存储数据至数据库,用于解析,若否,则停止监控。

6、作为优选方案,根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法,包括:获取晶圆原始方向,并通过旋转使得晶圆方向向下;获取晶圆的转译设置,使得标识码转译为对应的字符或字符串。

7、作为优选方案,所述旋转的方向为:将原始方向进行顺时针或逆时针转动90°、180°、270°。

8、作为优选方案,还包括配置解析基础设置,具体为:配置转译前的标识码为“*”,转译后的标识码为“f”。

9、本专利技术还提供了一种半导体晶圆图档高性能解析装置,包括:部署模块,基于b/s架构部署运行环境;监控模块,用于监控晶圆图档文件生成,通过ftp/smb方式下载所述晶圆图档文件到本地;解析模块,用于获取所述晶圆图档文件的信息对象,根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法;转译模块,用于读取解析后的文件信息,查询转译配置,对标识码进行转译操作;存储模块,用于将转译后的标识码存储至csv文件中,并导入到数据库。

10、与现有技术相比,本专利技术的有益效果包括:使用b/s架构,免客户端安装,无需维护客户端,维护成本低。通过定时检测晶圆图档文件生成,当检测到所述晶圆图档文件时,执行监控逻辑;解析文件时,首先获取晶圆原始方向,并通过旋转使得晶圆方向向下,再获取晶圆的转译设置,使得标识码转译为对应的字符或字符串,加快了解析文件和储存数据的时间。

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【技术保护点】

1.一种半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述基于B/S架构部署运行环境,包括如下步骤:

3.根据权利要求2所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述客户端为EQP设备,所述服务器包括MAP文件服务器、AP服务器和EAP服务器,所述数据库为DB数据库;则

4.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述监控晶圆图档文件生成,包括:定时检测晶圆图档文件生成,当检测到所述晶圆图档文件时,执行监控逻辑;

5.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,根据所述信息对象匹配解析方式后执行解析算法,包括:

6.根据权利要求5所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述旋转的方向为:将原始方向进行顺时针或逆时针转动90°、180°、270°。

7.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,还包括配置解析基础设置,具体为:配置转译前的标识码为“*”,转译后的标识码为“F”。

8.一种半导体晶圆图档高性能解析装置,其特征在于,包括:

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【技术特征摘要】

1.一种半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述基于b/s架构部署运行环境,包括如下步骤:

3.根据权利要求2所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述客户端为eqp设备,所述服务器包括map文件服务器、ap服务器和eap服务器,所述数据库为db数据库;则

4.根据权利要求1所述的半导体晶圆图档高性能解析方法,其特征在于,所述监控晶圆图档文件生成,包括:定时检测晶圆图档文件生成,当检测到所述晶圆图档文件...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡发云
申请(专利权)人:江苏道达智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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