薄膜热电偶及其制备方法技术

本申请提供一种薄膜热电偶及其制备方法。所述热电偶包括：基底；电极层，所述电极层设置于所述基底的一侧，所述电极层包括正极区、负极区和热结点区，所述热结点区设置在所述正极区和所述负极区之间且连通所述正极区和所述负极区；热吸收层，所述热吸收层设置于所述电极层远离所述基底的一侧，所述热吸收层至少覆盖所述热结点区；其中，所述热吸收层的热吸收率大于所述热吸收层的热反射率。本申请提供的薄膜热电偶响应时间极快，适用于发动机尾喷管尾焰温度、燃烧室燃气温度、炸药爆炸温度、高速飞行器头锥表面温度等高温恶劣环境下瞬态温度测量，具有极高的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及温度传感器，特别是涉及一种薄膜热电偶及其制备方法。

技术介绍

1、在航空、航天以及武器装备中，存在大量需要准确测量的瞬态温度，如发动机尾喷管尾焰温度、燃烧室燃气温度、炸药爆炸温度、高速飞行器头锥表面温度等。因此需要一种超快响应的温度测量方法，能够准确快速反馈热端部件的工作状态。薄膜热电偶是一种把两种热电极用特殊的方法沉积在绝缘基片上而形成的一种特殊结构的热电偶，因其热容量小，相较于传统热电偶，薄膜热电偶的响应时间更快。但目前的薄膜热电偶仍无法实现瞬态温度的测量。因此，如何进一步提高薄膜热电偶的响应时间，成为人们亟待解决的问题。

技术实现思路

1、基于此，本申请提供一种薄膜热电偶及其制备方法，能够有效提高薄膜热电偶的响应时间。

2、本申请的一个方面，提供了一种薄膜热电偶，包括：

3、基底，

4、电极层，所述电极层设置于所述基底的一侧，所述电极层包括正极区、负极区和热结点区，所述热结点区设置在所述正极区和所述负极区之间且连通所述正极区和所述负极区；

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【技术保护点】

1.一种薄膜热电偶，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热吸收层的热吸收率与所述热吸收层的热反射率之比为(6～14)：1。

3.根据权利要求1所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热吸收层的材料包括黑镍、黑铬、AlNxOy和TiNxOy超级蓝膜材料中的至少一种。

4.根据权利要求1～3任一项所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热结点区的厚度和所述热吸收层的厚度之比为1.6～2.4。

5.根据权利要求4所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热结点区的厚度为200nm～800nm，和/或，所述热吸收层的厚度为100nm...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜热电偶，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热吸收层的热吸收率与所述热吸收层的热反射率之比为(6～14)：1。

3.根据权利要求1所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热吸收层的材料包括黑镍、黑铬、alnxoy和tinxoy超级蓝膜材料中的至少一种。

4.根据权利要求1～3任一项所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热结点区的厚度和所述热吸收层的厚度之比为1.6～2.4。

5.根据权利要求4所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述热结点区的厚度为200nm～800nm，和/或，所述热吸收层的厚度为100nm～400nm。

6.根据权利要求1～3任一项所述的薄膜热电偶，其特征在于，所述正极区包括正极对接部和正极焊盘，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖倩，阮勇，吴宇，石萌，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：