一种微结构式气体传感器制造技术

一种微结构式气体传感器，被构造为多个功能层重叠的层结构，多层结构的至少部分区域构成用于产生气体反应以执行检测的中置区域，以及用于将中置区域与周边其余部分连接的至少四个悬梁，其中，悬梁将中置区域悬空设置在衬底的底部空间内，且在中置区域和/或悬梁上方设置相对悬空的遮蔽面，遮蔽面被构造为至少以减弱垂直于中置区域和/或悬梁上方气体流动而产生的热对流以及反馈中置区域和/或悬梁向其发散的热辐射的方式减小中置区域和/或悬梁的热量散失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气敏传感领域，尤其涉及一种微结构式气体传感器。

技术介绍

1、cn102359980a涉及一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及制作方法，传感器的结构包括：衬底框架，隔热腔体，加热膜区，过渡区，支撑悬梁，加热电阻丝，供电引线，供电电极，叉指电极，探测引线，探测电极，和敏感膜。其结构特征为：位于隔热腔体上方的加热膜区通过过渡区和支撑悬梁与衬底框架相连；加热电阻丝以折线的形式排布在加热膜区上，并通过供电引线与衬底框架上的供电电极相连；叉指电极排布在加热电阻丝的间隙，并通过探测引线与探测电极相连；敏感膜位于加热膜区上，覆盖整个加热电阻丝和叉指电极，并和叉指电极有良好的电联接。

2、现有技术中，为降低气体传感器的功耗(主要是为了降低加热电极的功耗)，更多关注的是热量传递中效率最高的热传导热量散失，实际上剩余的热量传递方式，即热对流以及热辐射造成的热量损失也不能忽视。

3、基于陶瓷板的金属氧化物气体传感器功耗高，材料一致性差，且使用传统的涂敷等方法加载材料，生产效率较低。对于基于mems技术的金属氧化物气体传感器，其由化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微结构式气体传感器，被构造为多个功能层重叠的层结构，包括，

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述遮蔽面(330)包括被配置为面向所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的第一面，其中，所述第一面配置为，针对其面向的所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的热辐射之发出，而在其表面形成红外电磁辐射的反射路径，以使得经由所述中置区域(320)和/或悬梁(310)发散的热辐射被返回至其发散原位。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，所述遮蔽面(330)包括被配置为背离所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的第二面，其中，所...

【技术特征摘要】

1.一种微结构式气体传感器，被构造为多个功能层重叠的层结构，包括，

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述遮蔽面(330)包括被配置为面向所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的第一面，其中，所述第一面配置为，针对其面向的所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的热辐射之发出，而在其表面形成红外电磁辐射的反射路径，以使得经由所述中置区域(320)和/或悬梁(310)发散的热辐射被返回至其发散原位。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，所述遮蔽面(330)包括被配置为背离所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的第二面，其中，所述第二面被配置为，基于其背离的所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的热辐射中的部分辐射能量被所述第一面吸收，而以其相对较低的热量释放系数，使得所述第二面以升温的方式储存热量。

4.根据前述权利要求之一所述的气体传感器，其特征在于，所述遮蔽面(330)按照垂直方向上覆盖所述中置区域(320)和/或悬梁(310)的投影形状的方式悬设在前述两者之一或全部之上，如此设置下，所述中置区域(320)除与所述悬梁(310)连接的其余周边的空置部位的上空未被或者未完全被所述遮蔽面(330)所覆盖。

5.根据前述权利要求之一所述的气体传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：周清峰，谭振贤，梁健汉，赵健豪，伍军保，
申请(专利权)人：艾感科技广东有限公司，
类型：发明
国别省市：