【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体输送管道，尤其涉及一种管道监控装置及管道监控方法。
技术介绍
1、在半导体工厂中，许多气体具有高度的危险性，例如硅烷、三氟化氯、氯气等气体都有较高的危险性，对于前述的气体传输过程中，为了保证气体传输的安全性，通常会使用双套管的方式进行传输。双套管包括内管和外管，内管设置于外管内部，在气体在内管中传输。当内管泄漏时，外管可以起到一定程度的防护作用，防止气体泄漏到工厂环境中，从而降低风险。
2、现有技术中有一种双重套管装置，双重套管装置包括内管和外管，内管设置于外管内部，内管用于传输气体，外管的一侧设置有气压传感装置，外管与内管之间填充有氮气，套管的顶部设置有气体检测报警装置。在现有技术的方案中，当外管或内管发生泄漏时，将会引起外管与内管之间的气压产生变化，从而引起气压传感装置的变化，进而引起气体检测报警装置的工作，提示操作人员对双重套管进行维修或更换。
3、但是，在上述技术方案中，不管是内管发生泄漏还是外管发生泄漏，都会引起气压传感装置的变化，操作人员无法直接从气压传感装置的变化上判断出内管发生泄...
【技术保护点】
1.一种管道监控装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括抽气组件，所述抽气组件的抽气端口与所述第二空间内部连通，所述抽气组件用于抽出所述第二空间内的气体。
3.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括充气组件，所述充气组件的充气端口与所述第二空间内部连通，所述充气组件用于向所述第二空间内充入气体。
4.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括报警组件；
5.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种管道监控装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括抽气组件，所述抽气组件的抽气端口与所述第二空间内部连通，所述抽气组件用于抽出所述第二空间内的气体。
3.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括充气组件，所述充气组件的充气端口与所述第二空间内部连通，所述充气组件用于向所述第二空间内充入气体。
4.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述管道监控装置还包括报警组件；
5.根据权利要求1所述的管道监控装置，其特征在于，所述第二管道(3)的长度能够调节，以套设于不同长度的所述第一管道(1)的外部。
6.根据权利要求5所述的管道监...
【专利技术属性】
技术研发人员：舒城，杜洪龙，丁心效，尚华，
申请(专利权)人：正帆科技湖州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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