【技术实现步骤摘要】
技术介绍
技术实现思路
1、考虑到前述内容，申请人已经专利技术了一种高纯度流体控制阀，其包括可移动控制板，该可移动控制板具有至少一个流通通道以增强内部阀体积的流体清扫。该阀为喷射式和阀座式，其中在流体通道的开口处形成相对窄的平面平台，并且平坦座可以移动到与平台接触以阻断流体流动。在本公开内容中，喷射元件通常被描述为孔口凸脊，而座元件通常被描述为控制板。该阀采用嵌套式孔口凸脊，通过提供较大的控制间隙长度和较小的包围面积，在较小的致动器运动下实现高传导。控制板具有连续不间断的平坦部分，该平坦部分的尺寸适于桥接相邻的孔口凸脊段，以在完全关闭状态下阻断体流动。这些孔口凸脊是共面的，并且可以相互搭接以提供光滑的表面，用于使控制板坐落于其上。流通控制板在快速作用比例控制应用中特别有用，比如半导体制造中的气体输送。
2、根据实施例，控制板包括控制板本体，该控制板本体形成为具有平坦侧的基本圆形的盘，其中，控制板本体被至少一个流体通道贯穿，并且该至少一个流体通道从平坦侧延伸到相反侧。通过选择性地将比构成孔口凸脊的材料更软的材料选择性地掺入控制板中，可以额外地提高阀阻断状态下的密封性。这些较软的材料可以是模制到金属控制板中形成的特征中的聚合物材料。
3、根据另一个实施例，阀组件包括阀体和控制板，该阀体包括嵌套的孔口凸脊，在这些孔口凸脊之间限定了中间阀室部分，该中间阀室部分流体连接至流体通道，该控制板包括穿过控制板的至少一个流体通道，其中，穿过控制板的该至少一个流体通道使得流体能够在位于两
4、根据另一个实施例，用于高传导性阀的控制板包括：控制板本体，所述控制板本体形成为具有平坦侧和与所述平坦侧相反的相反侧的基本圆形的盘，所述控制板被配置为通过致动器在阀内移动，所述平坦侧具有连续不间断的平坦部分以阻断所述阀内的流体流动；作为沉头孔限定在所述控制板本体中的中央安装孔，所述中央安装孔终止于在所述控制板本体中限定的控制板通孔，所述控制板通孔的直径小于所述中央安装孔的直径；接纳在所述安装孔中的中央插入件；以及在所述中央插入件中限定的至少一个插入件孔，每个插入件孔与所述控制板通孔共同形成让流体从所述平坦侧流到所述相反侧的流体路径。
5、在一些实施例中，所述至少一个插入件孔包括在所述中央插入件中限定的多个插入件孔。
6、在一些实施例中，所述多个插入件孔围绕所述中央插入件的中央设置，使得所述中央插入件的材料辐板包围所述多个插入件孔中的每一个。
7、在一些实施例中，延伸穿过所述中央插入件的中央的中央通孔，所述中央通孔被构造成将所述中央插入件和所述控制板本体安装到控制轴上。
8、在一些实施例中，所述控制板包括多个流体通道，所述多个流体通道围绕所述控制板本体的径向外部部分设置并且大致笔直地延伸穿过所述控制板本体。
9、在一些实施例中，所述平坦侧包括设置在所述控制板通孔与所述多个流体通道之间的第一连续不间断平坦部分和设置在所述多个流体通道的径向外侧的第二连续不间断平坦部分。
10、在一些实施例中，座插入件接纳在所述控制板本体中，并且所述多个流体通道限定在所述座插入件中。
11、在一些实施例中，所述座插入件包括填满形成在所述控制板本体中的圆形凹槽的盘，所述座插入件包括设置在所述多个流体通道的径向内侧的第一连续不间断平坦部分和设置在所述多个流体通道的径向外侧的第二连续不间断平坦部分。
12、在一些实施例中，所述座插入件进一步包括多个柱状体，所述多个柱状体各自接纳在所述控制板本体的多个开口之一中，每个柱状体从所述盘延伸，所述流体通道中的每个通道延伸穿过所述柱状体和所述盘。
13、在一些实施例中，所述座插入件由聚合物材料形成，并且所述控制板本体由金属或金属材料形成。
14、在一些实施例中，所述中央插入件包括用于将流体从每个插入件孔引导至所述控制板通孔的凹入的底部浮雕结构。
15、在一些实施例中，中央插入件是轴对称的。
16、在一些实施例中，所述中央插入件通过压配合、焊接和钎焊中的一者固定在所述安装孔中。
17、根据另一个实施例，阀组件包括：阀体，所述阀体具有阀室、与所述阀室流体连通的至少一个第一流体导管孔、与所述阀室流体连通的至少一个第二流体导管孔、以及至少一对相邻的孔口凸脊段，所述至少一对相邻的孔口凸脊段从所述阀体延伸到所述阀室中并且在所述至少一对相邻的孔口凸脊段之间限定中间阀室区域；以及控制板，所述控制板包括控制板本体，所述控制板本体具有第一侧和与所述第一侧相反的第二侧，所述控制板本体可在关闭位置与打开位置之间移动，在所述关闭位置，所述第一侧的表面区域密封地接触所述至少一对相邻的孔口凸脊段，在所述打开位置，所述表面区域与所述至少一对相邻的孔口凸脊段之间存在开放的间隙；并且所述控制板进一步包括：所述控制板进一步包括作为沉头孔限定在所述控制板本体中的中央安装孔，所述中央安装孔终止于在所述控制板本体中限定的控制板通孔，所述控制板通孔的直径小于所述中央安装孔的直径；接纳在所述安装孔中的中央插入件；以及在所述中央插入件中限定的至少一个插入件孔，每个插入件孔与所述控制板通孔共同形成让流体从所述平坦侧流到所述相反侧的流体路径。
18、在一些实施例中，所述至少一对相邻的孔口凸脊段包括两个相邻的孔口凸脊段，所述孔口凸脊段是大致圆形的，并且进一步限定了设置在所述两个相邻的孔口凸脊段外侧的外部阀室部分和设置在所述两个相邻的孔口凸脊段内侧的内部阀室部分。
19、在一些实施例中，所述阀组件进一步包括与所述至少一个第一流体导管孔流体连通的第一流体导管和与所述至少一个第二流体导管孔流体连通的第二流体导管，其中，当所述控制板本体处于所述关闭位置时，所述至少一个第一流体导管孔与所述内部阀室部分流体连通，所述至少一个第二流体导管孔与所述中间阀室部分流体连通，并且所述控制板本体的第一侧的表面区域密封地接触所述两个相邻的孔口凸脊段，以防止流体流在所述至少一个第一流体导管孔与所述至少一个第二流体导管孔之间流动。
20、在一些实施例中，当所述控制板本体处于所述关闭位置时，所述至少一个插入件孔和所述控制板通孔在所述内部阀室部分与所述外部阀室部分之间提供流体连通。
21、在一些实施例中，所述阀组件进一步包括与所述至少一个第一流体导管孔流体连通的第一流体导管和与所述至少一个第二流体导管孔流体连通的第二流体导管，其中，当所述控制板本体处于所述关闭位置时，所述至少一个第一流体导管孔与所述外部阀室部分流体连通，所述至少一个第二流体导管孔与所述中间阀室部分流体连通，并且所述控制板本体的第一侧的表面区域密封地接触所述两个相邻的孔口凸脊段，以防止流体在所述至少一个第一流体导管孔与所述至少一个第二流体导管孔之间流动。
22、在一些实施例中，当本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于高传导性阀的控制板，包括：
2.如权利要求1所述的控制板，其中，所述控制板本体由金属材料制成。
3.如权利要求2所述的控制板，其中，所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。
4.如权利要求1所述的控制板，其中，所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。
5.如权利要求1所述的控制板，进一步包括插入件盘，所述插入件盘与所述至少一个柱状体相互连接，所述插入件盘和所述至少一个柱状体一起形成阀座插入件。
6.如权利要求5所述的控制板，其中，所述插入件盘和所述至少一个柱状体由聚合物形成。
7.如权利要求6所述的控制板，其中，所述至少一个开口包括限定在所述控制板本体中并从所述第一侧延伸穿过所述控制板本体至所述第二侧的多个开口，其中所述至少一个柱状体包括多个柱状体，每一个相应的柱状体被接纳在所述多个开口的相应的开口中并通过所述插入件盘相互连接。
8.如权利要求7所述的控制板，其中，形成在相应的柱状体中的每个流体通道延伸穿过所述相应的柱状体并穿过所述插入件盘中相应的孔，以限定多个流体通道，用于流体从所述第一侧通
9.如权利要求8所述的控制板，其中，所述插入件盘填满在所述控制板主体中形成的圆形凹槽，所述插入件盘包括设置在所述多个流体通道径向内侧的第一连续不间断平坦部分和设置在所述多个流体通道径向外侧的第二连续不间断平坦部分。
10.如权利要求5所述的控制板，其中，所述至少一个开口包括多个开口并且所述至少一个柱状体包括多个柱状体，其中在相应的柱状体中形成的每个流体通道延伸穿过所述相应的柱状体并穿过所述插入件盘中的相应的孔，以限定多个流体通道用于流体从所述第一侧穿过到所述第二侧。
11.如权利要求10所述的控制板，其中，所述多个流体通道围绕所述控制板本体的径向外部部分设置并且大致笔直地延伸穿过所述相应的柱状体。
12.如权利要求1所述的控制板，进一步包括
13.如权利要求12所述的控制板，其中，所述至少一个插入件孔包括在所述中央插入件中限定的多个插入件孔。
14.如权利要求12所述的控制板，其中，所述中央插入件包括用于将流体从每个插入件孔引导至所述控制板通孔的凹入的底部浮雕结构。
15.一种阀组件，包括：
16.如权利要求15所述的阀组件，所述控制板进一步包括插入件盘，所述插入件盘与所述至少一个柱状体相互连接，所述插入件盘和所述至少一个柱状体一起形成阀座插入件。
17.如权利要求16所述的阀组件，其中所述至少一个柱状体包括通过所述插入件盘相互连接的多个柱状体。
18.如权利要求17所述的阀组件，其中，每个柱状体从所述插入件盘延伸，并且其中每个流体通道延伸穿过相应的柱状体和所述插入件盘。
19.如权利要求18所述的阀组件，其中，所述控制板本体由金属材料制成，并且所述至少一个柱状体和所述插入件盘由聚合物材料制成。
20.如权利要求15所述的阀组件，其中，所述至少一对相邻的孔口凸脊段包括两个相邻的孔口凸脊段，所述孔口凸脊段是大致圆形的，并且进一步限定了设置在所述两个相邻的孔口凸脊段外侧的外部阀室部分和设置在所述两个相邻的孔口凸脊段内侧的内部阀室部分。
...【技术特征摘要】
1.一种用于高传导性阀的控制板，包括：
2.如权利要求1所述的控制板，其中，所述控制板本体由金属材料制成。
3.如权利要求2所述的控制板，其中，所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。
4.如权利要求1所述的控制板，其中，所述至少一个柱状体由聚合物材料制成。
5.如权利要求1所述的控制板，进一步包括插入件盘，所述插入件盘与所述至少一个柱状体相互连接，所述插入件盘和所述至少一个柱状体一起形成阀座插入件。
6.如权利要求5所述的控制板，其中，所述插入件盘和所述至少一个柱状体由聚合物形成。
7.如权利要求6所述的控制板，其中，所述至少一个开口包括限定在所述控制板本体中并从所述第一侧延伸穿过所述控制板本体至所述第二侧的多个开口，其中所述至少一个柱状体包括多个柱状体，每一个相应的柱状体被接纳在所述多个开口的相应的开口中并通过所述插入件盘相互连接。
8.如权利要求7所述的控制板，其中，形成在相应的柱状体中的每个流体通道延伸穿过所述相应的柱状体并穿过所述插入件盘中相应的孔，以限定多个流体通道，用于流体从所述第一侧通过到所述第二侧。
9.如权利要求8所述的控制板，其中，所述插入件盘填满在所述控制板主体中形成的圆形凹槽，所述插入件盘包括设置在所述多个流体通道径向内侧的第一连续不间断平坦部分和设置在所述多个流体通道径向外侧的第二连续不间断平坦部分。
10.如权利要求5所述的控制板，其中，所述至少一个开口包括多个开口并且所述至少一个柱状体包括多个柱状体，其中在相应的柱状体中形成的每个流体通道延伸穿过所述相...
【专利技术属性】
技术研发人员：乌金玉，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
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