【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及三氯化硼提纯，具体涉及一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统。
技术介绍
1、三氯化硼在许多领域中都有重要的应用和作用，在材料工业上，三氯化硼可以作为硼化合物的重要原料；作为催化剂，三氯化硼可以作为催化剂的组分，参与多种化学反应；在电子材料上，三氯化硼可以用于制备电子材料，如硼化硅、硼酸盐玻璃等。这些材料在半导体、光电子、电子器件等领域具有重要的应用。
2、常见的对三氯化硼提纯的方式有亚氨水洗法：将三氯化硼溶解在水中，然后用亚氨水(氨水的浓度低于饱和溶液)洗涤溶液，使杂质与亚氨水发生反应生成不溶性沉淀，然后将溶液过滤，得到纯净的三氯化硼。蒸馏法：利用三氯化硼和其他杂质的不同沸点，通过蒸馏的方法进行分离。在适当的温度下，将三氯化硼加热蒸发，然后将蒸汽冷凝收集，可以得到纯净的三氯化硼。活性炭吸附法：将三氯化硼溶液通过活性炭床，利用活性炭对杂质的吸附作用，将杂质吸附下来，从而得到纯净的三氯化硼。
3、这种常见的对三氯化硼提纯的方式能够除去大部分三氯化硼提纯中产生的杂质以及有害气体等。但是仍然对提纯中产生的一些一氧化碳、氯气和含硅有机物的分离效果较差。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统，能够实现对三氯化硼提纯的同时，后续也便于对活性碳进行快速的拆装，进而提升了三氯化硼提纯的工序效率。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高纯三氯化硼的提纯工艺，包括以下步骤：
3、s01
4、s02、通过外部加热设备对提纯管道进行加热以对三氯化硼原料进行气化；
5、s03、将气化后三氯化硼的送入至已预热至200℃～230℃的光气分解器中，并以活性碳作为催化剂将三氯化硼中的光气分解为一氧化碳和氯气；
6、s04、将分解后的气体通过冷却器并冷至30℃～50℃；
7、s05、将冷却后的气体通入设置有吸附剂的吸附箱中进行吸附，并且冷却后的气体沿吸附箱底部进入并从吸附箱顶部流出，吸附剂采用活性碳；
8、s06、将吸附除杂后的三氯化硼气体通入精馏塔进行精馏；
9、s07、将精馏后的三氯化硼进行降温并出料，降温温度范围为25℃～30℃。
10、一种高纯三氯化硼的提纯系统，其用于实现上述方案所述的高纯三氯化硼的提纯工艺，包括吸附箱内设置的：
11、流道；
12、连通于流道的更换仓；
13、转动设置于所述流道和更换仓连通处，并由安装板和封闭板组成的l形板架，所述安装板上活动设置有活性碳板；
14、其中，所述l形板架翻转行程下：
15、使活性碳板位于更换仓内/外切换；
16、封闭板则用于控制隔断流道与更换仓。
17、作为优选的，还包括转动设置于吸附箱内的丝杆，所述丝杆通过齿轮组传动使l形板架保持翻转。
18、作为优选的，所述安装板上对称滑动设置有夹持活性碳板用的夹板，夹板和安装板通过两节式连接杆件传动连接，且当安装板贴合于更换仓一侧内壁时夹板释放活性碳板。
19、作为优选的，所述更换仓一侧的内壁上铰接设置有敲击板；
20、还包括驱使敲击板翻转以拨动活性碳板脱离安装板用的撞击单元，所述撞击单元包括滑动于吸附箱内的移动架以及固定安装于移动架上，并和丝杆螺纹转动的螺母件，所述移动架上滑动设置有与敲击板保持挡拆配合的敲击杆。
21、作为优选的，所述敲击杆滑动设置于移动架上固定安装的随动块上；
22、所述敲击杆上固定安装的拉板和随动块之间设置有多个蓄力弹簧，所述吸附箱内设置有锁止拉板以使蓄力弹簧保持蓄力状的锁止组件。
23、作为优选的，还包括设置于吸附箱内的喷液仓以及线性阵列设置于更换仓顶部的喷液板组，所述喷液板组分别包括对称铰接设置的出液板；
24、所述出液板上分别开设有与喷液仓连通的喷液道，且出液板默认状态下相互贴合以封闭喷液道，所述吸附箱内设置有驱使出液板翻转驱动单元。
25、作为优选的，还包括分别设置于两个出液板之间，并在闭合状态的两个出液板形成密封腔的喷气台；
26、所述喷气台位于出液板一侧分别开设有锥形喷口，所述锥形喷口分别连通于吸附箱内设置的滑腔，所述滑腔内滑动设置有压缩滑腔并使气体分别流向锥形喷口的移动块。
27、作为优选的，所述滑腔内滑动设置有用以通断滑腔和锥形喷口的阻断块，所述移动块固定安装于移动架上，且移动块活动设置于阻断块上以驱使阻断块通断滑腔和锥形喷口。
28、作为优选的，所述出液板的一侧边分别固定安装有弹性橡胶片。
29、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种高纯三氯化硼的提纯工艺及提纯系统，具备以下有益效果：通过将三氯化硼放置于提纯管道内，而后利用高温对提纯管道内的三氯化硼原料进行气化，分离并提纯三氯化。随后将气化后的三氯化硼的送入至已预热的光气分解器中，配合活性碳以将光气分解为一氧化碳和氯气。而后对光气分解后的物质进行冷却并通入至吸附箱中，利用吸附箱内的活性碳吸附剂以对氯气和一些含硅有机物进行吸附，从而进一步对三氯化硼进行提纯。进一步的，利用后续的精馏塔精馏提纯并对三氯化硼进行降温出料，从而更好的实现了对三氯化硼的提纯。
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1.一种高纯三氯化硼的提纯工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，其用于实现权利要求1所述的高纯三氯化硼的提纯工艺，包括吸附箱(1)内设置的：
3.根据权利要求2所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，还包括转动设置于吸附箱(1)内的丝杆(3)，所述丝杆(3)通过齿轮组传动使L形板架保持翻转。
4.根据权利要求3所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述安装板(2)上对称滑动设置有夹持活性碳板(22)用的夹板(26)，夹板(26)和安装板(2)通过两节式连接杆件传动连接，且当安装板(2)贴合于更换仓(12)一侧内壁时夹板(26)释放活性碳板(22)。
5.根据权利要求2所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述更换仓(12)一侧的内壁上铰接设置有敲击板(4)；
6.根据权利要求5所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述敲击杆(51)滑动设置于移动架(33)上固定安装的随动块(52)上；
7.根据权利要求2所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其
8.根据权利要求7所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，还包括分别设置于两个出液板(7)之间，并在闭合状态的两个出液板(7)形成密封腔的喷气台(16)；
9.根据权利要求8所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述滑腔(14)内滑动设置有用以通断滑腔(14)和锥形喷口(17)的阻断块(6)，所述移动块(36)固定安装于移动架(33)上，且移动块(36)活动设置于阻断块(6)上以驱使阻断块(6)通断滑腔(14)和锥形喷口(17)。
10.根据权利要求8所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述出液板(7)的一侧边分别固定安装有弹性橡胶片(74)。
...【技术特征摘要】
1.一种高纯三氯化硼的提纯工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，其用于实现权利要求1所述的高纯三氯化硼的提纯工艺，包括吸附箱(1)内设置的：
3.根据权利要求2所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，还包括转动设置于吸附箱(1)内的丝杆(3)，所述丝杆(3)通过齿轮组传动使l形板架保持翻转。
4.根据权利要求3所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述安装板(2)上对称滑动设置有夹持活性碳板(22)用的夹板(26)，夹板(26)和安装板(2)通过两节式连接杆件传动连接，且当安装板(2)贴合于更换仓(12)一侧内壁时夹板(26)释放活性碳板(22)。
5.根据权利要求2所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述更换仓(12)一侧的内壁上铰接设置有敲击板(4)；
6.根据权利要求5所述的一种高纯三氯化硼的提纯系统，其特征在于，所述敲击杆(51)滑动设...
【专利技术属性】
技术研发人员：许进荣，吴骏，杨利霞，
申请(专利权)人：滁州昶旭电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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