【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光器，尤其涉及一种全固态302-340nm紫外可调谐光源。
技术介绍
1、波长为302-340nm中波紫外光位于uv-b范围内，是光纤光栅刻写、脉冲沉积镀膜、激光医疗的重要波段。目前紫外波段大能量激光较为直接且成熟的产生方式为准分子激光。例如308nm准分子激光，由氯化氙(xecl)准分子激光器产生。氯化氙准分子气体激光器较为成熟，但存在维护成本高、体积庞大、价格高、工作物质有毒等问题。全固态激光器具有结构紧凑、光束质量好、峰值功率高、波长可调谐、重复频率可调等优势，是良好的紫外波段光源。
2、目前较为常用的紫外波段固体激光器为355nm、266nm激光器，通过对1064nm固体激光进行三倍频或四倍频实现，但此方式难以实现目标波段可调谐输出。专利cn116093725a介绍了一种通过增益介质实现1000-1100nm基频光输出，并通过四倍频的方式实现250-275nm激光输出的方法。利用激光增益介质实现波长变换过程中需抑制其他波长的产生，存在增益竞争的问题。且激光晶体波长调节范围相比于光学参量振荡器较为有限，...
【技术保护点】
1.一种全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，包括泵浦源、谐振腔、和频模块和倍频模块；
2.根据权利要求1所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述谐振腔包括同轴依次设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体和第二平面镜；所述泵浦源、谐振腔、和频模块以及倍频模块同轴设置。
3.根据权利要求2所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，还包括准直模块，所述准直模块包括依次同轴设置的凸透镜和第一平凹镜，所述准直模块设置在泵浦源与谐振腔之间。
4.根据权利要求3所述的全固态302-340nm紫外可调...
【技术特征摘要】
1.一种全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，包括泵浦源、谐振腔、和频模块和倍频模块；
2.根据权利要求1所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述谐振腔包括同轴依次设置的第一平面镜、光学参量振荡晶体和第二平面镜；所述泵浦源、谐振腔、和频模块以及倍频模块同轴设置。
3.根据权利要求2所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，还包括准直模块，所述准直模块包括依次同轴设置的凸透镜和第一平凹镜，所述准直模块设置在泵浦源与谐振腔之间。
4.根据权利要求3所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述和频模块设置在谐振腔之外。
5.根据权利要求3所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，还包括偏振隔离模块，所述偏振隔离模块设置在准直模块与泵浦源之间；所述和频模块设置在谐振腔之内，所述谐振腔内还设有谐波镜；所述谐波镜、和频模块依次设置在光学参量振荡晶体和第二平面镜之间。
6.根据权利要求1所述的全固态302-340nm紫外可调谐光源，其特征在于，所述谐振腔包...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁欣，孙杨，雷鹏，白云涛，蒋国鑫，危芳莹，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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