【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体测试，尤其涉及一种探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、在对半导体芯片进行测试时，通常采用探针进行测试，探针的尖锐末端和微小尺寸能够使其在芯片表面准确并稳定地接触到芯片上的电子元件，以便进行信号的输入和输出。
2、但是，正是由于探针的尖锐末端和微小尺寸，使得探针在出现弯曲、偏移或者脏污问题时，很难直观地用肉眼发现。因此，在使用探针对半导体芯片进行测试的过程中，通常只有大批量连续测试数据异常，才能判定被测探针是否存在问题。并且，对于探针的针尖形状或者针尖位置还需要用肉眼进行识别，容易出现识别结果不够准确、识别效率低的问题。
技术实现思路
1、本申请实施例的主要目的在于提出一种探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质，能够在不对大批量测试数据进行分析的情况下，即可对探针的针尖形状或者针尖位置进行识别，提高了识别结果的准确性和识别的效率。
2、为实现上述目的，本申请实施例的第一方面提出了一种探针针尖的检测方法，所述方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像，并从所述第一图像中框选出目标电子元件的扎针图；将所述扎针图与基准模板对齐；其中，所述基准模板由对第二图像中的所述目标电子元件框选得到；所述第二图像通过所述目标电子元件未被所述被测探针扎针时拍摄得到；对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状；从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，并根据多条所述针尖垂
3、根据本申请的一些实施例，所述将所述扎针图与基准模板对齐，包括：从所述基准模板中选取第一灰度区域，并建立所述第一灰度区域对应的第一灰度矩阵；从所述扎针图中选取第二灰度区域，并建立所述第二灰度区域对应的第二灰度矩阵；其中，所述第一灰度区域和所述第二灰度区域内至少存在两个不同的灰度值；根据所述第一灰度矩阵减去所述第二灰度矩阵，得到对位矩阵；根据所述对位矩阵对所述第一灰度区域进行调节，直至所述基准模板和所述扎针图对齐。
4、根据本申请的一些实施例，所述根据所述对位矩阵对所述第一灰度区域进行调节，直至所述基准模板和所述扎针图对齐，包括：对所述对位矩阵中的各个矩阵元素进行绝对值计算后相加，得到矩阵对位值；将所述矩阵对位值与预设对位值进行比较，得到比较结果；其中，所述预设对位值为表征所述第一灰度区域和所述第二灰度区域对位的对位阈值；若所述比较结果表征所述矩阵对位值大于所述预设对位值，从所述基准模板中重新确定多个第三灰度区域，并建立每个所述第三灰度区域的第三灰度矩阵；依次将每个所述第三灰度矩阵减去所述第二灰度矩阵，得到多个新的矩阵对位值；从多个新的所述矩阵对位值中确定目标矩阵对位值，并根据所述目标矩阵对位值对应的所述第三灰度区域作为与所述第二灰度区域的对齐区域，将所述第三灰度区域对应的所述基准模板和所述第二灰度区域对应的所述扎针图对齐。
5、根据本申请的一些实施例，所述扎针图和所述基准模板尺寸相同；所述对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：基于所述基准模板的灰度值建立二值化矩阵，基于所述扎针图的灰度值建立第四灰度矩阵；根据所述二值化矩阵的矩阵元素与所述第四灰度矩阵的矩阵元素对应相乘，得到针尖形态矩阵；根据所述针尖形态矩阵确定所述被测探针的针尖形状。
6、根据本申请的一些实施例，所述根据所述针尖形态矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：获取预设的针尖灰度阈值；根据所述针尖灰度阈值将所述针尖形态矩阵中的矩阵元素进行二值化，根据二值化后的所述针尖形态矩阵确定所述被测探针的针尖形状。
7、根据本申请的一些实施例，所述从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，包括：从所述第一图像的每条所述被测探针上选取两个待测点，并根据两个所述待测点的坐标计算所述被测探针的方向斜率；基于所述方向斜率计算所述针尖的垂线斜率；沿着所述垂线斜率的方向确定多条针尖垂线。
8、根据本申请的一些实施例，所述基于所述针尖形状和所述针尖位置，得到探针针尖检测结果之后，还包括：若所述探针针尖检测结果表征所述被测探针的针尖变形，则发出告警信号；或者，若所述探针针尖检测结果表征所述被测探针的针尖超出预设扎针范围，则发出告警信号；其中，所述预设扎针范围为所述被测探针的针尖对所述目标电子元件进行检测并能够得到检测结果的范围。
9、为实现上述目的，本申请实施例的第三方面提出了一种探针针尖的检测系统，所述系统包括：扎针图获取模块，用于获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像，并从所述第一图像中框选出目标电子元件的扎针图；对齐模块，用于将所述扎针图与基准模板对齐；其中，所述基准模板由对第二图像中的所述目标电子元件框选得到；所述第二图像通过所述目标电子元件未被所述被测探针扎针时拍摄得到；针尖形状确定模块，用于对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状；针尖位置确定模块，用于从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，并根据多条所述针尖垂线进行逐行检测，直至检测到目标灰度点，将所述目标灰度点所在的位置作为针尖位置；探针针尖检测结果获取模块，用于基于所述针尖形状和所述针尖位置，得到探针针尖检测结果。
10、为实现上述目的，本申请实施例的第三方面提出了一种电子设备，所述电子设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现本申请第一方面实施例任一项所述的探针针尖的检测方法。
11、为实现上述目的，本申请实施例的第三方面提出了一种计算机可读存储介质，所述存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现本申请第一方面实施例任一项所述的探针针尖的检测方法。
12、本申请提出的探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质,能够获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像，并从第一图像中框选出目标电子元件的扎针图；将扎针图与基准模板对齐，以便识别图中的相同区域，其中，基准模板由对第二图像中的目标电子元件框选得到；第二图像通过目标电子元件未被被测探针扎针时拍摄得到；对扎针图和基准模板建立灰度矩阵，从而根据不同的灰度值确定被测探针的针尖形状；从第一图像中确定被测探针所在方向的多条针尖垂线，并根据多条针尖垂线进行逐行检测，从而能够避免检测的方向与被测探针的方向重合，直至检测到与其他区域灰度不同的目标灰度点，将目标灰度点所在的位置作为针尖位置；最后，基于针尖形状和针尖位置，可以得到探针针尖检测结果，本申请不需要对大批量测试数据进行分析即可对探针的针尖形状或者针尖位置进行识别，提高了识别结果的准确性和识别的效率。
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1.一种探针针尖的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述将所述扎针图与基准模板对齐，包括：
3.根据权利要求2所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述根据所述对位矩阵对所述第一灰度区域进行调节，直至所述基准模板和所述扎针图对齐，包括：
4.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述扎针图和所述基准模板尺寸相同；所述对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：
5.根据权利要求4所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述根据所述针尖形态矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：
6.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，包括：
7.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述基于所述针尖形状和所述针尖位置，得到探针针尖检测结果之后，还包括：
8.一种探针针尖的检测系统，其特征在于，所述系统包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种探针针尖的检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述将所述扎针图与基准模板对齐，包括：
3.根据权利要求2所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述根据所述对位矩阵对所述第一灰度区域进行调节，直至所述基准模板和所述扎针图对齐，包括：
4.根据权利要求1所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述扎针图和所述基准模板尺寸相同；所述对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：
5.根据权利要求4所述的探针针尖的检测方法，其特征在于，所述根据所述针尖形态矩阵确定所述被测探针的针尖形状，包括：
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴贵阳，刘子敏，杨应俊，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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