图形膜形成部件的制造方法、图形膜形成部件、电光装置及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了图形膜形成部件的制造方法、图形膜形成部件、电光装置及电子设备，其可以简化基体材料的表面处理并形成高精细图形膜的图形膜形成部件。制造方法包含：表面处理步骤，其中在玻璃质材料层上的一部分上形成有导电膜的基体材料中，对上述玻璃质材料层的表面实施疏水处理，并对上述导电膜的表面实施比上述玻璃质材料层中的疏水力弱的疏水处理；涂敷步骤，其中在上述导电膜上，涂敷包含分散有金属微粒的水系分散介质的功能液，上述金属微粒成为金属膜的材料；以及固化步骤，其中使涂敷的上述功能液固化，在上述导电膜上形成上述金属膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图形膜形成部件的制造方法、图形膜形成部件、电光装置及电子设备。
技术介绍
作为图形膜形成部件，例如，触摸面板，在玻璃基板上形成有电极布线。电极布线 在玻璃基板上由作为可见光的透过率高的导电膜的透明电极膜形成。该透明导电膜虽然具 有导电性，但是为了提高触摸面板的功能性且降低电阻，有在透明导电膜上形成电阻率低 的金属膜的情况。此时，在透明导电膜上涂敷成为金属膜材料的液体材料时，必须在透明导 电膜的表面形成金属膜的液体材料可浸润的亲液区域，在成为透明导电膜以外区域的玻璃 基板的表面，形成排斥金属膜的液体材料的疏液区域。因而，作为亲液区域和疏液区域形成 的方法，例如有如下方法在基板上形成具有疏液性的光触媒含有层后，采用形成规定图形 的掩模，经由该掩模向光触媒含有层照射激活光，从而仅仅使激活光照射的部分反应，形成 亲液区域。这样，在一个基体材料中，选择地形成亲液区域和疏液区域(例如，参照专利文 献1) O专利文献1 日本特开2003-209339号公报。但是，上述方法中需要疏液区域形成步骤(工序)和亲液区域形成步骤的多个步 骤并且需要采用掩模选择性地表面处理规定区域，因此存在制造步骤复杂化的问题。
技术实现思路
本专利技术为解决上述问题的至少一部分而提出，可以以下的方式或适用例实现。本适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，包括表面处理步骤，其中 在玻璃质材料层上的一部分上形成有导电膜的基体材料中，对上述玻璃质材料层的表面实 施疏水处理，并对上述导电膜的表面实施比上述玻璃质材料层中的疏水力弱的疏水处理； 涂敷步骤，其中在上述导电膜上，涂敷包含分散有金属微粒的水系分散介质的功能液，上述 金属微粒成为金属膜的材料；以及固化步骤，其中使涂敷的上述功能液固化，在上述导电膜 上形成上述金属膜。根据该构成，在玻璃质材料层的表面形成疏水区域，在导电膜的表面形成比玻璃 质材料层的表面中的疏水力弱的疏水区域。即，本表面处理步骤中，疏水力强的区域和疏水 力弱的区域的对比度可以同时形成。而且，换言之，可以使玻璃质材料层的表面保持疏水 力，使导电膜的表面保持亲水力。然后，在导电膜上涂敷水系功能液后，涂敷的功能液浸润 具有亲水性的导电膜的表面。另外，在玻璃质材料层和导电膜的边界部分，由于玻璃质材料 层的表面是疏水性，因此与玻璃质材料层的表面相接的功能液排斥玻璃质材料层，按照导 电膜的图形形状而自我整合地移动。然后，通过使涂敷的功能液固化，在导电膜上形成金属 膜。从而，不必像传统那样采用掩模等实施多次表面处理步骤，可以以一个表面处理步骤，3同时且选择性地形成疏水区域和亲水区域。从而，可以简化制造步骤，形成高精细图形膜。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述表面处理步骤中，采 用包含硅烷化合物的表面处理剂。根据该构成，硅烷化合物与玻璃质材料层的表面的水分反应，玻璃质材料层的表 面被三甲基硅化，可以使玻璃质材料层的表面强疏水。另一方面，与导电膜的表面的反应 低。即，保持了亲水力。从而，基体材料中，疏水力强的区域(玻璃质材料层)和疏水力弱 的区域(导电膜)的对比度可以同时形成。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述表面处理步骤中，采 用包含六甲基二硅氮烷的表面处理剂。根据该构成，用六甲基二硅氮烷进行基体材料的表面处理。S卩，进行HMDS处理。六 甲基二硅氮烷与玻璃质材料层的表面的水分(-0H)反应，产生氨(NH3)，并且玻璃质材料层 的表面被三甲基硅化(-Si (CH3)3)。即，玻璃质材料层的表面被疏水处理。另一方面，与导 电膜的表面的反应低，因此保持了亲水力。从而，基体材料中，疏水力强的区域(玻璃质材 料层)和疏水力弱的区域(导电膜)的对比度可以同时形成。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述表面处理步骤中，将 上述基体材料和上述包含六甲基二硅氮烷的表面处理剂放置在密闭环境下，在将上述六甲 基二硅氮烷常温气化的气体氛围中，使上述基体材料曝露3 15分钟。根据该构成，可以容易地同时形成疏水力强的区域(玻璃质材料层)和疏水力弱 的区域(导电膜)。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述表面处理步骤中，对 上述玻璃质材料层的表面实施使相对于水的接触角成为50°以上的疏水处理，对上述导电 膜的表面实施使相对于水的接触角成为25°以下的疏水处理。根据该构成，可以在玻璃质材料层上排斥水系功能液，而在导电膜上浸润水系功 能液。从而，可以形成按照导电膜的图形形状的功能液的液体状态。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述表面处理步骤中，对 上述玻璃质材料层的表面实施使相对于上述功能液的接触角成为40°以上的疏水处理，对 上述导电膜的表面实施使相对于上述功能液的接触角成为30°以下的疏水处理。根据该构成，可以在玻璃质材料层上排斥水系功能液，而在导电膜上浸润水系功 能液。从而，可以形成按照导电膜的图形形状的功能液的液体状态。上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述涂敷步骤中，将上述 功能液作为液滴排出，在上述导电膜上涂敷上述功能液。根据该构成，可以在期望位置高效涂敷功能液，形成高精细图形。 上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，上述涂敷步骤中，以上述导电膜上涂敷的液滴点与相邻的其他液滴点接触的方式涂敷上述功能液。 根据该构成，由于涂敷的液滴点呈现连珠状，因此可以按照导电膜的图形形状，使功能液容易自我整合地移动。 上述适用例的图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，在上述涂敷步骤和上述固化步骤之间，具有放置涂敷有上述功能液的上述基体材料的放置步骤。 根据该构成，通过放置涂敷有功能液的基体材料，可以确保功能液按照导电膜的图形形状而进行自我整合地移动的期间。另外，将功能液作为液滴排出时，确保了相邻液滴点彼此相溶的期间，可以形成按照导电膜的图形形状的液体状态。 本适用例的图形膜形成部件，其特征在于，由上述的图形膜形成部件的制造方法制造。 根据该构成，可以提供高精细1高品位的图形膜形成部件。该场合，图形膜形成部件相当于例如触摸面板1滤色片1PDP部件1有机EL部件1FED(场致发射显示器)部件等。 本适用例的电光装置，其特征在于，具备上述的图形膜形成部件。 根据该构成，可以提供具有可靠性高的图形膜形成部件的电光装置。该场合，电光装置相当于例如液晶显示器1等离子显示器1有机EL显示器1FED(场致发射显示器)等。 本适用例的电子设备，其特征在于，搭载有上述的电光装置。 根据该构成，可以提供搭载了可靠性高的电光装置的电子设备。该场合，电子设备相当于例如搭载滤色片1等离子显示器1有机EL显示器1FED(场致发射显示器)的电视摄像机1个人电脑1便携电子设备1其他各种电子制品。附图说明 图l是作为图形膜形成部件的触摸面板的构成的平面图。 图2是作为图形膜形成部件的触摸面板的构成的截面图。 图3是触摸面板的制造方法的流程图。 图4是触摸面板的制造方法的一部分的流程图。 图5是表面处理装置的构成的示意图。 图6是液滴排出装置的构成的立体图。 图7是排出头部的构成的截面图。 图8是触摸面板的制造方法的工序图。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形膜形成部件的制造方法，其特征在于，包括：表面处理步骤，其中在玻璃质材料层上的一部分上形成有导电膜的基体材料中，对上述玻璃质材料层的表面实施疏水处理，并对上述导电膜的表面实施比上述玻璃质材料层中的疏水力弱的疏水处理；涂敷步骤，其中在上述导电膜上，涂敷包含分散有金属微粒的水系分散介质的功能液，上述金属微粒成为金属膜的材料；以及固化步骤，其中使涂敷的上述功能液固化，在上述导电膜上形成上述金属膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平井利充，冈本英司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]