【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体机构，具体涉及一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置及系统。
技术介绍
1、随着高精度精密光谱仪器的快速发展和应用，对于其核心部件光栅的指标要求也越来越高，尤其是大面积中阶梯光栅等高端光栅市场的需求与日俱增，为了降低制造成本以及保持母版光栅的高利用率，复制光栅的工艺需求已成为非常重要的环节。
2、为了实现母版光栅与复制光栅的槽型一致性，一种传统方案是采用在母版光栅表面真空镀铝，再通过环氧树脂胶进行粘合，最后进行分割，来实现对母版光栅的复制。然而环氧树脂胶虽然能够实现光栅的无缝粘合，但是由于常温条件下难以固化，且固化时间较长，因此在对大面积且自重较大的光栅复制过程中往往会出现槽型挤压变形，从而导致复制光栅与母版光栅的槽型一致性差，大大的影响了光栅复制的效率。
3、另外，由于环氧树脂胶在高温下虽然能够凝固，但是由于其成液态状且复制光栅的毛坯表面比较光滑，因此在凝固过程中极易造成复制光栅与母版光栅之间的位置差异，不仅影响了光栅的复制效率，而且还破环了母版光栅。
技术实现思路
1、为克服现有工艺技术上的问题，提供了一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑装置包括：
2、支撑结构，所述支撑结构内的部分结构中设有第一预设角度的刚性结构，所述刚性结构用于形成复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的至少一部分进行稳定固定；
3、第一结构，设置于所述支撑结构的两侧，所述第一结构用于对所述支撑结构的整个主体起到
4、第二结构，所述第二结构对于不同尺寸的所述复制光栅槽型的自由度进行定位锁死；
5、支撑板，所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点，所述支撑板的另一端为连接所述第一结构的可转动的第二连接点，其中，所述第二结构设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
6、在一实施例中，所述支撑结构内的部分结构中设置有90°等腰直角三角形的刚性结构。
7、在一实施例中，所述刚性结构用于形成所述复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的底部进行固定。
8、在一实施例中，所述第二结构通过预留有可变卡位的滑轨设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
9、在一实施例中，所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点转动第二预设角度和所述支撑板的另一端连接所述第一结构的可转动的第二连接点改变其中所述第二连接点的转轴的第三预设角度；以调整所述实现复制光栅槽型稳定的支撑装置形成多种不同形状并符合所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
10、本专利技术提供的，具体，还包括：一种实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统适用于一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
11、第一设置模块，控制支撑结构内的部分结构中设置有第一预设角度的刚性结构，所述刚性结构用于形成复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的至少一部分进行稳定固定；
12、第二设置模块，控制第一结构设置于所述支撑结构的两侧，所述第一结构用于对所述支撑结构的整个主体起到支撑作用；
13、定位模块，控制第二结构对于不同尺寸的所述复制光栅槽型的自由度进行定位锁死；
14、第一连接模块，控制所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点，所述支撑板的另一端为连接所述第一结构的可转动的第二连接点，其中，所述第二结构设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
15、在一实施例中，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
16、第三设置模块，控制所述支撑结构内的部分结构中设置有90°等腰直角三角形的刚性结构。
17、在一实施例中，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
18、固定模块，控制所述刚性结构用于形成所述复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的底部进行固定。
19、在一实施例中，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
20、第四设置模块，控制所述第二结构通过预留有可变卡位的滑轨设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
21、在一实施例中，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
22、第二连接模块，控制所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点转动第二预设角度和所述支撑板的另一端连接所述第一结构的可转动的第二连接点改变其中所述第二连接点的转轴的第三预设角度；以调整所述支撑装置形成多种不同形状并符合所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
23、与现有技术相比，本专利技术能够取得如下有益效果：
24、一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，包括支撑结构、第一结构、第二结构以及支撑板。支撑结构内的部分结构中设有预设角度的刚性结构，用于形成复制光栅槽型，以对复制光栅槽型的整体的至少一部分进行稳定固定。第一结构设置于支撑结构的两侧，用于对支撑结构的整个主体起到支撑作用。第二结构对于不同尺寸的复制光栅槽型的自由度进行定位锁死。支撑板的一端连接刚性结构的可转动的第一连接点，另一端为连接第一结构的可转动的第二连接点。第二结构设置于支撑板的对应两侧的不同位置，以控制复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。本申请提出的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，能够实现母版光栅与复制光栅之间的位置固定并且减轻重力作用，保证复制光栅与母版光栅之间槽型的一致性。
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1.一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑装置包括：
2.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述支撑结构内的部分结构中设置有90°等腰直角三角形的刚性结构。
3.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述刚性结构用于形成所述复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的底部进行固定。
4.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述第二结构通过预留有可变卡位的滑轨设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
5.如权利要求2所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点转动第二预设角度和所述支撑板的另一端连接所述第一结构的可转动的第二连接点改变其中所述第二连接点的转轴的第三预设角度，以调整所述支撑装置形成多种不同形状并符合所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
6.一种实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，其特
7.如权利要求6所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
8.如权利要求6所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
9.如权利要求6所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
10.如权利要求7所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑系统，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑系统包括：
...【技术特征摘要】
1.一种实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述实现复制光栅槽型稳定的支撑装置包括：
2.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述支撑结构内的部分结构中设置有90°等腰直角三角形的刚性结构。
3.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述刚性结构用于形成所述复制光栅槽型，以对所述复制光栅槽型的整体的底部进行固定。
4.如权利要求1所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述第二结构通过预留有可变卡位的滑轨设置于所述支撑板的对应两侧的不同位置，以控制所述复制光栅槽型和母版光栅槽型之间的定位精度。
5.如权利要求2所述的实现复制光栅槽型稳定的支撑装置，其特征在于，所述支撑板的一端连接所述刚性结构的可转动的第一连接点转动第二预设角度和所述支撑板的另一端连接所述第一结构的可转动的第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵络欣，吉日嘎兰图，李文昊，王耕，常雯娟，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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