一种金相显微镜观察半导体用载样台制造技术

技术编号:40257466 阅读:9 留言:0更新日期:2024-02-02 22:49
本技术公开了一种金相显微镜观察半导体用载样台,涉及半导体观察技术领域,包括:载样台,载样台的上壁面固定安装有夹具结构,载样台的下壁面固定安装有运载光杆结构,载样台的下壁面固定安装有运载螺杆结构,运载光杆结构以及运载螺杆结构的下壁面固定安装有转台结构,运载螺杆结构的侧壁面安装有动力结构;本技术通过电控对半导体的载样台进行角度的改变和先行位置的改变,可以实现在金相显微镜的放大观察下半导体的位置改变,并且通过多级减速能够让半导体进行缓慢、稳定的位置改变,可以让观察者确定所观察的位置具体在半导体的什么位置,方便操作人员全方位的掌握半导体的细节信息。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体观察,具体是一种金相显微镜观察半导体用载样台


技术介绍

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

2、电脑型金相显微镜或是数码金相显微镜是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术完美地结合在一起而开发研制成的高科技产品,可以在计算机上很方便地观察金相图像,从而对金相图谱进行分析,评级等以及对图片进行输出、打印。

3、操作人员在利用金相显微镜观察半导体的细节时,由于金相显微镜的放大倍数很高,只要轻轻移动一下半导体的位置,半导体就会在金相显微镜目镜中发生很大的位置改变,就导致无法确定金相显微镜观察半导体的具体位置,需要重新确定半导体的观察位置,从而无法全面掌握半导体细节信息,导致操作人员观察半导体细节的效率变低。于是,在此提出一种金相显微镜观察半导体用载样台。


技术实现思路

1、解决的技术问题

2、本技术的目的就是为了弥补现有技术的不足,提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台。

3、技术方案

4、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种金相显微镜观察半导体用载样台,包括载样台,所述载样台的上壁面固定安装有夹具结构,所述载样台的下壁面固定安装有运载光杆结构,所述载样台的下壁面固定安装有运载螺杆结构,所述运载光杆结构以及运载螺杆结构的下壁面固定安装有转台结构,所述运载螺杆结构的侧壁面安装有动力结构。

5、优选的,所述夹具结构包括:两个定位板、两个夹紧光杆、两个弹簧以及夹紧板;两个所述定位板分别固定安装在载样台的上壁面,两个所述夹紧光杆固定安装在两个定位板之间,所述夹紧板活动套装在两个夹紧光杆的外部,两个所述弹簧分别套装在两个夹紧光杆的外部,且两个所述弹簧的两端分别固定安装在定位板和夹紧板的侧壁面。

6、优选的,所述运载光杆结构包括:两个光杆运载板、光杆以及两个光杆支撑板;两个所述光杆运载板分别固定安装在载样台的下壁面,所述光杆活动套装在两个光杆运载板的内部,两个所述光杆支撑板分别固定套装在光杆的外部。

7、优选的,所述运载螺杆结构包括:两个螺杆运载板、螺杆、两个轴承以及两个轴承支撑板;两个所述螺杆运载板分别固定安装在载样台的下壁面,所述螺杆通过螺纹活动套装在两个螺杆运载板的内部,两个所述轴承分别固定套装在螺杆的外部,两个所述轴承支撑板分别固定套装在轴承的外部。

8、优选的,所述转台结构包括:运载底板、蜗轮蜗杆转盘以及安装板;所述运载底板固定安装在两个轴承支撑板的下壁面,所述蜗轮蜗杆转盘固定安装在运载底板的下壁面,所述安装板固定安装在蜗轮蜗杆转盘的下壁面。

9、优选的,所述动力结构包括:动力电机、主动齿轮、减速齿轮以及从动齿轮;所述动力电机固定安装在运载底板的下壁面,所述主动齿轮固定安装在动力电机的驱动端,所述减速齿轮固定安装在运载底板的下壁面,且所述减速齿轮和主动齿轮咬合,所述从动齿轮固定安装在螺杆的侧壁面,且所述从动齿轮和减速齿轮咬合。

10、有益效果:本技术通过电控对半导体的载样台进行角度的改变和先行位置的改变,可以实现在金相显微镜的放大观察下半导体的位置改变,并且通过多级减速能够让半导体进行缓慢、稳定的位置改变,可以让观察者确定所观察的位置具体在半导体的什么位置,方便操作人员全方位的掌握半导体的细节信息。

11、与现有技术相比,该金相显微镜观察半导体用载样台具备如下有益效果:

12、一、本技术通过夹具结构,夹具结构可以很好的固定半导体,在操作人员移动载样台的时候,半导体和载样台的相对位置也不会发生改变,方便操作人员对半导体进行全方位的观察,并且夹具结构方便操作人员安装,一定程度上提升了半导体的观察效率。

13、二、本技术通过运载光杆结构和运载螺杆结构,运载螺杆结构是主要改变载样台线性位置的结构,运载光杆结构是在载样台发生线性位置改变时起到支撑的作用,保证载样台可以稳定的运动。

14、三、本技术通过转台结构,转台结构可以让载样台发生角度上的位置变化,方便操作人员全方位的观察半导体。

15、四、本技术通过动力结构,动力结构可以让运载螺杆结构发生转动的结构,也就是让载样台发生线性位置变化的动力来源,由于扭矩从动力电机输出要经过两次齿轮减速,因此动力电机可以向运载螺杆结构输出缓慢且稳定的扭矩,可以让操作人员在高倍放大观察半导体的情况下,清楚知道半导体的移动位置,准确掌握半导体的全方位信息。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种金相显微镜观察半导体用载样台,包括载样台(1),其特征在于,所述载样台(1)的上壁面固定安装有夹具结构,所述载样台(1)的下壁面固定安装有运载光杆结构,所述载样台(1)的下壁面固定安装有运载螺杆结构,所述运载光杆结构以及运载螺杆结构的下壁面固定安装有转台结构,所述运载螺杆结构的侧壁面安装有动力结构。

2.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述夹具结构包括:两个定位板(2)、两个夹紧光杆(3)、两个弹簧(4)以及夹紧板(5);

3.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述运载光杆结构包括:两个光杆运载板(6)、光杆(7)以及两个光杆支撑板(8);

4.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述运载螺杆结构包括:两个螺杆运载板(9)、螺杆(10)、两个轴承(11)以及两个轴承支撑板(12);

5.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述转台结构包括:运载底板(13)、蜗轮蜗杆转盘(14)以及安装板(15);p>

6.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述动力结构包括:动力电机(16)、主动齿轮(17)、减速齿轮(18)以及从动齿轮(19);

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【技术特征摘要】

1.一种金相显微镜观察半导体用载样台,包括载样台(1),其特征在于,所述载样台(1)的上壁面固定安装有夹具结构,所述载样台(1)的下壁面固定安装有运载光杆结构,所述载样台(1)的下壁面固定安装有运载螺杆结构,所述运载光杆结构以及运载螺杆结构的下壁面固定安装有转台结构,所述运载螺杆结构的侧壁面安装有动力结构。

2.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述夹具结构包括:两个定位板(2)、两个夹紧光杆(3)、两个弹簧(4)以及夹紧板(5);

3.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台,其特征在于,所述运载光杆结构包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖齐文廖加胜廖路娜
申请(专利权)人:四川省珏源祥半导体技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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