一种用于溅射机靶材更换的装卸车制造技术

技术编号:40254411 阅读:8 留言:0更新日期:2024-02-02 22:47
本技术公开了一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它包括梯形底座,所述梯形底座前端设置有底托,所述底托上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮,所述底托顶部靠近梯形底座的位置上设置有电动葫芦,所述电动葫芦上绕设有钢丝绳,所述钢丝绳拉长绕挂于滑轮上且伸长端连接有挂钩;所述底托顶部前端转动安装有靶材托架,所述靶材托架后端固接有加力杆,所述梯形底座内还设置有配重箱;压动所述加力杆能够驱使靶材托架将靶材抬起,所述电动葫芦能够通过钢丝绳和挂钩将靶材吊起。本技术操作装卸靶材时较为便捷省力,安全性能高,很好地提升了更换效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材装卸,特别是涉及一种用于溅射机靶材更换的装卸车


技术介绍

1、在磁控溅射生产中,通常需要根据生产需求更换不同材料的靶材。一般靶材安装于工作平台上,当更换靶材时,通常采用人工安装及人工拆卸,由于靶材较重,至少需要三个操作人员才能够拆装完成,这样拆装靶材费时费力、效率低,并且有安全隐患,还容易损伤到靶材,导致后续经常出现外观面差、间隙不均等问题,影响到了灯具的良品率。一些车间会借助装卸车等机械来辅助装卸靶材,但现有技术中多采用横向装卸靶材,而磁控溅射机靶材方向为竖直方向,且在腔体内部,因此无法很好地施展。


技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是,克服现有技术的不足,提供一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它操作装卸靶材时较为便捷省力,安全性能高,很好地提升了更换效率。

2、为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:

3、一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它包括梯形底座,所述梯形底座前端设置有底托,所述底托上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮,所述底托顶部靠近梯形底座的位置上设置有电动葫芦,所述电动葫芦上绕设有钢丝绳,所述钢丝绳拉长绕挂于滑轮上且伸长端连接有挂钩;

4、所述底托顶部前端转动安装有靶材托架,所述靶材托架后端固接有加力杆,所述梯形底座内还设置有配重箱;

5、压动所述加力杆能够驱使靶材托架将靶材抬起,所述电动葫芦能够通过钢丝绳和挂钩将靶材吊起。

6、进一步,所述杆组框架中部两侧均通过插销安装有靶材限位槽,两个所述靶材限位槽用于对靶材进行卡入限位。

7、进一步,所述底托顶部前端设置有支点转轴,所述靶材托架中部安装于支点转轴上。

8、进一步,所述靶材托架整体呈l形构造。

9、进一步,所述杆组框架中部还向后设置有一对把手架。

10、进一步,所述杆组框架包括固定在底托上并呈前后分布的第二竖杆和第一竖杆,所述第二竖杆顶端和第一竖杆顶端通过横杆连接,所述第一竖杆与梯形底座之间还设置有两根第一斜杆,所述横杆与第一竖杆之间还设置有两根第二斜杆。

11、进一步,所述配重箱顶端设置有盖板。

12、进一步,所述梯形底座底部设置有万向轮。

13、进一步,所述底托呈梯形状,且适配梯形底座的前端廓形。

14、采用了上述技术方案,本技术具有以下的有益效果:

15、1.本技术通过靶材托架、支点转轴和加力杆的设计,形成一个杠杆结构,通过加力杆的推拉即可实现靶材的纵向抬起和放下,有利于针对磁控溅射机腔体内靶材的纵向装卸,操作更加方便快捷。

16、2.本技术通过加力杆、靶材托架和支点转轴的设计可以使装卸靶材变得方便快捷,通过挂钩、钢丝绳以及滑轮的设计便于吊起靶材,然后通过靶材限位槽可以稳定住靶材,保证移动时的稳定性,如此方便了靶材的快捷更换,大大降低了工人的劳动强度,提高了生产效率,降低了手动更换的安全隐患。

17、3.本技术操作便捷,省时省力,不容易损伤到靶材,有利于保证产品的质量。

18、4.本技术配重箱的设计可以灵活调整箱内的重物,以适配各种款型尺寸的靶材更换,功能全面。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。

3.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述底托(17)顶部前端设置有支点转轴(16),所述靶材托架(3)中部安装于支点转轴(16)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述靶材托架(3)整体呈L形构造。

5.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部还向后设置有一对把手架(7)。

6.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架包括固定在底托(17)上并呈前后分布的第二竖杆(19)和第一竖杆(5),所述第二竖杆(19)顶端和第一竖杆(5)顶端通过横杆(18)连接,所述第一竖杆(5)与梯形底座(1)之间还设置有两根第一斜杆(6),所述横杆(18)与第一竖杆(5)之间还设置有两根第二斜杆(20)。

7.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述配重箱(9)顶端设置有盖板(11)。

8.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述梯形底座(1)底部设置有万向轮(10)。

9.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述底托(17)呈梯形状,且适配梯形底座(1)的前端廓形。

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【技术特征摘要】

1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。

3.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述底托(17)顶部前端设置有支点转轴(16),所述靶材托架(3)中部安装于支点转轴(16)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述靶材托架(3)整体呈l形构造。

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【专利技术属性】
技术研发人员:方敏顾隆薛大伟
申请(专利权)人:常州星宇车灯股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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