【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材装卸,特别是涉及一种用于溅射机靶材更换的装卸车。
技术介绍
1、在磁控溅射生产中,通常需要根据生产需求更换不同材料的靶材。一般靶材安装于工作平台上,当更换靶材时,通常采用人工安装及人工拆卸,由于靶材较重,至少需要三个操作人员才能够拆装完成,这样拆装靶材费时费力、效率低,并且有安全隐患,还容易损伤到靶材,导致后续经常出现外观面差、间隙不均等问题,影响到了灯具的良品率。一些车间会借助装卸车等机械来辅助装卸靶材,但现有技术中多采用横向装卸靶材,而磁控溅射机靶材方向为竖直方向,且在腔体内部,因此无法很好地施展。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是,克服现有技术的不足,提供一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它操作装卸靶材时较为便捷省力,安全性能高,很好地提升了更换效率。
2、为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:
3、一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它包括梯形底座,所述梯形底座前端设置有底托,所述底托上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮,所述
...【技术保护点】
1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。
3.根据
...【技术特征摘要】
1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。
3.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述底托(17)顶部前端设置有支点转轴(16),所述靶材托架(3)中部安装于支点转轴(16)上。
4.根据权利要求3所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述靶材托架(3)整体呈l形构造。
5....
【专利技术属性】
技术研发人员:方敏,顾隆,薛大伟,
申请(专利权)人:常州星宇车灯股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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