一种用于溅射机靶材更换的装卸车制造技术

技术编号:40254411 阅读:19 留言:0更新日期:2024-02-02 22:47
本技术公开了一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它包括梯形底座,所述梯形底座前端设置有底托,所述底托上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮,所述底托顶部靠近梯形底座的位置上设置有电动葫芦,所述电动葫芦上绕设有钢丝绳,所述钢丝绳拉长绕挂于滑轮上且伸长端连接有挂钩;所述底托顶部前端转动安装有靶材托架,所述靶材托架后端固接有加力杆,所述梯形底座内还设置有配重箱;压动所述加力杆能够驱使靶材托架将靶材抬起,所述电动葫芦能够通过钢丝绳和挂钩将靶材吊起。本技术操作装卸靶材时较为便捷省力,安全性能高,很好地提升了更换效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材装卸,特别是涉及一种用于溅射机靶材更换的装卸车


技术介绍

1、在磁控溅射生产中,通常需要根据生产需求更换不同材料的靶材。一般靶材安装于工作平台上,当更换靶材时,通常采用人工安装及人工拆卸,由于靶材较重,至少需要三个操作人员才能够拆装完成,这样拆装靶材费时费力、效率低,并且有安全隐患,还容易损伤到靶材,导致后续经常出现外观面差、间隙不均等问题,影响到了灯具的良品率。一些车间会借助装卸车等机械来辅助装卸靶材,但现有技术中多采用横向装卸靶材,而磁控溅射机靶材方向为竖直方向,且在腔体内部,因此无法很好地施展。


技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是,克服现有技术的不足,提供一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它操作装卸靶材时较为便捷省力,安全性能高,很好地提升了更换效率。

2、为了解决上述技术问题,本技术的技术方案是:

3、一种用于溅射机靶材更换的装卸车,它包括梯形底座,所述梯形底座前端设置有底托,所述底托上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮,所述底托顶部靠近梯形底座本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。

3.根据权利要求1所述的一种...

【技术特征摘要】

1.一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:包括梯形底座(1),所述梯形底座(1)前端设置有底托(17),所述底托(17)上设置有杆组框架,所述杆组框架顶部设置有滑轮(13),所述底托(17)顶部靠近梯形底座(1)的位置上设置有电动葫芦(2),所述电动葫芦(2)上绕设有钢丝绳(12),所述钢丝绳(12)拉长绕挂于滑轮(13)上且伸长端连接有挂钩(15);

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述杆组框架中部两侧均通过插销(14)安装有靶材限位槽(4),两个所述靶材限位槽(4)用于对靶材进行卡入限位。

3.根据权利要求1所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述底托(17)顶部前端设置有支点转轴(16),所述靶材托架(3)中部安装于支点转轴(16)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于溅射机靶材更换的装卸车,其特征在于:所述靶材托架(3)整体呈l形构造。

5....

【专利技术属性】
技术研发人员:方敏顾隆薛大伟
申请(专利权)人:常州星宇车灯股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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