一种硅片尾片辅助上片机构制造技术

技术编号:40240807 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-02 22:39
本技术提供一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,包括辅助上片结构和尾片检测结构,所述辅助上片结构设置在所述插片机的水槽的侧壁上,用于推动所述尾片朝向所述上片端移动,所述尾片检测结构设置在硅片的上方,当所述尾片检测结构检测到待上片的所述硅片为所述尾片时,开启所述辅助上片结构。本技术的有益效果是实现了插片机硅片尾片的连续上片,提高了工作效率,结构简单,操作便捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片制造,尤其是涉及一种硅片尾片辅助上片机构


技术介绍

1、插片机上料时,硅片通过输送带进行上片,随着硅片数量的减少,推力逐渐缩减,后续的尾片由于推力不够导致供料失败,无法连续进行上片,影响工作效率。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本技术提供一种硅片尾片辅助上片机构,有效的解决了由于推力不够,导致硅片尾片无法进行连续上片的问题,克服了现有技术的不足。

2、本技术采用的技术方案是:一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,包括:

3、辅助上片结构,设置在所述插片机的水槽的侧壁上,用于推动所述尾片朝向所述上片端移动;

4、尾片检测结构,设置在硅片的上方,当所述尾片检测结构检测到待上片的所述硅片为所述尾片时,开启所述辅助上片结构。

5、进一步,所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。

6、进一步,所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。

7、进一步,所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。

8、进一步,所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压臂接触所述尾片的一侧设有第一滚轮。

9、进一步,所述上片端相对所述尾片的位置设有第一传感器,用于检测所述预压臂的位置。

10、进一步,所述尾片检测结构包括支撑杆和检测滚轮组,所述支撑杆设置在所述上片端的插片机本体上,所述检测滚轮组一端与所述支撑杆的底部转动连接,另外一端与所述硅片上部滚动接触,所述硅片移动,带动所述检测滚轮组转动倾斜,当待上片的所述硅片为所述尾片时,所述检测滚轮组与所述尾片脱离,所述检测滚轮组复位。

11、进一步,所述检测滚轮组包括第一连杆和第二连杆,所述第一连杆和第二连杆平行设置,所述第一连杆和第二连杆靠近所述硅片的一端均设有第二滚轮,所述第二滚轮与所述硅片接触,所述第一连杆和第二连杆的另外一端连接有检测杆,所述检测杆与所述支撑杆的底部转动连接,所述检测滚轮组倾斜时,所述检测杆倾斜,所述检测滚轮组复位时,所述检测杆复位。

12、进一步,所述支撑杆相对所述检测杆复位时的位置设有第二传感器,用于检测所述检测杆的位置。

13、进一步,所述上片端的插片机本体上设有避让驱动装置,所述避让驱动装置与所述支撑杆连接,用于带动所述支撑杆移动。

14、本技术具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,实现了插片机硅片尾片的连续上片,提高了工作效率,结构简单,操作便捷。

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【技术保护点】

1.一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。

3.根据权利要求2所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。

4.根据权利要求2或3所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。

5.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压臂接触所述尾片的一侧设有第一滚轮。

6.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述上片端相对所述尾片的位置设有第一传感器,用于检测所述预压臂的位置。

7.根据权利要求1-3、5-6任一所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述尾片检测结构包括支撑杆和检测滚轮组,所述支撑杆设置在所述上片端的插片机本体上,所述检测滚轮组一端与所述支撑杆的底部转动连接,另外一端与所述硅片上部滚动接触,所述硅片移动,带动所述检测滚轮组转动倾斜,当待上片的所述硅片为所述尾片时,所述检测滚轮组与所述尾片脱离,所述检测滚轮组复位。

8.根据权利要求7所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述检测滚轮组包括第一连杆和第二连杆,所述第一连杆和第二连杆平行设置,所述第一连杆和第二连杆靠近所述硅片的一端均设有第二滚轮,所述第二滚轮与所述硅片接触,所述第一连杆和第二连杆的另外一端连接有检测杆,所述检测杆与所述支撑杆的底部转动连接,所述检测滚轮组倾斜时,所述检测杆倾斜,所述检测滚轮组复位时,所述检测杆复位。

9.根据权利要求8所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述支撑杆相对所述检测杆复位时的位置设有第二传感器,用于检测所述检测杆的位置。

10.根据权利要求7所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述上片端的插片机本体上设有避让驱动装置,所述避让驱动装置与所述支撑杆连接,用于带动所述支撑杆移动。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。

3.根据权利要求2所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。

4.根据权利要求2或3所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。

5.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压臂接触所述尾片的一侧设有第一滚轮。

6.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述上片端相对所述尾片的位置设有第一传感器,用于检测所述预压臂的位置。

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【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉杨骅杨恒任志高王欢赵晓光靳晓伟孙红永
申请(专利权)人:天津环博科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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