【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片制造,尤其是涉及一种硅片尾片辅助上片机构。
技术介绍
1、插片机上料时,硅片通过输送带进行上片,随着硅片数量的减少,推力逐渐缩减,后续的尾片由于推力不够导致供料失败,无法连续进行上片,影响工作效率。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题,本技术提供一种硅片尾片辅助上片机构,有效的解决了由于推力不够,导致硅片尾片无法进行连续上片的问题,克服了现有技术的不足。
2、本技术采用的技术方案是:一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,包括:
3、辅助上片结构,设置在所述插片机的水槽的侧壁上,用于推动所述尾片朝向所述上片端移动;
4、尾片检测结构,设置在硅片的上方,当所述尾片检测结构检测到待上片的所述硅片为所述尾片时,开启所述辅助上片结构。
5、进一步,所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。
6、进一步,所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。
7、进一步,所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。
8、进一步,所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压
9、进一步,所述上片端相对所述尾片的位置设有第一传感器,用于检测所述预压臂的位置。
10、进一步,所述尾片检测结构包括支撑杆和检测滚轮组,所述支撑杆设置在所述上片端的插片机本体上,所述检测滚轮组一端与所述支撑杆的底部转动连接,另外一端与所述硅片上部滚动接触,所述硅片移动,带动所述检测滚轮组转动倾斜,当待上片的所述硅片为所述尾片时,所述检测滚轮组与所述尾片脱离,所述检测滚轮组复位。
11、进一步,所述检测滚轮组包括第一连杆和第二连杆,所述第一连杆和第二连杆平行设置,所述第一连杆和第二连杆靠近所述硅片的一端均设有第二滚轮,所述第二滚轮与所述硅片接触,所述第一连杆和第二连杆的另外一端连接有检测杆,所述检测杆与所述支撑杆的底部转动连接,所述检测滚轮组倾斜时,所述检测杆倾斜,所述检测滚轮组复位时,所述检测杆复位。
12、进一步,所述支撑杆相对所述检测杆复位时的位置设有第二传感器,用于检测所述检测杆的位置。
13、进一步,所述上片端的插片机本体上设有避让驱动装置,所述避让驱动装置与所述支撑杆连接,用于带动所述支撑杆移动。
14、本技术具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,实现了插片机硅片尾片的连续上片,提高了工作效率,结构简单,操作便捷。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。
3.根据权利要求2所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。
4.根据权利要求2或3所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。
5.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压臂接触所述尾片的一侧设有第一滚轮。
6.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所
7.根据权利要求1-3、5-6任一所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述尾片检测结构包括支撑杆和检测滚轮组,所述支撑杆设置在所述上片端的插片机本体上,所述检测滚轮组一端与所述支撑杆的底部转动连接,另外一端与所述硅片上部滚动接触,所述硅片移动,带动所述检测滚轮组转动倾斜,当待上片的所述硅片为所述尾片时,所述检测滚轮组与所述尾片脱离,所述检测滚轮组复位。
8.根据权利要求7所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述检测滚轮组包括第一连杆和第二连杆,所述第一连杆和第二连杆平行设置,所述第一连杆和第二连杆靠近所述硅片的一端均设有第二滚轮,所述第二滚轮与所述硅片接触,所述第一连杆和第二连杆的另外一端连接有检测杆,所述检测杆与所述支撑杆的底部转动连接,所述检测滚轮组倾斜时,所述检测杆倾斜,所述检测滚轮组复位时,所述检测杆复位。
9.根据权利要求8所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述支撑杆相对所述检测杆复位时的位置设有第二传感器,用于检测所述检测杆的位置。
10.根据权利要求7所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述上片端的插片机本体上设有避让驱动装置,所述避让驱动装置与所述支撑杆连接,用于带动所述支撑杆移动。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片尾片辅助上片机构,设置在插片机的上片端,用于辅助尾片上片,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述辅助上片结构包括驱动装置和与所述驱动装置连接的预压装置,所述驱动装置设置在所述水槽的侧壁上,用于带动所述预压装置旋转,所述预压装置用于推动所述尾片移动。
3.根据权利要求2所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述驱动装置包括驱动电机,所述驱动电机设置在所述水槽的侧壁上,所述驱动电机与所述预压装置的一端连接。
4.根据权利要求2或3所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压装置包括连接轴和与所述连接轴连接的预压臂,所述连接轴垂直于所述尾片移动的方向设置,所述连接轴的一端与所述驱动装置连接,所述驱动装置带动所述连接轴转动,从而带动所述预压臂推动所述尾片移动。
5.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述预压臂沿所述连接轴设置,所述预压臂接触所述尾片的一侧设有第一滚轮。
6.根据权利要求4所述的一种硅片尾片辅助上片机构,其特征在于:所述上片端相对所述尾片的位置设有第一传感器,用于检测所述预压臂的位置。
7....
【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉,杨骅,杨恒,任志高,王欢,赵晓光,靳晓伟,孙红永,
申请(专利权)人:天津环博科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。