【技术实现步骤摘要】
本申请涉及传感，具体涉及可用于对精密制造设备的运动台进行零位定位的零位传感器。
技术介绍
1、工件台是精密制造设备的关键部件之一，它的主要功能是完成硅片的装夹、上片、下片、步进和曝光等工作。工件台的性能对精密制造设备的各项指标具有极其重要的影响，它的定位精度对光刻精度具有决定性影响，最大行程决定了光刻晶圆的最大尺寸，而运行速度则直接决定着精密制造设备的产率。为了满足对于精密制造设备性能的要求，工件台必须具备超精密六自由度位移测量系统，用以实现工件台运行过程中的位置检测和反馈。工件台的六自由度测量是由多轴双频激光干涉仪系统完成的，但是由于双频激光干涉仪是增量工作型仪器，因此必须为其提供绝对参考位置作为初始零位，然后双频激光干涉仪才能正常工作。
2、当零位传感器按照理论设计时，入射光垂直入射角锥棱镜，经反射后反射光照射在位置传感器上，通过读取位置传感器上反射光的位置变化，从而推算角锥棱镜的移动，位置变化与读数关系之间存在一个固定转换矩阵；角锥棱镜的有效范围与入射角度相关，垂直入射时有效范围最大，来自角锥棱镜的反射光线垂直入射至位...
【技术保护点】
1.一种零位传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的零位传感器，其特征在于：所述光源安装板与所述光源安装基板之间通过至少3根第一弹性件连接，在所述光源安装基板上设置有至少3个第一螺纹通孔，每个第一螺纹通孔配置有一根第一调节螺钉，通过旋拧所述第一调节螺钉使所述第一调节螺钉与所述光源安装板抵触可以调节所述光源安装板与所述光源安装基板之间的平行度。
3.根据权利要求1所述的零位传感器，其特征在于：所述光源通过光源固定件安装在所述光源安装板上，所述光源固定件与所述光源安装板之间的相对位置可调。
4.根据权利要求3所述的零位传感器...
【技术特征摘要】
1.一种零位传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的零位传感器，其特征在于：所述光源安装板与所述光源安装基板之间通过至少3根第一弹性件连接，在所述光源安装基板上设置有至少3个第一螺纹通孔，每个第一螺纹通孔配置有一根第一调节螺钉，通过旋拧所述第一调节螺钉使所述第一调节螺钉与所述光源安装板抵触可以调节所述光源安装板与所述光源安装基板之间的平行度。
3.根据权利要求1所述的零位传感器，其特征在于：所述光源通过光源固定件安装在所述光源安装板上，所述光源固定件与所述光源安装板之间的相对位置可调。
4.根据权利要求3所述的零位传感器，其特征在于：所述光源固定件包括连接安装部，所述连接安装部与所述光源安装板贴合，且可沿着所述光源安装板滑动，在所述连接安装部上设有腰型孔，还包括与所述腰型孔配合的用于锁紧所述连接安装部与所述光源安装板之间的相对位置的锁紧螺钉。
5.根据权利要求4所述的零位传感器，其特征在于：所述光源固定件还包括光源夹持部，所述光源夹持部包括第一夹持板、第二夹持板和连接所述第一夹持板和第二夹持板的连接部，所述第一夹持板与第二夹持板之间形成夹持口，所述光源安装在所述夹持口内，还包括用于调节所述第一夹持板和第二夹持板之间的夹持松紧度的夹持螺钉，在所述第一夹持板和第二夹持板上设置有与所述夹持螺钉配合的第五螺纹通孔。
6.根据权利要求1所述的零位传感器，其特征在于：所述位置传感器可转动的设置在传感器安装板上，所述基座上设有用于安装所述位置传感器的传感器安装基板，
7.根据权...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。