【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示，尤其涉及一种膜厚检测方法、膜厚检测基板和显示装置。
技术介绍
1、有机电致发光二极管(organic light emi tt ing diode，简称oled)显示器件，相比与液晶显示器具有自发光、响应快、色彩艳、视角广等优点，是拥有巨大潜力的下一代新型显示技术。
2、oled显示技术主要制作工艺有两种，一是fmm(fine metal mask，金属掩膜)蒸镀工艺，另一种则是喷墨打印工艺。这两种工艺的主要区别在于设备和原材料。其中，蒸镀工艺是在真空设备内将固体有机原料通过加热汽化再冷凝至oled基板上得到薄膜。喷墨打印工艺则不同，主要是将有机材料溶于溶剂中，通过高精度喷头直接打在目标像素中，经过vcd(vaccum-drying，真空干燥)及烘烤(bake)工艺得到薄膜。
3、在设计器件结构优化性能前，需要收集喷墨打印墨水在像素内的成膜情况，尤其是bake制程结束后，发光层薄膜的膜厚tool ing曲线(单位体积墨水所对应的成膜厚度)，由于rgb开口率设计可能存在差异，需要监控三种像素对不同墨水的容纳能力。
4、目前一般做法是将显示区(act ive area，aa区)分为三个相邻设置的区域，在每个区域内由上至下分别打印穴注入层(hole inject ion layer，hil)、空穴传输层(holetransport layer，htl)及发光材料层(emiss ive layer，eml)，并且每个区域中打印墨水的体积不同，该设计存在的问题有：①当墨水打印完成后，受v
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，提供一种膜厚检测方法、膜厚检测基板和显示装置，以解决目前检验喷墨打印墨水在像素内的成膜均一性时，在边缘位置成膜不均，不同墨水在交界位置存在互相污染导致膜厚结果失真的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种膜厚检测方法，所述膜厚检测方法包括如下步骤：
3、在一膜厚检测基板上间隔设置至少三个喷墨打印区，在每个喷墨打印区中设置多个像素槽，所有像素槽的面积相同；
4、在每个喷墨打印区中分别打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料，且在每一喷墨打印区中，根据墨水滴数的预设顺序在多个像素槽内喷墨打印的墨水滴数依次增加；
5、按照墨水滴数的预设顺序，获取每一喷墨打印区中的多个像素槽的膜层厚度值，并绘制每一喷墨打印区的墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线；
6、根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性。
7、进一步的，所述在每个喷墨打印区中设置多个像素槽步骤中，设置的像素槽的数量为n个；在每一喷墨打印区中的多个像素槽内喷墨打印的墨水滴数依次逐滴增加；其中n为整数。
8、进一步的，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
9、获取在每一喷墨打印区中的喷墨打印的墨水种类；
10、对每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线构建线性函数y＝ax+b，其中x表示墨水滴数对应的墨水体积，y表示对应墨水滴数的膜层厚度值，a表示斜率，b表示膜厚参数；
11、计算每一喷墨打印区对应的线性函数y＝ax+b的线性相关程度r2；
12、根据|r2-1|的值判断每一喷墨打印区打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性，其中|r2-1|的值越小表示成膜厚度均一性越好。
13、进一步的，在另一实施例中，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
14、获取在每一喷墨打印区中的喷墨打印的墨水种类；
15、根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线计算相邻两滴墨水成膜厚度的差值，作为后一滴墨水的成膜厚度；
16、计算每一喷墨打印区的所有单滴墨水的成膜厚度的方差；
17、根据方差的大小判断每一喷墨打印区打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性，其中方差的值越小表示成膜厚度均一性越好。
18、进一步的，所述膜厚检测方法还包括步骤：
19、在所述膜厚检测基板上还设置至少一个膜厚测试区，在所述膜厚测试区中设置多个像素槽，所有像素槽的面积相同；
20、在所述膜厚测试区的像素槽中依次打印一滴第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料；
21、计算在所述膜厚测试区的像素槽内的平均成膜厚度；
22、计算在每个喷墨打印区中分别打印一滴第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的平均成膜厚度；
23、将所述膜厚测试区的像素槽内的平均成膜厚度与所有喷墨打印区的打印一滴第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的平均成膜厚度对比，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性。
24、进一步的，所述膜厚检测方法还包括步骤：
25、在所述膜厚检测基板上设置第一膜厚测试区和第二膜厚测试区，在所述第一膜厚测试区和所述第二膜厚测试区中均设置多个像素槽，所有像素槽的面积相同；
26、在所述第一膜厚测试区内的像素槽中依次打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料；
27、间隔第一时长后，在所述第二膜厚测试区内的像素槽中依次打印与所述第二膜厚测试区相同滴数的第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料；
28、分别计算在所述第一膜厚测试区和所述第二膜厚测试区的像素槽内的平均成膜厚度；
29、将所述第一膜厚测试区和所述第二膜厚测试区的像素槽内的平均成膜厚度进行对比，判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性。
30、本申请还提供一种膜厚检测基板，用于实现前文所述的膜厚检测方法；其中，在所述膜厚检测基板上间隔设置至少三个喷墨打印区，在每个喷墨打印区中设置多个像素槽，所有像素槽的面积相同。
31、进一步的，在每个喷墨打印区中的多个像素槽设置在一条直线上。
32、进一步的，所述膜厚检测基板设有显示区，所述至少三个喷墨打印区设于所述显示区内且相邻设置；在所述显示区内还设有至少一个膜厚测试区，所述膜厚测试区设置在所述至少三个喷墨打印区的侧部；在所述膜厚测试区中设置多个像素槽，所有像素槽的面积相同。
33、本申请还提供一种显示装置，所述显示装置设有显示面板，所述显示面板的发光层膜层通过喷墨打印方式制作，所述发光层的膜层厚度的均一性通过采用前文所述的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种膜厚检测方法，其特征在于，所述膜厚检测方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述在每个喷墨打印区中设置多个像素槽步骤中，设置的像素槽的数量为N个；在每一喷墨打印区中的多个像素槽内喷墨打印的墨水滴数依次逐滴增加；其中N为整数。
3.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
4.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
5.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述膜厚检测方法还包括步骤：
6.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述膜厚检测方法还包括步骤：
7.一种膜厚检测基板，其特征在于，用于实现权利要求1至6任一项所述的膜厚检测方法；
8.根据
9.根据权利要求7所述的膜厚检测基板，其特征在于，所述膜厚检测基板设有显示区，所述至少三个喷墨打印区设于所述显示区内且相邻的两个喷墨打印区之间存在间隙；
10.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置设有显示面板，所述显示面板的发光层膜层通过喷墨打印方式制作，所述发光层的膜层厚度的均一性通过采用权利要求1至6任一项所述的膜厚检测方法进行检验。
...【技术特征摘要】
1.一种膜厚检测方法，其特征在于，所述膜厚检测方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述在每个喷墨打印区中设置多个像素槽步骤中，设置的像素槽的数量为n个；在每一喷墨打印区中的多个像素槽内喷墨打印的墨水滴数依次逐滴增加；其中n为整数。
3.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
4.根据权利要求1所述的膜厚检测方法，其特征在于，所述根据每一喷墨打印区对应的所述墨水滴数与膜层厚度值的关系曲线，分别判断打印第一墨水材料、第二墨水材料及第三墨水材料的成膜厚度均一性步骤，包括：
5.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李思博，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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