【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体自动化运输，更具体地说，它涉及一种oht轨道天车维修装置。
技术介绍
1、晶圆厂通常使用自动物料传输系统来提高工厂自动化程度，能够更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程，空中运输装置(oht:overhead hoist transport)是一种晶圆盒的传输装置，广泛应用于大型自动化晶圆厂内，其中oht天车的行驶是其中重要的一个环节。
2、为了保证自动物流传输系统高效可靠地运转，需及时对有故障的oht天车进行维修或者定期维护保养，当oht天车需要维修、常规维保时，通常需要借助维修装置将oht天车降至地面，维修保养结束后，同样需借助维修装置将oht天车由地面提升至顶部运行工位，因此维修装置是oht天车系统中必不可少的一部分。
3、现有的维修装置主要为电机、链轮、链条、配重、导轨所组成的结构，即通过电机将动力输出至减速机进而带动链轮链条运动，内部天车、升降轨道等升降组件与配重相对运动，进而实现oht天车等结构的升降。这种方式存在的主要问题是链轮链条在运动时容易产生较大的冲击、噪声、振动，这显然是不适用于oht天车精密设备和无尘洁净车间的，同时，这种结构使链条链轮严重磨损，多次使用后容易导致oht天车升至顶部后升降轨道与外部运行轨道无法精准对齐的情况，进而对oht天车在轨道上的平稳运行产生影响进而可能会产生较大的振动。同时由于配重的存在会导致维修站需要较大的安装空间，间接影响了工厂车间建设成本的升高。
4、另外，oht天车位于维修装置最低位置时，如就地维修则存在维修空间较小，人员
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种oht轨道天车维修装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种oht轨道天车维修装置，包括用于对天车进行升降的升降塔及用于对下降后的天车进行转移的移动车，所述升降塔与所述移动车为活动式连接，所述升降塔包括塔体、对接机构、升降机构及限位机构，所述对接机构滑动安装在所述升降机构上，所述升降机构固定安装在所述塔体上，所述限位机构固定安装在所述升降机构的上下两端。
3、进一步地，所述对接机构用于支撑天车升降以及使天车顺利进入或移出升降塔，所述对接机构包括左右对称安装的支座，每一所述支座上均固定安装有第一导轨、利兹线槽、滑动座及垫块，所述利兹线槽安装于靠近所述第一导轨处，所述垫块在每一所述支座上前后对称安装有两个，所述滑动座安装于远离所述第一导轨的一端。
4、进一步地，所述左右两第一导轨上还固定安装有连接两者的加强筋条，所述加强筋条在所述第一导轨的长度方向上至少安装有两件。
5、进一步地，所述升降机构包括在所述塔体左右两端对称安装的第二导轨以及丝杆，在所述塔体的上端固定安装有与两所述丝杆连接的同步传动机构，在所述第二导轨上滑动安装有滑块，在所述丝杆上螺纹连接可在其上上下活动的螺母块。
6、进一步地，所述同步传动机构包括电机、减速器、同步带轮、同步带及联轴器，所述减速器安装在所述塔体上靠近丝杆处，所述减速器的输入端及输出端分别与所述电机及丝杆连接，每一所述丝杆的上端均安装有同步带轮，所述同步带套设安装在两所述同步带轮的外部，所述联轴器用于将安装有所述同步带轮的轴与所述丝杆连接。
7、进一步地，两所述同步带轮间还安装有张紧机构，所述张紧机构包括固定安装在所述塔体一端的调节组件以及转动安装于其上的张紧轮，且所述张紧轮套设安装在所述同步带内侧。
8、进一步地，所述限位机构包括安装于升降机构上下两端的缓冲器，安装在靠近所述缓冲器的第一传感器以及安装在所述塔体高度方向上的第二传感器，所述缓冲器、第一传感器及第二传感器均安装有至少两件。
9、进一步地，所述移动车包括用于支撑的支架，安装于所述支架顶端的固定板，安装于所述固定板上的第三导轨，安装于固定板上的活动挡板以及安装于所述支架底端的滑轮，所述活动挡板及所述滑轮至少安装有两件。
10、进一步地，所述塔体上靠近所述移动车处安装有导向件及定位件，所述移动车上对应安装有导向轮及定位块。
11、进一步地，所述塔体的底部四角分别安装有固定件以及调节件。
12、综上所述，本技术具有以下有益效果：
13、本技术的一种oht轨道天车维修装置，通过设置升降塔及移动车，可将需维护的天车降至地面并转移至指定的场地维护，灵活性好，使得升降塔的占用空间小，更加便于人员进行维护；升降塔内的升降机构，通过设置第二导轨、丝杆、同步传动机构、滑块及螺母块，使得天车的升降运行稳定，振动噪音小；升降塔内的对接机构，通过设置支座、第一导轨、利兹线槽、滑动座及垫块，使得与外部轨道的对齐精度高，天车能平顺的进出，可靠性好且安全性高；升降塔内的限位机构，通过设置缓冲器、第一传感器及第二传感器，使得对接机构在升降的过程中更加的平稳可靠，减少冲击的产生，大幅降低设备的故障率，实用性更强。
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1.一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，包括用于对天车进行升降的升降塔及用于对下降后的天车进行转移的移动车，所述升降塔与所述移动车为活动式连接，所述升降塔包括塔体、对接机构、升降机构及限位机构，所述对接机构滑动安装在所述升降机构上，所述升降机构固定安装在所述塔体上，所述限位机构固定安装在所述升降机构的上下两端。
2.根据权利要求1所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述对接机构用于支撑天车升降以及使天车顺利进入或移出升降塔，所述对接机构包括左右对称安装的支座，每一所述支座上均固定安装有第一导轨、利兹线槽、滑动座及垫块，所述利兹线槽安装于靠近所述第一导轨处，所述垫块在每一所述支座上前后对称安装有两个，所述滑动座安装于远离所述第一导轨的一端。
3.根据权利要求2所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述左右两第一导轨上还固定安装有连接两者的加强筋条，所述加强筋条在所述第一导轨的长度方向上至少安装有两件。
4.根据权利要求1所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述升降机构包括在所述塔体左右两端对称安装的第二导轨以及丝杆
5.根据权利要求4所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述同步传动机构包括电机、减速器、同步带轮、同步带及联轴器，所述减速器安装在所述塔体上靠近丝杆处，所述减速器的输入端及输出端分别与所述电机及丝杆连接，每一所述丝杆的上端均安装有同步带轮，所述同步带套设安装在两所述同步带轮的外部，所述联轴器用于将安装有所述同步带轮的轴与所述丝杆连接。
6.根据权利要求5所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，两所述同步带轮间还安装有张紧机构，所述张紧机构包括固定安装在所述塔体一端的调节组件以及转动安装于其上的张紧轮，且所述张紧轮套设安装在所述同步带内侧。
7.根据权利要求1所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述限位机构包括安装于升降机构上下两端的缓冲器，安装在靠近所述缓冲器的第一传感器以及安装在所述塔体高度方向上的第二传感器，所述缓冲器、第一传感器及第二传感器均安装有至少两件。
8.根据权利要求1所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述移动车包括用于支撑的支架，安装于所述支架顶端的固定板，安装于所述固定板上的第三导轨，安装于固定板上的活动挡板以及安装于所述支架底端的滑轮，所述活动挡板及所述滑轮至少安装有两件。
9.根据权利要求8所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述塔体上靠近所述移动车处安装有导向件及定位件，所述移动车上对应安装有导向轮及定位块。
10.根据权利要求1所述的一种OHT轨道天车维修装置，其特征在于，所述塔体的底部四角分别安装有固定件以及调节件。
...【技术特征摘要】
1.一种oht轨道天车维修装置，其特征在于，包括用于对天车进行升降的升降塔及用于对下降后的天车进行转移的移动车，所述升降塔与所述移动车为活动式连接，所述升降塔包括塔体、对接机构、升降机构及限位机构，所述对接机构滑动安装在所述升降机构上，所述升降机构固定安装在所述塔体上，所述限位机构固定安装在所述升降机构的上下两端。
2.根据权利要求1所述的一种oht轨道天车维修装置，其特征在于，所述对接机构用于支撑天车升降以及使天车顺利进入或移出升降塔，所述对接机构包括左右对称安装的支座，每一所述支座上均固定安装有第一导轨、利兹线槽、滑动座及垫块，所述利兹线槽安装于靠近所述第一导轨处，所述垫块在每一所述支座上前后对称安装有两个，所述滑动座安装于远离所述第一导轨的一端。
3.根据权利要求2所述的一种oht轨道天车维修装置，其特征在于，所述左右两第一导轨上还固定安装有连接两者的加强筋条，所述加强筋条在所述第一导轨的长度方向上至少安装有两件。
4.根据权利要求1所述的一种oht轨道天车维修装置，其特征在于，所述升降机构包括在所述塔体左右两端对称安装的第二导轨以及丝杆，在所述塔体的上端固定安装有与两所述丝杆连接的同步传动机构，在所述第二导轨上滑动安装有滑块，在所述丝杆上螺纹连接可在其上上下活动的螺母块。
5.根据权利要求4所述的一种oht轨道天车维修装置，其特征在于，所述同步传动机构包括电机、减速器、同步带轮、同步带...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海峰，张昆明，陈海星，龙宇，覃永平，聂勇，李青松，
申请(专利权)人：深圳市智佳能自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：
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