【技术实现步骤摘要】
本技术涉及流量阀，尤其涉及一种调速式半导体用流量阀。
技术介绍
1、调速式半导体用流量阀（variable-speed semiconductor flow valve）是一种用于半导体制造过程中的流体控制设备。它被广泛应用于半导体制造设备中，用于精确控制流体的流量和压力。
2、这种流量阀采用电子调速技术，能够根据实际需求精确地调整流体的流量。它通常由一个电动执行器和一个流体传感器组成。电动执行器根据传感器的反馈信号，通过调节阀门的开度来控制流体的流量；
3、现有的流量阀与管路连接之后没有稳定的支撑结构对流量阀进行合理支撑，因此在工作过程中随着管路的振动，长期会导致连接处松动，降低流量阀的使用寿命。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种调速式半导体用流量阀，解决以下技术问题：现有的流量阀在长期使用会导致连接处松动，影响使用寿命。
2、本技术的技术方案：一种调速式半导体用流量阀，包括安装座和位于安装座上方的流量阀本体，所述安装座的顶部固定有支撑调节杆，所述支撑调节杆的顶部固定有支撑框，所述流量阀本体位于支撑框的内部，所述支撑框底壁的内表面设置有第一气囊，所述第一气囊的底壁的内表面连接有多个第一弹簧，多个所述第一弹簧的一端共同固定有支撑板。
3、优选的，所述支撑框顶壁的内表面固定有第二气囊，所述流量阀本体位于第一气囊和第二气囊之间。
4、优选的，所述第二气囊与第一气囊之间连接有通气管。
5、优选的，所述支撑调
6、优选的，所述定位杆的一侧沿竖直方向设有多个定位孔，所述安装座的上表面固定有立柱，所述立柱的顶端固定有横担，所述横担的两端均设置有缺口，所述缺口内滑动连接有定位块，所述定位块的一侧连接有第二弹簧，第二弹簧的一端连接在缺口的侧壁上，且所述定位块远离第二弹簧的一端贯穿套筒的侧壁伸入套筒的内部，所述定位块与定位孔尺寸相匹配。
7、与现有技术相比，本技术具有如下有益的技术效果：本技术有效的对流量阀本体进行支撑，保证了流量阀本体使用时的稳定性，降低振动对连接处的损伤，延长流量阀的使用寿命。
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1.一种调速式半导体用流量阀，包括安装座（1）和位于安装座（1）上方的流量阀本体（2），其特征在于：所述安装座（1）的顶部固定有支撑调节杆（3），所述支撑调节杆（3）的顶部固定有支撑框（4），所述流量阀本体（2）位于支撑框（4）的内部，所述支撑框（4）底壁的内表面设置有第一气囊（5），所述第一气囊（5）的底壁的内表面连接有多个第一弹簧（6），多个所述第一弹簧（6）的一端共同固定有支撑板（7）。
2.根据权利要求1所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述支撑框（4）顶壁的内表面固定有第二气囊（8），所述流量阀本体（2）位于第一气囊（5）和第二气囊（8）之间。
3.根据权利要求2所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述第二气囊（8）与第一气囊（5）之间连接有通气管（9）。
4.根据权利要求1所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述支撑调节杆（3）包括开口向下的套筒（301），所述套筒（301）内设置有定位杆（302），所述套筒（301）的顶端固定在支撑框（4）的底壁上，所述定位杆（302）的底端固定在安装座（1）上。
...【技术特征摘要】
1.一种调速式半导体用流量阀，包括安装座（1）和位于安装座（1）上方的流量阀本体（2），其特征在于：所述安装座（1）的顶部固定有支撑调节杆（3），所述支撑调节杆（3）的顶部固定有支撑框（4），所述流量阀本体（2）位于支撑框（4）的内部，所述支撑框（4）底壁的内表面设置有第一气囊（5），所述第一气囊（5）的底壁的内表面连接有多个第一弹簧（6），多个所述第一弹簧（6）的一端共同固定有支撑板（7）。
2.根据权利要求1所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述支撑框（4）顶壁的内表面固定有第二气囊（8），所述流量阀本体（2）位于第一气囊（5）和第二气囊（8）之间。
3.根据权利要求2所述的一种调速式半导体用流量阀，其特征在于，所述第二气囊（8）与第一气囊（5）之间连接有通气管（9）。
4.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈龙，冯立军，王建，明安群，
申请(专利权)人：阪本金属常州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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