【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可变光衰减器件，其特征在于，该器件包括：硅基座以及与所述硅基座键合的玻璃基座，所述硅基座设置有垂直光反射面、以及以所述光反射面为一侧面的加热空腔，所述加热空腔与所述玻璃基座的部分上表面围成密封腔体，在所述密封腔体内的玻璃基座的上表面上设置有加热部件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴文刚，陈庆华，杜博超，张海霞，郝一龙，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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