光学器件及光谱装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学器件及光谱装置。光学器件具备第一光学系统和第二光学系统，第一光学系统具备：第一光分割元件，将从第一光源射出的测定光进行分割、混合；第一镜，向一方测定光的入射方向移动，且通过使其反射而附加第一调制信号；第二镜，使另一方测定光反射；以及第一受光元件，接收包含来自样品的信号以及第一调制信号的测定光并输出第一受光信号，第二光学系统具备：第二光源，射出激光；光调制器，对激光附加第二调制信号；以及第二受光元件，接收包含通过第一镜的反射而生成的位移信号以及第二调制信号的激光，并输出第二受光信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学器件及光谱装置。

技术介绍

1、专利文献1中公开了用于光谱分析的光学器件，该光谱分析是获取样品放射或吸收的光的光谱信息并基于此对样品中的成分等进行分析。该光学器件具备镜单元、分束器单元、第一光检测器、第二光源、以及第二光检测器。镜单元包括向预定方向移动的可动镜、以及位置被固定的固定镜。在这样的光学器件中，通过分束器单元、可动镜及固定镜，构成分别射入测定光及激光的干涉光学系统。

2、从第一光源经由测定对象而射入的测定光在分束器单元中被分割。分割后的测定光的一部分被可动镜反射而返回分束器单元。分割后的测定光的剩余部分被固定镜反射而返回分束器单元。返回到分束器单元的测定光的一部分及剩余部分被第一光检测器检测为干涉光。

3、另一方面，从第二光源射出的激光在分束器中被分割。分割后的激光的一部分被可动镜反射而返回分束器单元。分割后的激光的剩余部分被固定镜反射而返回分束器单元。返回到分束器单元的激光的一部分及剩余部分被第二光检测器检测为干涉光。

4、在这样的光学器件中，可以基于激光的干涉光的检测结果，实现可动镜的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学器件，其特征在于，具备第一光学系统以及第二光学系统，所述第一光学系统具备：

2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

8.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

9.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种光学器件，其特征在于，具备第一光学系统以及第二光学系统，所述第一光学系统具备：

2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的光学器件，其特征在于，

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田耕平，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：