【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光纤传感技术，尤其涉及一种光纤气体分子质量传感器及其制备方法和质量测量方法。
技术介绍
1、气体分子质量传感器，是用来筛分不同质量的气体分子的，其在生活中应用广泛，例如其可被用于气体分子筛、质谱仪中，应用于氢气纯化、天然气纯化、空气分离、二氧化碳捕集以及有机蒸汽分离等。
2、基于片上工艺的传统气体膜分离技术，在实际应用中通常需要复杂的检测设备，虽然制备工艺成熟且成本可控制较低，但其应用场景受电子检测设备的限制，难以在高真空度、电磁干扰严重的封闭气体腔室中进行实时检测。
3、因此，开发一种全光结构、抗电磁干扰、微型化、高灵敏度、实时可视化监测的气体分子质量传感器，具有非常重要的意义。
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术的不足，本专利技术提供一种基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，可实现气体分子质量的测量，具有抗电磁干扰、微型化、高灵敏度、实时可视化监测等优势。
2、本专利技术还提供上述光纤气体分子质量传感器的制备方法和质量测量方法。p>
3、本专利本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，其特征在于，包括单模光纤、空心管和多孔渗透薄膜，所述空心管具有光学微腔以及与所述光学微腔的两端分别连通的第一端口和第二端口，所述空心管的第一端口与所述单模光纤的一端面相连接，所述空心管的第二端口与所述多孔渗透薄膜相连接；所述单模光纤的端面、所述空心管的光学微腔及所述多孔渗透薄膜共同形成一FP干涉仪。
2.根据权利要求1所述的基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，其特征在于，所述多孔渗透薄膜包括相层叠的弹性薄膜和反射薄膜，所述弹性薄膜形成于所述空心管的第二端口上，所述反射薄膜形成于所述弹性薄膜背向所述空心管的一面...
【技术特征摘要】
1.一种基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，其特征在于，包括单模光纤、空心管和多孔渗透薄膜，所述空心管具有光学微腔以及与所述光学微腔的两端分别连通的第一端口和第二端口，所述空心管的第一端口与所述单模光纤的一端面相连接，所述空心管的第二端口与所述多孔渗透薄膜相连接；所述单模光纤的端面、所述空心管的光学微腔及所述多孔渗透薄膜共同形成一fp干涉仪。
2.根据权利要求1所述的基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，其特征在于，所述多孔渗透薄膜包括相层叠的弹性薄膜和反射薄膜，所述弹性薄膜形成于所述空心管的第二端口上，所述反射薄膜形成于所述弹性薄膜背向所述空心管的一面上；所述弹性薄膜和反射薄膜上形成有扩散气孔阵列。
3.根据权利要求2所述的基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器，其特征在于，所述扩散气孔阵列的孔径d满足公式，
4.一种基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的基于光纤传感的光纤气体分子质量传感器...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘申，林侨，王义平，洪桂清，刘博男，丁伟，肖月亮，王明秀，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：
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