【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏，特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
1、在topcon电池(隧穿氧化层钝化接触电池)等太阳能电池的传统制备方法中，采用印刷银浆的方法形成电极。然而，金属银的价格较高，银浆成本在非硅成本中占比最大，且近年来白银价格呈上升趋势，推高了太阳能电池的生产成本。采用电镀工艺形成电极的技术方案，可以采用镍、铜、锡等较为廉价的金属替代银，降低生产成本。
2、采用电镀工艺制备电极时，需要在电池主体上形成起钝化、减反射等一种或多种功能的功能层后，在功能层上形成开口，再在开口中电镀形成电极层。一种传统方法通过激光刻蚀对功能层进行刻蚀以形成开口。然而激光刻蚀会造成对电池主体的激光损伤，导致太阳能电池的开路电压(voc)下降，降低光电转换效率。另一种传统方法是在电池主体表面完成功能层的制备之后，在功能层的表面形成图形化的掩膜层，掩膜层例如为感光油墨，然后用氢氟酸等刻蚀剂刻蚀功能层，形成开口，再在开口中电镀形成电极层，最后去除掩膜层。然而，这种方法存在掩膜层耐受氢氟酸等刻蚀剂的能力不足的问题，使得掩膜层在刻蚀功能层的过程中局部被腐蚀脱落，导致掩膜层局部区域无法起到掩膜的作用。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种太阳能电池及其制备方法，以解决掩膜层在刻蚀功能层的过程中局部被腐蚀脱落的问题。
2、本专利技术的第一方面为提供一种太阳能电池的制备方法，方案如下：
3、一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：
4、在电池主体上形成
5、在所述第一功能层上覆盖图案化的掩膜层；
6、透过所述掩膜层对所述第一功能层进行刻蚀处理，在所述第一功能层上形成开口；
7、在所述开口中沉积电极层；
8、去除所述掩膜层；以及
9、在所述第一功能层上形成第二功能层。
10、在其中一个实施例中，所述第一功能层和所述第二功能层的厚度之比为1∶(2～8)。
11、在其中一个实施例中，所述第一功能层的厚度为5nm～20nm。
12、在其中一个实施例中，所述第二功能层的厚度为40nm～70nm。
13、在其中一个实施例中，所述第一功能层为钝化层、减反射层以及电镀掩膜层中的一种或者多种。
14、在其中一个实施例中，所述第二功能层为钝化层以及减反射层中的一种或者多种。
15、在其中一个实施例中，所述第一功能层和所述第二功能层的材料选自氮化硅、氧化硅以及氧化铝中的一种或者多种。
16、在其中一个实施例中，所述掩膜层的材料为感光油墨。
17、在其中一个实施例中，沉积所述电极层的方式为电镀、化学镀、物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或者多种。
18、在其中一个实施例中，沉积所述电极层的步骤包括：
19、通过电镀工艺依次形成镍层以及位于所述镍层上的铜层；
20、通过化学镀工艺在所述铜层上形成银层。
21、在其中一个实施例中，所述刻蚀处理采用氢氟酸作为刻蚀剂。
22、在其中一个实施例中，所述氢氟酸的质量浓度为1％～10％。
23、在其中一个实施例中，所述刻蚀处理的时间为3min～10min。
24、在其中一个实施例中，所述制备方法还包括以下步骤：
25、去除沉积在所述电极层上的所述第二功能层，以露出所述电极层。
26、在其中一个实施例中，去除沉积在所述电极层上的所述第二功能层的方法为激光刻蚀。
27、本专利技术的第二方面为提供一种太阳能电池，其是通过上述任一实施例的制备方法所述的制备方法制备得到。
28、与传统方案相比，上述太阳能电池及其制备方法具有以下有益效果：
29、上述太阳能电池的制备方法在电池主体上形成第一功能层，覆盖掩膜层后对第一功能层进行刻蚀处理，以在第一功能层上形成开口，沉积电极层并去除掩膜层后，再在第一功能层上形成第二功能层，使功能层达到所需的厚度。此种制备方法将功能层分阶段进行制备，刻蚀处理仅刻蚀功能层的一部分，即第一功能层，相较于传统制备方法减少了刻蚀处理所需刻蚀的功能层厚度。因此，可以通过降低刻蚀剂浓度、缩减刻蚀处理的时间等方式，减轻刻蚀剂对掩膜层的腐蚀作用，减少掩膜层在刻蚀处理的过程中发生局部脱落的情况，使掩膜层能够起到良好的掩膜作用。
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1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法符合以下特征(1)～(3)中的一项或者多项：
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法符合以下特征(1)～(4)中的一项或者多项：
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，沉积所述电极层的方式为电镀、化学镀、物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或者多种。
5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，沉积所述电极层的步骤包括：
6.如权利要求1～5中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述刻蚀处理采用氢氟酸以及氟化铵中的一种或多种作为刻蚀剂。
7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法符合以下特征(1)～(2)中的一项或者多项：
8.如权利要求1～5、7中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括以下步骤：
9.如权利要求8所述的制备方法，其特征在于，去除沉积在所述电极层上的所述第二功能层的方法为激光刻蚀。
10.一种太阳
...【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法符合以下特征(1)～(3)中的一项或者多项：
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法符合以下特征(1)～(4)中的一项或者多项：
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，沉积所述电极层的方式为电镀、化学镀、物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或者多种。
5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，沉积所述电极层的步骤包括：
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：王子港，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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