【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种四倍频激光脉冲产生装置及其方法。
技术介绍
1、目前，基于激光四倍频技术产生的200nm到300nm深紫外激光，在材料精细微加工、半导体检测、大气检测等领域有广泛的应用。深紫外激光具有以下特点：1)波长短，聚焦光斑小，聚焦后作用于加工材料，可以实现更高精度的激光加工；2)光子能量高，低的能量即可实现材料去除，因此激光加工热效应小；3)深紫外波段材料的吸收特性好，材料选择性好。基于以上几点，采用深紫外加工，相比红外、绿光及355nm紫外激光器可以实现更高质量加工效果。固体深紫外激光的产生方式是利用光学非线性二倍频晶体对红外激光先进行倍频产生绿光，再通过四倍频晶体四倍频效应产生。受限于四倍频晶体及光学器件的损伤问题，目前商用266nm深紫外激光器最高输出功率水平在10w量级。
2、深紫外激光器存在以下几个问题：1)激光器内部器件(尤其是四倍频晶体)易损伤，由于较高的光子能量，深紫外激光很容易破坏光学镜片膜层，目前行业内商用固体深紫外激光器产品，四倍频晶体寿命普遍小于4000小时；2)光束圆度差，四倍频过程中存在...
【技术保护点】
1.四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：包含红外激光器(1)、二倍频晶体(3)和四倍频晶体(5)，红外激光器(1)的输出光路上依次布置有透镜一(2)和二倍频晶体(3)，二倍频晶体(3)的输出光路上依次布置有透镜二(4)和四倍频晶体(5)，四倍频晶体(5)安装于一维运动平台(6)上，四倍频晶体(5)的输出光路上布置光斑整形系统(7)，光斑整形系统(7)包括沿光路依次布置的透镜三(8)、柱面镜一(9)以及柱面镜二(10)。
2.根据权利要求1所述的四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：所述红外激光器(1)是输出波长1064nm、1053、1030nm波段，输出功...
【技术特征摘要】
1.四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：包含红外激光器(1)、二倍频晶体(3)和四倍频晶体(5)，红外激光器(1)的输出光路上依次布置有透镜一(2)和二倍频晶体(3)，二倍频晶体(3)的输出光路上依次布置有透镜二(4)和四倍频晶体(5)，四倍频晶体(5)安装于一维运动平台(6)上，四倍频晶体(5)的输出光路上布置光斑整形系统(7)，光斑整形系统(7)包括沿光路依次布置的透镜三(8)、柱面镜一(9)以及柱面镜二(10)。
2.根据权利要求1所述的四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：所述红外激光器(1)是输出波长1064nm、1053、1030nm波段，输出功率10w～500w，输出脉宽1ps～100ns的红外激光器。
3.根据权利要求1所述的四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：所述二倍频晶体(3)为lbo晶体或者bbo晶体。
4.根据权利要求1所述的四倍频激光脉冲产生装置，其特征在于：所述四倍频晶体(5)为bbo晶体或者clbo晶体。
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，李立卫，
申请(专利权)人：苏州贝林激光有限公司，
类型：发明
国别省市：
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