System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() NTC线切割机张力臂校准装置及方法制造方法及图纸_技高网

NTC线切割机张力臂校准装置及方法制造方法及图纸

技术编号:40172360 阅读:5 留言:0更新日期:2024-01-26 23:41
本发明专利技术公开一种NTC线切割机张力臂校准装置,包括伸缩组件和测试组件,伸缩组件的一端固定在NTC线切割机的其中一个张力臂上,伸缩组件的另一端固定在上述张力臂对应的限位档杆上;测试组件包括测试金刚线和砝码,测试金刚线依次绕过上述张力臂对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导轮,测试金刚线的下端悬挂砝码;伸缩组件在缩短过程中拉动张力臂朝限位档杆转动,使张力臂在伸缩组件和测试组件的平衡下处于垂直状态,即使张力臂处于倾斜状态,也能通过伸缩组件的伸长或缩短将张力臂调整为垂直状态,从而使数值状态下张力臂上安装导向轮处测试金刚线的张力和砝码重力相等,提高校准的准确度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多线切割机,尤其涉及一种ntc线切割机张力臂校准装置及方法。


技术介绍

1、ntc线切割机是利用金刚线的往复运动对硅料方棒进行切割使之成约0.1-0.3mm薄的硅片,金刚线从放线轮出来,通过几个导向轮后缠绕到刻有细槽的主辊上,再从主辊上出来通过几个导向轮回到收线轮中。

2、金刚线与导向轮形成的包角α为金刚线与导向轮接触弧所对的圆心角,包角的大小反映金刚线与导向轮轮缘表面接触弧的长短,包角的计算公式为:α=l/(2πr),其中,l为金刚线与导轮的接触弧长即线-导轮接触长度,r为导轮半径,π为圆周率。

3、ntc线切割机的金刚线张力通过张力控制组件来调节,张力控制组件包括伺服电机、张力臂、第一导轮,采用伺服电机驱动张力臂左右摆动来调节金刚线的张力;若金刚线的张力过小会造成金刚线的切割力不足;若金刚线的张力过大则会导致金刚线崩断,金刚线崩断的原因是金刚线与导轮的接触弧长越长对金刚线的张力损失越大,金刚线的摩擦磨损也越大,而金刚线与导轮的接触弧长由张力臂的摆动幅度来决定,因此,张力臂的起始位置(张力臂处于垂直状态)和张力臂的摆动幅度是影响金刚线断裂的主要因素。ntc线切割机初次运行前需要进行对张力臂进行校准,而且ntc线切割机运行一段时间后,由于金刚线的伸长以及张力臂导轮的轻度磨损都会导致张力臂摆幅发生变化,尤其会出现张力臂的实际原点位置会偏离初始原点位置,随着运行时间的积累,张力臂的实际原点位置偏离初始原点位置的距离越远,如果张力臂的实际原点位置偏向初始原点位置的右侧,此时张力臂向初始原点的左侧摆动调节金刚线的过程中会使金刚线的张力大于金刚线的额定张力,导致金刚线在张力臂处发生断裂,所以一个月需要对张力臂进行两次校准,每次校准均需要将张力臂的实际原点位置和初始原点位置重合,以使ntc线切割机正常工作。

4、而现有技术中对张力臂的校准过程为:操作人员将扎带捆绑在右侧张力臂和右侧限位档杆上,然后调节扎带的长度使右侧张力臂处于垂直状态,接着用调试金刚线依次绕过右侧导轮、右侧张力臂导轮、右侧张力传感器导轮,调试金刚线下端悬挂砝码,利用砝码的自重拉动调试金刚线使张力臂朝右偏转、同时利用扎带拉拽右侧张力臂使右侧张力臂处于竖直状态。但是,由于扎带具有一定的弹性导致在校准过程中受到拉力后会伸长,需要操作人员再次将扎带的长度缩短,当扎带缩短后又无法伸长,使得很难将右侧张力臂的调试至垂直状态;在上述的调试过程中,有时需要一人托起砝码,另一个人调节扎带;导致现有的校准过程比较复杂、操作难度大、校准效率低、以及校准不准确。


技术实现思路

1、本专利技术主要目的在于提供一种ntc线切割机张力臂校准装置,以解决现有技术在校准张力臂恢复初始位置时无法便于将张力臂处于垂直状态的问题。

2、一种ntc线切割机张力臂校准装置,包括伸缩组件和测试组件,伸缩组件的一端固定在ntc线切割机的其中一个张力臂上,伸缩组件的另一端固定在上述张力臂对应的限位档杆上;测试组件包括测试金刚线和砝码,测试金刚线依次绕过上述张力臂对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导轮,测试金刚线的下端悬挂砝码;伸缩组件在缩短过程中拉动张力臂朝限位档杆转动,使张力臂在伸缩组件和测试组件的平衡下处于垂直状态。

3、优选的,伸缩组件包括第一固定件、第二固定件和调节件,第一固定件具有固定环和第一螺纹杆,固定环用于套置在限位档杆上,第二固定件具有u型套置部和第二螺纹杆,u型套置部用于套置在张力臂上,调节件的两端各设置一个螺纹孔,调节件两端的螺纹孔分别与第一螺纹杆、第二螺纹杆啮合,第一螺纹杆上设置的螺纹和第二螺纹杆上设置的螺纹互为反向螺纹,调节件两端螺纹孔的螺纹也互为反向螺纹,调节件朝一个方向旋转时使伸缩组件的长度缩短,调节件朝另一个方向旋转时使伸缩组件的长度伸长。

4、优选的,u型套置部的前端设置销轴,通过打开销轴便于将u型套置部套置在张力臂上,销轴的外壁设置防滑层,防滑层和张力臂接触后相互不易滑动,保证调试过程的快捷性和准确性。

5、优选的,张力臂上设置防滑槽,张力臂处于竖直状态时防滑槽的高度和同侧的限位档杆的高度相同,防滑槽供销轴放置以防止销轴沿着张力臂滑移。

6、优选的,测试金刚线的线径、材质和ntc线切割机使用的金刚线的线径、材质相同。

7、优选的,砝码的重力为39.6-48.4n。

8、本专利技术还提供一种ntc线切割机张力臂校准方法,该方法使用上述ntc线切割机张力臂校准装置完成校准,该方法包括以下步骤:

9、s1、将其中一个张力臂转动至垂直位置,此时ntc线切割机的监视器屏幕上显示张力臂处于零刻度处,即监视器屏幕的张力臂读数为0mm;

10、s2、将伺服放大器的调零旋钮调至归零;

11、s3、将上述ntc线切割机张力臂校准装置的伸缩组件一侧安装在一个张力臂上,伸缩组件的另一侧安装在该张力臂对应的限位档杆上;

12、s4、将测试金刚线以绕线的方向依次绕过上述张力臂同侧对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导向轮,将自重为42.9n的砝码悬挂在测试金刚线的下端,旋转调节件,将张力臂调整至垂直位置,张力臂的初始位置在监视器屏幕显示处于0mm的刻度位置处;旋转伺服放大器的精调旋钮调为42.9n,此时张力臂顶端的导向轮处测试金刚线的张力为42.9n;

13、s5、取下砝码、测试金刚线、伸缩组件,完成对其中一个张力臂的校准;

14、s6、按照步骤s1到s5的校准步骤完成对另一个张力臂的校准。

15、优选的,在“将上述ntc线切割机张力臂校准装置的伸缩组件一侧安装在一个张力臂上,伸缩组件的另一侧安装在该张力臂对应的限位档杆上”的过程中,需要将伸缩组件保持在水平状态。

16、由上述ntc线切割机张力臂校准装置的技术方案可知,本专利技术的有益效果为:张力臂在伸缩组件和测试组件的协同作用下处于垂直状态,即使张力臂处于倾斜状态,也能通过伸缩组件的伸长或缩短将张力臂调整为垂直状态,从而使数值状态下张力臂上安装导向轮处测试金刚线的张力和砝码重力相等,提高校准的准确度。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:包括伸缩组件和测试组件,伸缩组件的一端固定在NTC线切割机的其中一个张力臂上,伸缩组件的另一端固定在上述张力臂对应的限位档杆上;测试组件包括测试金刚线和砝码,测试金刚线依次绕过上述张力臂对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导轮,测试金刚线的下端悬挂砝码;伸缩组件在缩短过程中拉动张力臂朝限位档杆转动,使张力臂在伸缩组件和测试组件的平衡下处于垂直状态。

2.如权利要求1所述的NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:伸缩组件包括第一固定件、第二固定件和调节件,第一固定件具有固定环和第一螺纹杆,固定环用于套置在限位档杆上,第二固定件具有U型套置部和第二螺纹杆,U型套置部用于套置在张力臂上,调节件的两端各设置一个螺纹孔,调节件两端的螺纹孔分别与第一螺纹杆、第二螺纹杆啮合,第一螺纹杆上设置的螺纹和第二螺纹杆上设置的螺纹互为反向螺纹,调节件两端螺纹孔的螺纹也互为反向螺纹,调节件朝一个方向旋转时使伸缩组件的长度缩短,调节件朝另一个方向旋转时使伸缩组件的长度伸长。

3.如权利要求2所述的NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:U型套置部的前端设置销轴,通过打开销轴便于将U型套置部套置在张力臂上,销轴的外壁设置防滑层,防滑层和张力臂接触后相互不易滑动,保证调试过程的快捷性和准确性。

4.如权利要求2所述的NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:张力臂上设置防滑槽,张力臂处于竖直状态时防滑槽的高度和同侧的限位档杆的高度相同,防滑槽供销轴放置以防止销轴沿着张力臂滑移。

5.如权利要求1所述的NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:测试金刚线的线径、材质和NTC线切割机使用的金刚线的线径、材质相同。

6.如权利要求1所述的NTC线切割机张力臂校准装置,其特征在于:砝码的重力为39.6-48.4N。

7.一种NTC线切割机张力臂校准方法,该方法使用如权利要求1至6所述的NTC线切割机张力臂校准装置完成校准,其特征在于包括以下步骤:

8.如权利要求7所述的NTC线切割机张力臂校准方法,其特征在于:在“将上述NTC线切割机张力臂校准装置的伸缩组件一侧安装在一个张力臂上,伸缩组件的另一侧安装在该张力臂对应的限位档杆上”的过程中,需要将伸缩组件保持在水平状态。

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【技术特征摘要】

1.一种ntc线切割机张力臂校准装置,其特征在于:包括伸缩组件和测试组件,伸缩组件的一端固定在ntc线切割机的其中一个张力臂上,伸缩组件的另一端固定在上述张力臂对应的限位档杆上;测试组件包括测试金刚线和砝码,测试金刚线依次绕过上述张力臂对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导轮,测试金刚线的下端悬挂砝码;伸缩组件在缩短过程中拉动张力臂朝限位档杆转动,使张力臂在伸缩组件和测试组件的平衡下处于垂直状态。

2.如权利要求1所述的ntc线切割机张力臂校准装置,其特征在于:伸缩组件包括第一固定件、第二固定件和调节件,第一固定件具有固定环和第一螺纹杆,固定环用于套置在限位档杆上,第二固定件具有u型套置部和第二螺纹杆,u型套置部用于套置在张力臂上,调节件的两端各设置一个螺纹孔,调节件两端的螺纹孔分别与第一螺纹杆、第二螺纹杆啮合,第一螺纹杆上设置的螺纹和第二螺纹杆上设置的螺纹互为反向螺纹,调节件两端螺纹孔的螺纹也互为反向螺纹,调节件朝一个方向旋转时使伸缩组件的长度缩短,调节件朝另一个方向旋转时使伸缩组件的长度伸长。

3.如权利要求2所述的ntc线切割机张力臂校准装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:殷效财马玉怀芮阳兰正东魏瑶陈元寿徐慶晧王黎光曹启刚王忠保
申请(专利权)人:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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