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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及精制过氧化氢水溶液的制造方法,尤其涉及包括使用反渗透膜(ro膜)进行的渗透膜处理工序的精制过氧化氢水溶液的制造方法。
技术介绍
1、过氧化氢具有氧化力、强力的漂白/杀菌作用,因此,被用作纸、纸浆、纤维等的漂白剂、杀菌剂、食品添加剂等。进而,在半导体基板等的表面清洗、包含铜、锡等的铜合金的表面化学研磨、电子电路的蚀刻等电子工业中,过氧化氢的用量也正在增大。
2、作为过氧化氢的制造方法,通常为蒽醌法,但通过使用这种有机溶剂的方法而制造的过氧化氢水溶液包含源自所使用的有机溶剂的有机物等杂质。另外,在通过蒽醌法来制造过氧化氢水溶液时的超声波脱气等中,有时也发生起泡,产生过氧化氢特有的异味。
3、出于上述原因,进行对通过蒽醌法等而得到的过氧化氢水溶液进行精制的操作。作为一般的过氧化氢水溶液的精制方法,有蒸馏、使用旋风分离器、吸附树脂、离子交换树脂、反渗透膜等的方法(专利文献1)。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:日本特开2000-302418
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、存在下述问题:即便利用以往的精制方法,也不一定能够得到具有充分理想性状的过氧化氢水溶液。即,在通过现有方法进行了精制的过氧化氢水溶液中,也包含较多以有机物为首的杂质,或者,无法充分抑制在脱气时发生的起泡、异味。
3、寻求有机物等杂质得以削减、不会发生起泡或异味的过氧化氢水溶液的制造方法。
< ...【技术保护点】
1.一种精制过氧化氢水溶液的制造方法,其包括:使包含杂质的粗过氧化氢水溶液接触反渗透膜的渗透膜处理工序,
2.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面粗糙度的平均值为0.24μm以上。
3.根据权利要求1或2所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面粗糙度的平均值为1.0μm以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面处的氧量/氮量的重量比的值小于40。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的制造方法,其还具有测定在所述渗透膜处理工序中使用的所述反渗透膜的表面粗糙度的粗糙度测定工序。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的制造方法,其中,在所述渗透膜处理工序中,所述第一累积值进一步乘以所述粗过氧化氢水溶液的粘度(mPa·s)的值而得到的第二累积值小于0.19。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的制造方法,其中,在所述渗透膜处理工序中,所述粗过氧化氢水溶液的温度为10~30℃。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的制造方法,其中,根据透过过水和浓缩过水并用
9.根据权利要求8所述的制造方法,其中,所述透过比率的值为40%以下,所述渗透膜处理工序中的所述粗过氧化氢水溶液的温度为25℃以下。
10.根据权利要求8所述的制造方法,其中,所述透射率的值为60%以上,所述渗透膜处理工序中的所述粗过氧化氢水溶液的温度为15℃以上且35℃以下。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种精制过氧化氢水溶液的制造方法,其包括:使包含杂质的粗过氧化氢水溶液接触反渗透膜的渗透膜处理工序,
2.根据权利要求1所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面粗糙度的平均值为0.24μm以上。
3.根据权利要求1或2所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面粗糙度的平均值为1.0μm以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的制造方法,其中,所述反渗透膜的表面处的氧量/氮量的重量比的值小于40。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的制造方法,其还具有测定在所述渗透膜处理工序中使用的所述反渗透膜的表面粗糙度的粗糙度测定工序。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的制造方法,其中,在所述渗透膜处理工序中,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:茂田耕平,栉田泰宏,
申请(专利权)人:三菱瓦斯化学株式会社,
类型:发明
国别省市:
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