一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统技术方案

本技术提供了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的FFU送风控制系统；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统；以及中央控制器，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。本微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统不仅可以使得FFU送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，而且通过对FFU风机滤网机组的结构设计，极大的方便了FFU风机滤网机组的安装和拆卸。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及实验室安装，具体涉及一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统。

技术介绍

1、微电子实验室对环境的温湿度、空气洁净度、震动性、噪音和电磁干扰等都有极高的要求，高精度芯片的光刻机需尽量减小环境和空气中细小颗粒物对光刻工艺的干扰，在实验室建立的位置、设计时要充分考虑各种环境影响因素，比如电子束光刻机对气体中的污染物的含量是比较敏感，一旦流动的空气中含有超标的杂质或者污染物时，会对芯片样品质量造成不利影响，同时实验室内的循环风速对芯片样品质量也会产生影响，一旦实验室内的循环风速不均匀，也会造成同批次或者不同批次芯片产品的质量不稳定，因此芯片生产需要在高精密稳定的恒温恒湿百级洁净的环境中(温度22℃±0.1℃、湿度±2％)才能降低芯片制成中对芯片样品质量的影响。

2、ffu英文全称为(fan filter unit)，中文为风机过滤机组。ffu风机滤网机组可模块化连接使用，使用ffu广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合，适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于包括：

2.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU送风控制系统中呈方形矩阵分布的FFU过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的FFU送风风速调控组合Ⅰ、FFU送风风速调控组合Ⅱ和FFU送风风速调控组合Ⅲ，每个FFU过滤机组的出风口都安装有风速传感器，所述FFU送风风速调控组合Ⅰ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的外围机组，所述FFU送风风速调控组合Ⅱ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的中间机组，所述FFU送风风速调控组合Ⅲ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机...

【技术特征摘要】

1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于包括：

2.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu送风控制系统中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器，所述ffu送风风速调控组合ⅰ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，所述ffu送风风速调控组合ⅱ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，所述ffu送风风速调控组合ⅲ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组。

3.如权利要求2所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ，其中，地面回风风速调控组合ⅰ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅰ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅱ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅱ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅲ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅲ的送风区域相对应。

4.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐汉湘，邓财亮，孙英健，黄科元，林奇豪，
申请(专利权)人：广州澳企实验室技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：