【技术实现步骤摘要】
本技术涉及实验室安装，具体涉及一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统。
技术介绍
1、微电子实验室对环境的温湿度、空气洁净度、震动性、噪音和电磁干扰等都有极高的要求，高精度芯片的光刻机需尽量减小环境和空气中细小颗粒物对光刻工艺的干扰，在实验室建立的位置、设计时要充分考虑各种环境影响因素，比如电子束光刻机对气体中的污染物的含量是比较敏感，一旦流动的空气中含有超标的杂质或者污染物时，会对芯片样品质量造成不利影响，同时实验室内的循环风速对芯片样品质量也会产生影响，一旦实验室内的循环风速不均匀，也会造成同批次或者不同批次芯片产品的质量不稳定，因此芯片生产需要在高精密稳定的恒温恒湿百级洁净的环境中(温度22℃±0.1℃、湿度±2％)才能降低芯片制成中对芯片样品质量的影响。
2、ffu英文全称为(fan filter unit)，中文为风机过滤机组。ffu风机滤网机组可模块化连接使用，使用ffu广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合，适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。
3、现有微电子实验室的实验室内墙组合体顶部会安装ffu风机滤网机组，实验室内的内循环风从实验室内墙组合体底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间
4、此外，现有技术中，ffu风机滤网机组的安装一般需要2个施工人员站在另外ffu顶面踏板处或t型龙骨上把化学净化模块和高效过滤器从上面往下依次安放在t型龙骨架上，t型龙骨由吊杆吊装在顶板支撑架上，再抬起ffu风机主体箱密封叠放在化学净化模块上；由于没法从t型龙骨架下面安装，属于高空作业的范畴，整个ffu机组重量很重，对施工安全存在隐患；尤其是ffu风机滤网机组中的超高效过滤器需要定期的清理更换，需要多人进行高空作业维修，操作不方便，人工成本高还不安全。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提出了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，可以使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。
2、为实现上述技术方案，本技术提供了一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，包括：实验室外墙组合体；安装在实验室外墙组合体内的实验室内墙组合体，所述实验室外墙组合体与实验室内墙组合体之间形成风道；安装在实验室外墙组合体顶部外侧的室外风布风装置；安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统，所述ffu送风控制系统由多个安装在实验室内墙组合体顶部且成方形矩阵分布的ffu过滤机组组成；安装在实验室内墙组合体底部的地板回风控制系统，所述地板回风控制系统由多块安装在实验室内墙组合体底部且成方形矩阵分布的防静电地板组成，每块防静电地板表面都均匀开设有风孔，每块防静电地板的下方均安装有电动风量调节阀；中央控制器，所述中央控制器分别与每个ffu过滤机组、风速传感器、电动风量调节阀电性连接，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致。
3、在上述技术方案中，实际工作时，外部经过处理的空气首先经由室外风布风装置通过实验室外墙组合体与实验室内墙组合体顶部之间的风道向安装在实验室内墙组合体顶部的ffu送风控制系统进行布风，ffu送风控制系统可根据安装在各个ffu过滤机组中的风速传感器获得风速数据，中央控制器根据风速传感器收集的风速数据设定相应防静电地板下方电动风量调节阀的回风量，从而使得ffu送风层面和地板回风层面的风速均匀一致，克服了现有技术中实验室内的内循环风从实验室内墙组合体底部的防静电地板小孔回风到实验室内外墙形成的风道再回流到ffu风机滤网机组与实验室外墙组合体的顶板之间的空间时，由于风道结构造成风压递减，导致整个实验室内带孔的防静电地板上的回风风速以及整个ffu送风面风速不均匀，越靠近内墙周边的地方风量和风速会越大的缺陷，提高了芯片产品的质量稳定性。
4、优选的，所述ffu送风控制系统中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器，所述ffu送风风速调控组合ⅰ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，所述ffu送风风速调控组合ⅱ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，所述ffu送风风速调控组合ⅲ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组。
5、优选的，所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ，其中，地面回风风速调控组合ⅰ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅰ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅱ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅱ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅲ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅲ的送风区域相对应。实际工作时，按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，通过对ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ中各个ffu过滤机组的独立控制，可以控制ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ对应送风区域的风量和风速(风速可通过安装在ffu过滤机组出风口的风速传感器获得)，然后通过控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ中各个电动风量调节阀，控制地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ对应回风区域的风量和风速。通过对ffu送风风速调控组合ⅰ和地面回风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅱ、以及ffu送风风速调控组合ⅲ和地面回风风速调控组合ⅲ的对应设置，便于对ffu送风层面和地板回风层面中各不同区域的风速控制，形成稳定均匀的送风风速和回风风速。
6、优选的，所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通过钩位与插片对接钩片契合后固定在铝型材龙骨上且向外凸出，每个铝型材龙骨的顶部均设本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于包括：
2.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU送风控制系统中呈方形矩阵分布的FFU过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的FFU送风风速调控组合Ⅰ、FFU送风风速调控组合Ⅱ和FFU送风风速调控组合Ⅲ，每个FFU过滤机组的出风口都安装有风速传感器，所述FFU送风风速调控组合Ⅰ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的外围机组，所述FFU送风风速调控组合Ⅱ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的中间机组，所述FFU送风风速调控组合Ⅲ对应成方形矩阵分布的FFU过滤机组的中心机组。
3.如权利要求2所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合Ⅰ、地面回风风速调控组合Ⅱ和地面回风风速调控组合Ⅲ，其中，地面回风风速调控组合Ⅰ的回风区域与FFU送风风速调控组合Ⅰ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合Ⅱ的回风区域与FFU送风风速
4.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU过滤机组包括FFU过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通过钩位与插片对接钩片契合后固定在铝型材龙骨上且向外凸出，每个铝型材龙骨的顶部均设置有顶部钩槽，吊杆组件的底部通过T型螺杆嵌入铝型材龙骨的顶部钩槽内，吊杆组件的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上，高效过滤器贴合安装在化学净化模块的底部，化学净化模块贴合安装在FFU过滤机组本体的底部，高效过滤器的四个端边分别搭放在插入至四条铝型材龙骨的四个铝型材插片上，风速传感器安装在高效过滤器底部的出风口。
5.如权利要求4所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU过滤机组本体的前后两个侧面各对应安装有两个不锈钢安全插销，每个不锈钢安全插销内均安装有向外凸出的插针。
6.如权利要求4所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述吊杆组件包括吊杆、吊杆安装框和T型螺杆，所述T型螺杆的顶部锁紧安装在吊杆安装框的底部，且T型螺杆的T型端头嵌入安装在铝型材龙骨的顶部钩槽内，所述吊杆的底部锁紧固定在吊杆安装框的顶部，吊杆的顶部悬吊在实验室外墙组合体的顶板上。
7.如权利要求4所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：每条铝型材龙骨均通过两个吊杆组件悬吊在实验室外墙组合体的顶板上。
8.如权利要求4所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU过滤机组本体的顶部安装有把手。
9.如权利要求4所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的FFU净化系统，其特征在于：所述FFU过滤机组本体包括外壳，风机安装在外壳内，所述外壳顶部与风机正对处设置有入风口，风机的出风口处安装有导流片。
...【技术特征摘要】
1.一种微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于包括：
2.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu送风控制系统中呈方形矩阵分布的ffu过滤机组按照送风区域的不同划分为三个可独立控制的ffu送风风速调控组合ⅰ、ffu送风风速调控组合ⅱ和ffu送风风速调控组合ⅲ，每个ffu过滤机组的出风口都安装有风速传感器，所述ffu送风风速调控组合ⅰ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的外围机组，所述ffu送风风速调控组合ⅱ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中间机组，所述ffu送风风速调控组合ⅲ对应成方形矩阵分布的ffu过滤机组的中心机组。
3.如权利要求2所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述地板回风控制系统中呈方形矩阵分布的防静电地板按照回风区域的不同划分为三个可独立控制的地面回风风速调控组合ⅰ、地面回风风速调控组合ⅱ和地面回风风速调控组合ⅲ，其中，地面回风风速调控组合ⅰ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅰ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅱ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅱ的送风区域相对应，地面回风风速调控组合ⅲ的回风区域与ffu送风风速调控组合ⅲ的送风区域相对应。
4.如权利要求1所述的微电子实验室去颗粒及化学污染物的ffu净化系统，其特征在于：所述ffu过滤机组包括ffu过滤机组本体、化学净化模块、高效过滤器和铝型材龙骨组件，所述铝型材龙骨组件由四条铝型材龙骨首尾相接拼接而成，铝型材龙骨首尾拼接处通过龙骨连接件固定连接，每个铝型材龙骨的左右两侧均设置有插片对接钩片，铝型材插片通...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐汉湘，邓财亮，孙英健，黄科元，林奇豪，
申请(专利权)人：广州澳企实验室技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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