【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆缺陷检测，尤其涉及一种缺陷检测方法及缺陷检测设备。
技术介绍
1、微米发光二极管(microlightemitting diode，简称micro-led)显示技术是指以自发光的微米量级的发光二极管(lightemitting diode，简称led)为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度led阵列的显示技术。micro-led芯片是指尺寸小于50×50um的led芯片，尺寸小，集成度高。
2、micro-led芯片的缺陷检测一般是指晶圆检测，晶圆检测包括视觉检测、和电致发光(electro luminescent，el)检测等。当前micro-led芯片的缺陷检测中，视觉检测和el检测分别采用两台独立的设备进行，micro-led芯片在视觉检测设备上检测后需要转移至el检测设备上，检测过程繁琐，降低了检测效率。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种缺陷检测方法及缺陷检测设备，旨在解决现有技术中晶圆的视觉检测和电致检测检索过程繁琐、检测效率低的技术问题。
2、本申请的第一目的在于提供一种缺陷检测方法，应用于缺陷检测设备，所述缺陷检测设备包括承载单元、第一运动机构、探针机构以及视觉检测机构，所述视觉检测机构包括图像采集组件；所述第一运动机构与所述承载单元连接，所述承载单元用于承载待检测的晶圆结构，所述方法包括：
3、控制所述第一运动机构移动所述承载单元至初始检测位；
4、控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在
5、根据所述第一图像确定所述晶圆结构中每个cell的坐标信息和所述晶圆结构的外观检测结果；
6、根据所述坐标信息控制所述探针机构对每个cell进行点亮，并控制所述图像采集组件采集每个cell在点亮状态下的第二图像；
7、根据每个cell对应的第二图像确定每个cell的点亮缺陷检测结果。
8、在其中一个实施例中，所述视觉检测机构还包括位移检测组件，所述图像采集组件包括线扫相机，所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，还包括：
9、控制所述位移检测组件检测所述晶圆结构的平面度数据；
10、根据所述平面度数据，确定所述承载单元的运动路径，以使得所述线扫相机在线扫所述承载单元上的晶圆结构时，始终保持成像清晰；
11、所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像，包括：
12、控制所述承载单元沿所述运动路径移动，以使所述线扫相机采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像。
13、在其中一个实施例中，所述图像采集组件包括面阵相机，所述控制所述图像采集组件采集每个cell在点亮状态下的第二图像，包括：控制所述面阵相机采集每个cell在点亮状态下的第二图像。
14、在其中一个实施例中，所述视觉检测机构还包括明暗场光源组件，在所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，所述方法还包括：
15、控制所述明暗场光源组件以明场或暗场照明所述晶圆结构。
16、在其中一个实施例中，所述探针机构包括探针组件、探针座组件以及压力检测组件，所述探针组件安装于探针座组件上；所述根据所述坐标信息控制所述探针机构对每个cell进行点亮，包括：
17、根据所述坐标信息控制所述探针组件接触每个cell的电极，对每个cell进行点亮。
18、在其中一个实施例中，所述方法还包括：
19、通过所述压力检测组件检测所述探针组件接触每个cell的电极时的压力值；
20、根据预设压力值控制所述探针组件接触每个cell时的压力，以使所述压力值小于所述预设压力值。
21、在其中一个实施例中，所述根据所述坐标信息控制所述探针组件抵触每个cell的电极，对每个cell进行点亮，包括：
22、根据所述坐标信息确定所述晶圆结构的map图，根据所述map图控制所述探针组件抵触每个cell的电极，对每个cell进行点亮。
23、本申请的第二目的在于提供一种缺陷检测设备，所述缺陷检测设备包括：
24、承载单元，用于承载待检测的晶圆结构；
25、第一运动机构，与所述承载单元连接，以用于驱动所述承载单元在检测面内移动；
26、探针机构，包括探针组件和探针座组件，所述探针组件安装于探针座组件上，所述探针组件用于点亮所述晶圆结构中的每个cell；
27、视觉检测机构，设置于所述检测面上方，所述视觉检测机构包括图像采集组件，所述图像采集组件用于采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像，并用于采集所述晶圆结构中每个cell在点亮状态下的第二图像；及
28、控制器，分别与所述承载单元、所述第一运动机构、所述探针机构以及所述图像采集组件通讯连接，所述控制器用于根据所述第一图像确定所述晶圆结构中每个cell的坐标信息和所述晶圆结构的外观检测结果，所述控制器还用于根据每个cell对应的第二图像确定每个cell的点亮缺陷检测结果。
29、在其中一个实施例中，所述图像采集组件包括线扫相机和面阵相机，所述线扫相机用于采集所述第一图像，所述面阵相机用于采集所述第二图像。
30、在其中一个实施例中，所述图像采集组件还包括明暗场光源组件，所述明暗场光源组件用于明场或暗场照明所述晶圆结构。
31、在其中一个实施例中，所述探针座组件包括探针座本体及第二运动机构，所述第二运动机构连接于所述探针组件和所述探针座本体之间，所述第二运动机构与所述控制器通讯连接，所述控制器还用于控制所述第二运动机构驱动所述探针组件朝向或远离所述承载单元运动。
32、在其中一个实施例中，所述探针机构还包括与所述控制器通讯连接的压力检测组件，所述压力检测组件用于检测所述探针组件接触每个cell的电极时的压力值，所述控制器用于根据预设压力值控制所述探针组件接触每个cell时的压力，以使所述压力值小于所述预设压力值。
33、在其中一个实施例中，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的第三运动机构，所述第三运动机构与所述图像采集组件连接，以用于驱动所述图像采集组件沿第三预设方向移动，所述第三预设方向垂直于所述检测面。
34、在其中一个实施例中，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的位移检测组件，所述位移检测组件用于获取所述晶圆结构的平面度数据；所述控制器还用于，根据所述平面度数据，确定所述承载单元的运动路径，以使得所述图像采集组件在线扫所述承载单元上的晶圆结构时，始终保持成像清晰；所述控制器具体用于，控制所述承载单元沿所述运动路径移动，以使所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像。
35、在其中一个实施例中，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的第四运动机构，所述第四运动机构与所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，应用于缺陷检测设备，所述缺陷检测设备包括承载单元(1)、第一运动机构(2)、探针机构(3)以及视觉检测机构(4)，所述视觉检测机构(4)包括图像采集组件；所述第一运动机构(2)与所述承载单元(1)连接，所述承载单元(1)用于承载待检测的晶圆结构，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述视觉检测机构(4)还包括位移检测组件(5)，所述图像采集组件包括线扫相机(41)，所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，还包括：
3.如权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述图像采集组件包括面阵相机(42)，所述控制所述图像采集组件采集每个Cell在点亮状态下的第二图像，包括：控制所述面阵相机(42)采集每个Cell在点亮状态下的第二图像。
4.如权利要求1-3任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述视觉检测机构还包括明暗场光源组件(43)，在所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，所述方法还包括：
5.如权利要求1-3
6.如权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.如权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述坐标信息控制所述探针组件(31)抵触每个Cell的电极，对每个Cell进行点亮，包括：
8.一种缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备包括：
9.如权利要求8所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述图像采集组件包括线扫相机(41)和面阵相机(42)，所述线扫相机(41)用于采集所述第一图像，所述面阵相机(42)用于采集所述第二图像。
10.如权利要求9所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述图像采集组件还包括明暗场光源组件(43)，所述明暗场光源组件(43)用于明场或暗场照明所述晶圆结构。
11.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述探针座组件(32)包括探针座本体(322)及第二运动机构(321)，所述第二运动机构(321)连接于所述探针组件(31)和所述探针座本体(322)之间，所述第二运动机构(321)与所述控制器通讯连接，所述控制器还用于控制所述第二运动机构(321)驱动所述探针组件(31)朝向或远离所述承载单元(1)运动。
12.如权利要求11所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述探针机构(3)还包括与所述控制器通讯连接的压力检测组件(33)，所述压力检测组件(33)用于检测所述探针组件(31)接触每个Cell的电极时的压力值，所述控制器用于根据预设压力值控制所述探针组件(31)接触每个Cell时的压力，以使所述压力值小于所述预设压力值。
13.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的第三运动机构(44)，所述第三运动机构(44)与所述图像采集组件连接，以用于驱动所述图像采集组件沿第三预设方向(Z)移动，所述第三预设方向(Z)垂直于所述检测面。
14.如权利要求13所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的位移检测组件(5)，所述位移检测组件(5)用于获取所述晶圆结构的平面度数据；所述控制器还用于，根据所述平面度数据，确定所述承载单元(1)的运动路径，以使得所述图像采集组件在线扫所述承载单元(1)上的晶圆结构时，始终保持成像清晰；所述控制器具体用于，控制所述承载单元(1)沿所述运动路径移动，以使所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像。
15.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的第四运动机构(6)，所述第四运动机构(6)与所述承载单元(1)连接，以用于驱动所述承载单元(1)绕预设轴线方向(R)转动，所述预设轴线方向(R)与所述检测面呈夹角配置。
16.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述承载单元(1)包括承载组件(11)及吸附组件(12)，所述承载组件(11)用于安装所述晶圆结构，所述吸附组件(12)用于产生吸附力以将所述晶圆结构吸附于所述承载组件(11)上。
17.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，应用于缺陷检测设备，所述缺陷检测设备包括承载单元(1)、第一运动机构(2)、探针机构(3)以及视觉检测机构(4)，所述视觉检测机构(4)包括图像采集组件；所述第一运动机构(2)与所述承载单元(1)连接，所述承载单元(1)用于承载待检测的晶圆结构，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述视觉检测机构(4)还包括位移检测组件(5)，所述图像采集组件包括线扫相机(41)，所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，还包括：
3.如权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述图像采集组件包括面阵相机(42)，所述控制所述图像采集组件采集每个cell在点亮状态下的第二图像，包括：控制所述面阵相机(42)采集每个cell在点亮状态下的第二图像。
4.如权利要求1-3任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述视觉检测机构还包括明暗场光源组件(43)，在所述控制所述图像采集组件采集所述晶圆结构在非点亮状态下的第一图像之前，所述方法还包括：
5.如权利要求1-3任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述探针机构(3)包括探针组件(31)、探针座组件(32)以及压力检测组件(33)，所述探针组件(31)安装于探针座组件(32)上；所述根据所述坐标信息控制所述探针机构(3)对每个cell进行点亮，包括：
6.如权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.如权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述坐标信息控制所述探针组件(31)抵触每个cell的电极，对每个cell进行点亮，包括：
8.一种缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备包括：
9.如权利要求8所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述图像采集组件包括线扫相机(41)和面阵相机(42)，所述线扫相机(41)用于采集所述第一图像，所述面阵相机(42)用于采集所述第二图像。
10.如权利要求9所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述图像采集组件还包括明暗场光源组件(43)，所述明暗场光源组件(43)用于明场或暗场照明所述晶圆结构。
11.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述探针座组件(32)包括探针座本体(322)及第二运动机构(321)，所述第二运动机构(321)连接于所述探针组件(31)和所述探针座本体(322)之间，所述第二运动机构(321)与所述控制器通讯连接，所述控制器还用于控制所述第二运动机构(321)驱动所述探针组件(31)朝向或远离所述承载单元(1)运动。
12.如权利要求11所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述探针机构(3)还包括与所述控制器通讯连接的压力检测组件(33)，所述压力检测组件(33)用于检测所述探针组件(31)接触每个cell的电极时的压力值，所述控制器用于根据预设压力值控制所述探针组件(31)接触每个cell时的压力，以使所述压力值小于所述预设压力值。
13.如权利要求8-10任一项所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的第三运动机构(44)，所述第三运动机构(44)与所述图像采集组件连接，以用于驱动所述图像采集组件沿第三预设方向(z)移动，所述第三预设方向(z)垂直于所述检测面。
14.如权利要求13所述的缺陷检测设备，其特征在于，所述缺陷检测设备还包括与所述控制器通讯连接的位移检测组件(5)，所述位移检测组件(5)用...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱青春，程甲一，汤深富，白绳武，
申请(专利权)人：西安诺瓦星云科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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