【技术实现步骤摘要】
本技术涉及泵装配，尤其涉及一种低温泵安装导向棒治具。
技术介绍
1、将低温泵安装到半导体机台上时，由于低温泵距离地面的安装高度为1.5米，在现场只能采用人工的方式把低温泵“扛着”装到机台上；由于安装高度的问题，采用螺栓穿过低温泵上的法兰孔拧紧固定到机台法兰上时，一般需要多个人合力按压住或者说支撑住低温泵，再进行螺栓拧紧操作，如此费时费力，操作不方便。因此，需要设计一种新的结构装置，便于辅助人工将低温泵安装到半导体机台上。
技术实现思路
1、鉴于目前存在的上述不足，本技术提供一种低温泵安装导向棒治具，操作简便，结构简单，易于制造加工，成本低，便于辅助人工将低温泵安装到半导体机台上，省时省力。
2、为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：
3、一种低温泵安装导向棒治具，安装在半导体机台上，所述低温泵安装导向棒治具包括导向棒，所述导向棒包括依次连接的连接段、导向段、拧紧段，所述连接段上设有外螺纹，连接段通过外螺纹螺纹连接固定在半导体机台上，所述导向段呈圆柱状，其套设于低温泵内，使得低温泵呈悬挂状态，所述拧紧段呈棱柱状。
4、依照本技术的一个方面，所述连接段、导向段、拧紧段三者一体成型。
5、依照本技术的一个方面，所述导向段表面光滑。
6、依照本技术的一个方面，所述连接段呈圆柱状，所述连接段和导向段之间留有螺纹退刀槽。
7、依照本技术的一个方面，所述半导体机台上设有机台腔体法兰，所述机台腔体法兰周向上设有若干螺
8、依照本技术的一个方面，所述连接段螺纹连接在机台腔体法兰最顶端的螺纹孔内。
9、依照本技术的一个方面，所述低温泵上设有连接法兰，所述连接法兰周向上设有若干法兰孔，若干法兰孔与若干螺纹孔一一对齐，所述导向段套设在法兰孔内。
10、依照本技术的一个方面，所述导向段套设在连接法兰最顶端的法兰孔内。
11、本技术实施的优点：使用时，拧动拧紧段，将连接段通过外螺纹螺纹连接固定在半导体机台上，即将整个导向棒拧紧固定到半导体机台上，再将低温泵悬挂在导向段上，此时无需再通过单人或多人支撑扛着低温泵，低温泵呈悬挂状态后，即可进行下一步安装工序；如此，整个操作过程更加简便，省时省力，便于辅助人工将低温泵安装到半导体机台上；同时，本装置整体结构简单，易于制造加工，成本低。
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1.一种低温泵安装导向棒治具，安装在半导体机台(1)上，其特征在于，所述低温泵安装导向棒治具包括导向棒(2)，所述导向棒(2)包括依次连接的连接段(21)、导向段(22)、拧紧段(23)，所述连接段(21)上设有外螺纹，连接段(21)通过外螺纹螺纹连接固定在半导体机台(1)上，所述导向段(22)呈圆柱状，其套设于低温泵(3)内，使得低温泵(3)呈悬挂状态，所述拧紧段(23)呈棱柱状。
2.根据权利要求1所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述连接段(21)、导向段(22)、拧紧段(23)三者一体成型。
3.根据权利要求2所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述导向段(22)表面光滑。
4.根据权利要求2所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述连接段(21)呈圆柱状，所述连接段(21)和导向段(22)之间留有螺纹退刀槽。
5.根据权利要求1所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述半导体机台(1)上设有机台腔体法兰(4)，所述机台腔体法兰(4)周向上设有若干螺纹孔，所述连接段(21)通过外螺纹螺纹连接在螺纹孔内。
...【技术特征摘要】
1.一种低温泵安装导向棒治具，安装在半导体机台(1)上，其特征在于，所述低温泵安装导向棒治具包括导向棒(2)，所述导向棒(2)包括依次连接的连接段(21)、导向段(22)、拧紧段(23)，所述连接段(21)上设有外螺纹，连接段(21)通过外螺纹螺纹连接固定在半导体机台(1)上，所述导向段(22)呈圆柱状，其套设于低温泵(3)内，使得低温泵(3)呈悬挂状态，所述拧紧段(23)呈棱柱状。
2.根据权利要求1所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述连接段(21)、导向段(22)、拧紧段(23)三者一体成型。
3.根据权利要求2所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述导向段(22)表面光滑。
4.根据权利要求2所述的低温泵安装导向棒治具，其特征在于，所述连接段(21)呈圆柱状，所述连接段(...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄亮，徐海波，
申请(专利权)人：上海纳乇真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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