【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种制造纯水的纯水制造方法以及纯水制造装置，特别涉及一种能够除去尿素的纯水制造方法以及纯水制造装置。
技术介绍
1、以往，作为半导体装置的制造工序、液晶显示装置的制造工序等中的清洗水，使用将有机物、离子成分、微粒、细菌等高度除去后的超纯水等纯水。特别是在制造包含半导体装置的电子元件时，在其清洗工序等中使用大量的纯水，对其水质的要求也逐年提高。在电子元件的制造的清洗工序等中所使用的纯水中，为了抑制纯水中所含的有机物在之后的热处理工序中碳化而引起绝缘不良等，要求将作为水质管理项目之一的总有机碳(toc：totalorganic carbon)浓度设为极低水平，特别是作为有机物的尿素受到关注。
2、作为廉价且有效率地处理尿素的方法，有如下方法(参照专利文献1)：将处理水用生物活性炭进行处理，该处理水利用由溴化钠等溴化物盐和次氯酸钠等氧化剂生成的次溴酸进行了氧化分解处理。在专利文献1的方法中，以通过将物理化学处理和生物处理进行组合来稳定地处理尿素为目的，但存在氧化分解处理中残留的氧化剂流入生物活性炭的情况。虽然通过活性炭可除去氧化剂，但氧化剂对生物处理性能的影响、粉煤的产生对后段处理的影响仍存在课题。另外，通过在生物处理的前段添加还原剂，能够缓和上述影响，但根据还原剂的种类，担心在其后的纯水制造工艺中的离子负荷增大所伴随的处理成本增大、处理效率降低。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2011-183275号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的技术问题
2、本专利技术的目的在于提供一种纯水制造方法以及纯水制造装置，该纯水制造方法在利用生物活性炭处理由次卤酸氧化分解处理了尿素后的氧化处理水的方法中，能够抑制纯水制造工艺中的离子负荷的增大，能够实现生物处理的效率化、粉煤的产生量的缓和。
3、用于解决技术问题的技术方案
4、本专利技术是一种纯水制造方法，其包含：氧化处理工序，其中，向含有尿素的被处理水添加次卤酸，进行尿素的氧化处理；过氧化氢添加工序，其中，测定由所述氧化处理工序得到的氧化处理水的残留氯浓度，根据测定出的残留氯浓度，向所述氧化处理水添加过氧化氢；以及生物处理工序，其中，对添加了所述过氧化氢的过氧化氢添加水利用生物活性炭进行生物处理。
5、在所述纯水制造方法中，优选所述生物处理工序使用填充了担载有微生物的生物活性炭的多个活性炭塔，所述多个活性炭塔并联配置。
6、在所述纯水制造方法中，所述次卤酸优选为次溴酸。
7、在所述纯水制造方法中，优选所述过氧化氢添加工序包含：第一过氧化氢添加工序，其中，在靠近所述氧化处理工序的位置测定所述氧化处理水的第一残留氯浓度，根据测定出的第一残留氯浓度向所述氧化处理水添加过氧化氢；以及第二过氧化氢添加工序，其中，在靠近所述生物处理工序的位置测定所述氧化处理水的第二残留氯浓度，根据测定出的第二残留氯浓度向所述氧化处理水添加过氧化氢。
8、在所述纯水制造方法中，优选测定所述过氧化氢添加水或在所述生物处理工序中得到的生物处理水的溶解氧浓度，根据测定出的溶解氧浓度向所述氧化处理水追加添加所述过氧化氢。
9、本专利技术是一种纯水制造装置，其具备：氧化处理单元，其向含有尿素的被处理水添加次卤酸，进行尿素的氧化处理；残留氯浓度测定单元，其测定由所述氧化处理单元得到的氧化处理水的残留氯浓度；过氧化氢添加单元，其根据由所述残留氯浓度测定单元测定出的残留氯浓度而向所述氧化处理水添加过氧化氢；以及生物处理单元，其对添加有所述过氧化氢的过氧化氢添加水利用生物活性炭进行生物处理。
10、在所述纯水制造装置中，优选所述生物处理单元具备填充了担载有微生物的生物活性炭的多个活性炭塔，所述多个活性炭塔并联配置。
11、在所述纯水制造装置中，所述次卤酸优选为次溴酸。
12、在所述纯水制造装置中，优选所述残留氯浓度测定单元具备：第一残留氯浓度测定单元，其在靠近所述氧化处理单元的位置测定所述氧化处理水的第一残留氯浓度；以及第二残留氯浓度测定单元，其在靠近所述生物处理工序的位置测定所述氧化处理水的第二残留氯浓度，所述过氧化氢添加单元具备：第一过氧化氢添加单元，其根据由所述第一残留氯浓度测定单元测定出的第一残留氯浓度，向所述氧化处理水添加过氧化氢；以及第二过氧化氢添加单元，其根据由所述第二残留氯浓度测定单元测定出的第二残留氯浓度，向所述氧化处理水添加过氧化氢。
13、在所述纯水制造装置中，优选还具备溶解氧浓度测定单元，所述溶解氧浓度测定单元测定所述过氧化氢添加水或由所述生物处理单元得到的生物处理水的溶解氧浓度，所述过氧化氢添加单元根据测定出的溶解氧浓度向所述氧化处理水追加添加所述过氧化氢。
14、专利技术效果
15、根据本专利技术，能够提供一种纯水制造方法以及纯水制造装置，其在利用生物活性炭处理由次卤酸氧化分解处理尿素后的氧化处理水的方法中，能够抑制纯水制造工艺中的离子负荷的增大，能够实现生物处理的效率化、粉煤的产生量的缓和。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种纯水制造方法，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的纯水制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的纯水制造方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的纯水制造方法，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的纯水制造方法，其中，
6.一种纯水制造装置，其特征在于，具备：
7.根据权利要求6所述的纯水制造装置，其中，
8.根据权利要求6或7所述的纯水制造装置，其中，
9.根据权利要求6至8中任一项所述的纯水制造装置，其中，
10.根据权利要求6至9中任一项所述的纯水制造装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种纯水制造方法，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的纯水制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的纯水制造方法，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的纯水制造方法，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的纯水制造方法，其中，
...【专利技术属性】
技术研发人员：油井启徳，菅健太，吉田一诚，须藤史生，
申请(专利权)人：奥加诺株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。