【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及检验系统且更特定来说，涉及多光束检验系统。
技术介绍
1、半导体制造产业的演进对良率管理且尤其对度量衡及检验系统提出更高要求。临界尺寸继续缩小，而产业需要减少用于达成高良率、高价值生产的时间。最小化从检测到良率问题到解决所述问题的总时间确定半导体制造商的投资回报率。
2、制造例如逻辑及存储器装置的半导体装置通常包含使用大量制造过程处理半导体晶片以形成半导体装置的各种特征及多个层级。例如，光刻是涉及将图案从倍缩光罩转印到布置于半导体晶片上的光致抗蚀剂的半导体制造过程。半导体制造过程的额外实例包含(但不限于)化学机械抛光(cmp)、蚀刻、沉积及离子植入。多个半导体装置可制造于单个半导体晶片上的布置中，其被分离成个别半导体装置。
3、在半导体制造期间的各个步骤使用检验过程以检测晶片上的缺陷以促进制造过程中的更高良率及因此更高利润。检验始终是制造半导体装置(例如集成电路(ic))的重要部分。然而，随着半导体装置的尺寸减小，检验对于可接受半导体装置的成功制造变得更为重要，这是因为较小缺陷可引起装置故障。例如，随着半导体装置的尺寸减小，减小的大小的缺陷的检测已变得必要，这是因为甚至相对小缺陷可引起半导体装置中的非所要像差。
4、用于检验过程的一个装置是多光束系统。在多光束系统中，数百个小光束被聚焦到闪烁器上。来自闪烁器的光可使用光纤聚焦。聚焦小光束应在闪烁器上对准到精确光纤定位以校准系统。然而，无法基于光学器件的机械公差容易地预测精确光纤定位。
5、因此，需要用于多光束校准及对准的光
技术实现思路
1、本公开的实施例提供一种在多光束系统中光纤定位映射的方法。所述方法可包括从光源发射光。所述光可经引导朝向相机。
2、所述方法可进一步包括提供光纤束。所述光纤束可包括具有连接到所述光源的一端的中心光纤及包围所述中心光纤的n个光纤层。第一光纤层可为所述n个层中的最内层，第n光纤层可为所述n个层中的最外层，且n≥2。所述第一光纤层可包含m个光纤，且所述第一光纤层中的所述m个光纤中的每一者可具有连接到所述光源的一端。所述第n光纤层可包括多于m个光纤，且所述第n光纤层中的m个光纤可具有连接所述光源的一端。
3、所述方法可进一步包括使用所述相机撷取图像集。所述图像集可包含对应于连接到所述光源的每一光纤的图像。
4、所述方法可进一步包括使用处理器确定所述图像集中的每一图像的质心以产生质心图。所述处理器可确定所述图像集中的每一图像的每一像素的光的强度。当确定一个像素在一个图像的像素中具有最高强度时，可将所述像素的(x,y)定位确定为所述图像的所述质心。当确定多于一个像素在一个图像的像素中具有最高强度时，可基于具有所述最高强度的所述像素中的每一者的(x,y)定位确定所述图像的所述质心。
5、所述方法可进一步包括使用所述处理器基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图。所述处理器可经配置以基于所述质心图确定所述图像集中的每一图像的所述质心的节距及旋转。所述处理器可进一步经配置以基于所述节距及旋转确定所述光纤束的所述第n层中的剩余光纤的光纤定位。所述处理器可进一步经配置以产生包括所述质心及所述光纤束的所述第n层中的所述剩余光纤的所述光纤定位的光纤定位图。
6、根据本专利技术的实施例，所述处理器可进一步经配置以基于所述节距及旋转确定所述光纤束中的所述第一光纤层与所述第n光纤层之间的全部光纤的光纤定位。所述处理器可进一步经配置以产生所述光纤定位图，所述光纤定位图包括所述质心、所述光纤束的所述第n层中的所述剩余光纤的所述光纤定位及所述光纤束中的所述第一光纤层与所述第n光纤层之间的全部光纤的所述光纤定位。
7、根据本专利技术的实施例，仅所述中心光纤、所述第一层中的m个光纤及所述第n层中的m个光纤可连接到所述光源。
8、根据本公开的实施例，所述n个光纤层可以多边形形状包围所述中心光纤，且所述第n光纤层中的所述m个光纤可对应于所述多边形形状的边角。所述n个光纤层可以六边形形状包围所述中心光纤，且所述第n层中的所述m个光纤可对应于所述六边形形状的边角。
9、根据本公开的实施例，所述光纤束可包括多于300个光纤。
10、根据本公开的实施例，所述方法可进一步包括基于所述光纤定位图校准所述多光束系统。所述处理器可进一步经配置以接收来自具有多光束阵列的光束源的图像。所述处理器可进一步经配置以在来自所述光束源的所述图像上叠加所述光纤定位图。所述处理器可进一步经配置以将所述光纤定位图与来自所述光束源的所述图像的中心对准以确定误差，其中所述误差包括偏移、旋转、正交性、深宽比、放大率或像散。所述处理器可进一步经配置以基于所述误差执行线性失真校正。
11、本公开的另一实施例提供一种多光束系统。所述系统可包括经配置以发射光的光源。
12、所述系统可进一步包括光纤束。所述光纤束可包括具有连接到所述光源的一端的中心光纤及包围所述中心光纤的n个光纤层。第一光纤层可为最内层，第n光纤层是最外层，且n≥2。所述第一光纤层可包含m个光纤，且所述第一光纤层中的所述m个光纤中的每一者可具有连接到所述光源的一端。所述第n光纤层可包括多于m个光纤，且所述第n光纤层中的m个光纤可具有连接所述光源的一端。
13、所述系统可进一步包括经配置以撷取图像集的相机。所述图像集可包含对应于连接到所述光源的每一光纤的图像。
14、所述系统可进一步包括与所述相机电子通信的处理器。所述处理器可经配置以确定图像集中的每一图像的质心以产生质心图。所述处理器可确定所述图像集中的每一图像的每一像素的光的强度。当确定一个像素在一个图像的像素中具有最高强度时，可将所述像素的(x,y)定位确定为所述图像的所述质心。当确定多于一个像素在一个图像的像素中具有最高强度时，可基于具有所述最高强度的所述像素中的每一者的(x,y)定位确定所述图像的所述质心。
15、所述处理器可进一步经配置以基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图。所述处理器可经配置以基于所述质心图确定所述图像集中的每一图像的所述质心的节距及旋转。所述处理器可进一步经配置以基于所述节距及旋转确定所述光纤束的所述第n层中的剩余光纤的光纤定位。所述处理器可进一步经配置以产生包括所述质心及所述光纤束的所述第n层中的所述剩余光纤的所述光纤定位的光纤定位图。
16、根据本公开的实施例，所述处理器可进一步经配置以基于所述节距及旋转确定所述光纤束中的所述第一光纤层与所述第n光纤层之间的全部光纤的光纤定位。所述处理器可进一步经配置以产生所述光纤定位图，所述光纤定位图包括所述质心、所述光纤束的所述第n层中的所述剩余光纤的所述光纤定位及所述光纤束中的所述第一光纤层与所述第n光纤层之间的全部光纤的所述光纤定位。
17、根据本公开的实施例，仅所述中心光纤、所述第一层中的m个光纤及所述第n层中的m个本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种在多光束系统中光纤定位映射的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述图像集中的每一图像的质心包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图进一步包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中仅所述中心光纤、所述第一层中的M个光纤及所述第N层中的M个光纤连接到所述光源。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述N个光纤层以多边形形状包围所述中心光纤，且所述第N光纤层中的所述M个光纤对应于所述多边形形状的边角。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述N个光纤层以六边形形状包围所述中心光纤，且所述第N层中的所述M个光纤对应于所述六边形形状的边角。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述光纤束包括多于300个光纤。
9.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
10.根据权利要求9所述的方
11.一种多光束系统，其包括：
12.根据权利要求11所述的系统，其中所述处理器经配置以通过以下步骤确定所述图像集中的每一图像的质心：
13.根据权利要求11所述的系统，其中所述处理器经配置以通过以下步骤基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图：
14.根据权利要求13所述的系统，其中所述处理器经配置以通过以下进一步步骤基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图：
15.根据权利要求11所述的系统，其中仅所述中心光纤、所述第一光纤层中的所述M个光纤及所述第N光纤层中的所述M个光纤连接到所述光源。
16.根据权利要求11所述的系统，其中所述N个光纤层以多边形形状包围所述中心光纤，且所述第N光纤层中的所述M个光纤对应于所述多边形形状的边角。
17.根据权利要求16所述的系统，其中所述N个光纤层以六边形形状包围所述中心光纤，且所述第N层中的所述M个光纤对应于所述六边形形状的边角。
18.根据权利要求11所述的系统，其中所述光纤束包括多于300个光纤。
19.根据权利要求11所述的系统，其中所述处理器进一步经配置以：
20.根据权利要求19所述的系统，其中所述处理器经配置以通过以下步骤基于所述光纤定位图校准所述多光束系统：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种在多光束系统中光纤定位映射的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述图像集中的每一图像的质心包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述质心图产生包括所述光纤束中的全部光纤的光纤定位的光纤定位图进一步包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中仅所述中心光纤、所述第一层中的m个光纤及所述第n层中的m个光纤连接到所述光源。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述n个光纤层以多边形形状包围所述中心光纤，且所述第n光纤层中的所述m个光纤对应于所述多边形形状的边角。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述n个光纤层以六边形形状包围所述中心光纤，且所述第n层中的所述m个光纤对应于所述六边形形状的边角。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述光纤束包括多于300个光纤。
9.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
10.根据权利要求9所述的方法，其中基于所述光纤定位图校准所述多光束系统包括：
11.一种多光束系统，其包括：
12.根据权利要求11...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·K·施瑞延，F·伊斯米尔，杨河东，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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