【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力测量，具体涉及纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器。
技术介绍
1、压力变送器主要由测压元件传感器、测量电路和过程连接件三部分组成。由测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号，以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。
2、压力变送器型号种类各式各样，但其采用的压力芯体原理主要有如下三种：第一种为金属电容式压力变送器，其工作原理为:外界压差传递到内部的金属电容极板，当极板发生位移后即产生电容量的变化，将这种电容量的变化通过电子电路收集、放大软件补偿处理后，就得到压力信号的线性输出。第二种为单晶硅压力变送器，其工作原理为:外界压差传递到内部的单晶硅谐振梁，谐振梁在压力的作用下产生一对跟随压力变化的差动的频率信号，将这对差动的频率信号通过电子电路收集、放大和软件补偿处理后，就得到压力信号的线性输出。第三种为单晶硅电阻式压力变送器，其工作原理为:外界压差传递到内部的单晶硅全动态的压阻效应惠斯通电桥，惠斯通电桥在压力的作用下产生一个跟随压力变化的电压信号输出，将这个电...
【技术保护点】
1.纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器,其特征在于，所述弹性膜片(2)厚度为0.03mm-4mm，所述弹性膜片(2)位于所述高压腔体(1)内的一侧中心设置有凸台(21)，所述凸台(21)用于与所述桥墩(41)焊接。
3.根据权利要求2所述的纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器,其特征在于，所述条形桥臂(4)还包括环体(6)，所述条形桥臂(4)一体设置于所述环体(6)内，所述条形桥臂(4)位于所述环体(6)内的经线上。
4.根据权利要求1或3所述的纳米薄膜电...
【技术特征摘要】
1.纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器,其特征在于，所述弹性膜片(2)厚度为0.03mm-4mm，所述弹性膜片(2)位于所述高压腔体(1)内的一侧中心设置有凸台(21)，所述凸台(21)用于与所述桥墩(41)焊接。
3.根据权利要求2所述的纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器,其特征在于，所述条形桥臂(4)还包括环体(6)，所述条形桥臂(4)一体设置于所述环体(6)内，所述条形桥臂(4)位于所述环体(6)内的经线上。
4.根据权利要求1或3所述的纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器,其特征在于，所述光刻电路(46)输出端连接有一号金丝焊盘(47)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉贵，唐运军，昌正科，雷卫武，范敏，刘永年，徐冬苓，柳金亮，童志，汪绩宁，
申请(专利权)人：核电运行研究上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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