载具收发装置制造方法及图纸

本技术属于硅片加工设备技术领域，具体涉及一种载具收发装置。该载具收发装置包括：安装在升降机构上的升降架，升降架的下部安装有承载板，承载板上安装有输送机构，可以将载具输入或输出承载板上的工作位，以实现自动收发载具；并且，升降架可以带动载具在输出或者接收工件的时候升降。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片加工设备，具体涉及一种载具收发装置。

技术介绍

1、随着市场硅片的变化，硅片日益薄片化。硅片在清洗或者烘干的过程中通常都需要专门的硅片花篮来承载硅片。

2、现有专利cn219239522u公开了一种取料装置，其是通过花篮载具来存放硅片，并在输送箱从花篮载具中逐篇取走硅片的同时，可以通过载具升降机构带动花篮载具逐步下降。

3、但是，在该结构中，仍然是通过人工将花篮载具取或放入升降机构，工作效率不高。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种载具收发装置，可以实现自动收发载具，进一步提升自动化程度。

2、本申请提供一种载具收发装置。该载具收发装置包括：升降架，安装在升降机构上；承载板，设置在升降架下部；以及输送机构，安装在承载板上，用于将载具输入或输出承载板上的工作位。

3、在本申请的一实施例中，所述输送机构包括：主动带和从动带，分别设置在承载板上沿载具移动方向的两侧，用于输送载具；同步轴，其两端分别与主动带和从动带配合；以及主动带驱动组件，用于带动主本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种载具收发装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的载具收发装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的载具收发装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的载...

【技术特征摘要】

1.一种载具收发装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的载具收发装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的载具收发装置，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：贾立龙，晏恒峰，张元新，姜波，
申请(专利权)人：常州英诺激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：