一种用于真空容器容积２００ｍ３级的真空抽气系统设计技术方案

一种用于真空容器容积２００ｍ３级的真空抽气系统主要包括低真空抽气系统、高真空抽气系统、超高真空抽气系统以及真空容器复压系统。真空抽气管道中安装有液氮冷阱，可防止系统反油，避免污染真空容器；采用两组低真空抽气机械泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；采用四组涡轮分子泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；采用两组制冷机低温泵，可同时工作也可独立工作，提高系统运行可靠性；真空抽气系统配有放气阀，防止系统返油；整个抽气系统干净清洁；整个抽气系统除低温泵需进口外，其余皆可国内采购，价格低廉。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空容器容积200m3级的真空抽气系统设计
本专利技术涉及一种用于真空容器容积200m3级的真空抽气系统设计。
技术介绍
真空抽气系统主要作用是通过组成系统的各种抽气泵将真空容器的压力抽到某 一真空度。按所要达到的真空度要求，抽气系统可分为低真空抽气系统、高真空抽气系统、 超高真空抽气系统。按真空抽气系统是否对真空容器产生油污染，真空抽气系统可分为有 油真空抽气系统、无油抽气系统。低真空抽气系统是指将真空容器压力从105Pa抽至lC^Pa的抽气系统。低真空抽 气系统的作用是使真空容器内的压力达到高真空抽气系统所能正常启动的压力。目前使用 的低真空抽气泵一般都是用油润滑和密封的机械真空泵。高真空抽气系统是指将真空容器压力从lC^Pa抽至10_4Pa的抽气系统。低真空抽 气系统的抽气能力有限，抽真空至lO—ipa后低真空抽气系统的有效抽速下降很大，很难进 一步提高真空容器内的真空度以满足实验要求。超高真空抽气系统是将真空容器内压力抽至10_4Pa以下的抽气系统。对于真空度 要求高的实验，必须通过超高空抽气系统才能将压力降至10_4Pa以下。有油真空抽气系统是指真空泵工作过程中会产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空容器的真空抽气系统设计，由低真空抽气系统、高真空抽气系统、超高真空抽气系统、真空容器测量系统以及真空容器复压系统组成；其特征在于：可实现真空容器的真空抽气、检漏及复压。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡国飙，凌桂龙，王文龙，李晓娟，黄本诚，张国舟，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]