质量分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术的质量分析装置(1)，包括：壳体部(33)，具有壁部(33a)，所述壳体部(33)设置有质量分析部(30)；基座部(70)；采样单元(20)，以能够拆卸的方式安装于基座部(70)；以及排气路径(80)，用来将来自试样的气体排出，其中，排气路径(80)包括：第一路径(81)，设置于采样单元(20)；第二路径(82)，设置于基座部(70)；及第三路径(83)，设置于壳体部(33)。基座部(70)包括：第一基座部(71)，固定于壁部(33a)；及第二基座部(72)，设置有第二路径(82)。第二基座部(72)以能够拆卸的方式固定于第一基座部(71)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种质量分析装置。

技术介绍

1、通常，在质量分析装置中，通过将试样导入离子源的等离子体中进行离子化，经离子化的试样穿过采样部而被导入质量分析部。另一方面，等离子体形成所使用的氩气、或来自未导入质量分析部的试样的气体穿过排气路径，从采样部排向作为前级泵的旋转泵。

2、作为现有的质量分析装置，日本专利特开2004-127709号公报(专利文献1)中公开了与液相色谱仪组合而对液体试样进行分析。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利特开2004-127709号公报

技术实现思路

1、[专利技术所要解决的问题]

2、在如专利文献1所公开那样与液相色谱仪组合而对液体试样进行分析的情况下，存在使用磷酸铵作为流动相(溶剂)的情况。来自磷酸铵的气体具有腐蚀性，有使构成排气路径的组件劣化之虞。进而，还担心所述气体会液化，并作为具有粘性的液状物而沉积在通往质量分析部的排气路径、及其周边的构造组件上。

3、本专利技术是鉴于如上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种质量分析装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的质量分析装置，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1或2所述的质量分析装置，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的质量分析装置，其特征在于，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种质量分析装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的质量分析装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下知义，司马骏希，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：