【技术实现步骤摘要】
本技术属于光学元件，涉及一种应力消除的球面弯曲分析晶体及罗兰圆谱仪。
技术介绍
1、球面弯曲分析晶体是x射线罗兰圆谱仪的核心光学元件，兼具x射线汇聚和能量分辨，广泛应用于第三、第四代同步辐射光源上，包括高能量分辨荧光探测的x射线吸收谱(herfd)、共振及非共振x射线发射谱(xes,rxes)、x射线拉曼散射(xrs)、以及非弹性散射(ixs)等谱学实验方法，并且还可以应用于实验室光源，例如桌面型x射线吸收谱/发射谱等等。根据谱仪设计的不同，常见的曲率半径包括0.5米，1米以及2米，面型涵盖球面、柱面以、椭圆面以及超环面等等。对于小曲率分析晶体的制作，往往需要通过晶圆划片，来消除弯曲带来的应力。
2、这种光学元件的制作通常是将单晶硅、锗晶圆压弯，并利用阳极键合技术键合在硼硅玻璃衬底上实现的。制作过程涉及薄晶圆的压弯，当分析晶体曲率半径小于1米时，存在压弯应力引起的晶圆破碎和能量分辨下降的双重问题。
3、目前与本专利最为接近的做法是：(1)通过金刚石划片机将晶圆切割成条带形状，通常100毫米直径的4英寸晶圆切割成6...
【技术保护点】
1.一种应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，包括多个扇形晶圆结构，所述多个扇形晶圆结构为对一压弯的平面晶圆分割得到的扇形晶圆结构；将各所述扇形晶圆结构键合到衬底上，构成的圆形晶圆作为球面弯曲分析晶体。
2.根据权利要求1所述的应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，对所述压弯的平面晶圆通过中心对称的扇形分割方式进行分割得到所述多个扇形晶圆结构。
3.根据权利要求2所述的应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，对分割得到所述多个扇形晶圆结构进行化学湿法清洗处理，去除各所述扇形晶圆结构的表面灰尘和崩边。
4.根据权利要求1或2或3所...
【技术特征摘要】
1.一种应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，包括多个扇形晶圆结构，所述多个扇形晶圆结构为对一压弯的平面晶圆分割得到的扇形晶圆结构；将各所述扇形晶圆结构键合到衬底上，构成的圆形晶圆作为球面弯曲分析晶体。
2.根据权利要求1所述的应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，对所述压弯的平面晶圆通过中心对称的扇形分割方式进行分割得到所述多个扇形晶圆结构。
3.根据权利要求2所述的应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，对分割得到所述多个扇形晶圆结构进行化学湿法清洗处理，去除各所述扇形晶圆结构的表面灰尘和崩边。
4.根据权利要求1或2或3所述的应力消除的球面弯曲分析晶体，其特征在于，所述压弯的平面晶圆上覆盖一蓝膜，用于对所述压弯的平面晶圆分割得到的所述多个扇形晶圆结构保持连接。
5.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭志英，徐伟，刁千顺，张玉骏，靳硕学，陈栋梁，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：新型
国别省市：
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