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显示装置制造方法及图纸

技术编号:40066124 阅读:10 留言:0更新日期:2024-01-16 23:27
本发明专利技术涉及显示装置。所述显示装置可包括:第一源极线;第二源极线;第一栅极线和第二栅极线;第一布线和第二布线;第一像素;第二像素,其中,第一像素的第一晶体管的半导体层通过设置在不同层上的第一导电层电连接到第一源极线,其中,在平面图中,第一栅极线设置在第一布线和第二布线之间,并且相比于第二布线更靠近第一布线,其中,在平面图中,第二布线设置在第一栅极线和第二栅极线之间,其中,在平面图中,第一布线和第二布线都包括部分加宽的区域,其中,所述部分加宽的区域包括与第二导电层重叠的区域,第二导电层设置在与第一源极线相同的层上,并且其中,所述部分加宽的区域包括配置为电容电极的区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的一个方式涉及一种显示装置及其制造方法。注意,本专利技术的一个方式不局限于上述。作为本说明书等所公开的本专利技术的一个方式的的实例,可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。注意,在本说明书等中,半导体装置是指通过利用半导体特性而能够工作的所有装置。晶体管、半导体电路、运算装置、存储装置等都是半导体装置的一个方式。此外,摄像装置、电光装置、发电装置(包括薄膜太阳能电池、有机薄膜太阳能电池等)及电子设备有时包括半导体装置。


技术介绍

1、近年来,对高分辨率的显示装置需求很高。例如,家用电视装置(也称为电视或电视接收器)的主流是分辨率为全高清(full high-definition,像素数为1920×1080)的显示装置,并且正在对诸如4k(像素数为3840×2160)、8k(像素数为7680×4320)等高分辨率的显示装置进行进一步的研发。

2、此外,已知有作为显示装置之一的液晶显示装置。透射型液晶显示装置通过利用液晶的光学调制作用控制背光的光透过量,来表示对比度而进行图像显示。

3、此外,作为场效应晶体管的一种,已知使用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体膜来形成沟道形成区域的薄膜晶体管。在专利文献1中公开了作为使用于薄膜晶体管的沟道形成区域的半导体膜使用非晶硅的技术。例如,液晶显示装置的薄膜晶体管被用作各像素的开关晶体管。

4、[先行技术文献]

5、[专利文献]

6、[专利文献1]日本专利申请公开第2001-053283号公报


技术实现思路

1、专利技术所要解决的技术问题

2、在为电视装置及显示器装置等显示装置的情况下,当分辨率高或者屏幕尺寸大时,该显示装置所包括的晶体管等的负载也明显增大。由此,尤其是在晶体管的场效应迁移率低的情况下,有时很难以高驱动频率工作。

3、本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种适合于大型化的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种廉价的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种生产率高的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种使用非晶硅等的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种使用金属氧化物等的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种新颖的显示装置及其制造方法。

4、注意,这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本专利技术的一个方式并不需要实现所有上述目的。此外,可以从说明书、附图、权利要求书等的记载衍生出上述以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本专利技术的一个方式是包括第一布线、第二布线、第三布线、第一晶体管、第一导电层、第二导电层、第三导电层以及第一像素电极的显示装置,第一布线在第一方向上延伸并与第二布线及第三布线交叉,第二布线和第三布线都在与第一方向交叉的第二方向上延伸,第一晶体管的栅极与第一布线电连接,第一晶体管的源极和漏极中的一个通过第一导电层、第二导电层以及第三导电层电连接于第二布线,第二导电层具有与第三布线重叠的区域,第一导电层、第三导电层以及第一像素电极包含同一材料,第一布线及第二导电层包含同一材料,第一布线被供应选择信号,并且第二布线及第三布线分别被供应不同的信号。

7、在上述方式中,第二布线及第三布线可以电连接于第一源极驱动器及第二源极驱动器。

8、在上述方式中,还可以包括第四布线、第五布线、第六布线、第二晶体管、第四导电层、第五导电层、第六导电层以及第二像素电极,第四布线在第一方向上延伸并与第二布线、第三布线、第五布线以及第六布线交叉,第五布线和第六布线都在与第一方向交叉的第二方向上延伸,第二晶体管的栅极与第四布线电连接,第二晶体管的源极和漏极中的一个通过第四导电层、第五导电层以及第六导电层电连接于第五布线,第五导电层具有与第六布线重叠的区域,第四导电层、第六导电层以及第二像素电极包含同一材料,第四布线及第五导电层包含同一材料,第四布线被供应与第一布线相同的选择信号,并且第二布线、第三布线、第五布线以及第六布线分别被供应不同的信号。

9、在上述方式中,第五布线及第六布线可以电连接于第一源极驱动器及第二源极驱动器。

10、在上述方式中,第一晶体管可以包括第一半导体层,第二晶体管可以包括第二半导体层,并且第一半导体层和第二半导体层都可以具有位于第三布线与第六布线之间的部分。

11、在上述方式中,第一半导体层和第二半导体层都可以包含非晶硅。

12、在上述方式中,第一半导体层和第二半导体层都可以包含微晶硅或多晶硅。

13、在上述方式中,第一半导体层和第二半导体层都可以包含金属氧化物。

14、在上述方式中,金属氧化物可以包含铟、锌以及m(m为铝、钛、镓、锗、钇、锆、镧、铈、锡、钕或铪)。

15、本专利技术的一个方式是显示装置的制造方法,该制造方法包括形成栅极线及第一导电层的步骤、形成第一绝缘层的步骤、形成半导体层的步骤、形成第一源极线、第二源极线、具有与半导体层接触的区域的第二导电层及第三导电层的步骤、形成第二绝缘层的步骤、在第二绝缘层中形成到达第二导电层的第一开口部、到达第三导电层的第二开口部以及到达第二源极线的第三开口部且在第一绝缘层及第二绝缘层中以夹持第一源极线的方式形成到达第一导电层的第四开口部及第五开口部的步骤以及以通过第一开口部电连接于第二导电层的方式形成像素电极,以通过第二开口部电连接于第三导电层并通过第四开口部电连接于第一导电层的方式形成第四导电层,且以通过第三开口部电连接于第二源极线并通过第五开口部电连接于第一导电层的方式形成第五导电层的步骤。

16、专利技术效果

17、本专利技术的一个方式可以提供一种高分辨率的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种适合于大型化的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种廉价的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种生产率高的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种可靠性高的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种使用非晶硅等的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种使用金属氧化物等的显示装置及其制造方法。此外,本专利技术的一个方式可以提供一种新颖的显示装置及其制造方法。

18、注意,这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本专利技术的一个方式并不需要实现所有上述效果。此外,可以从说明书、附图、权利要求书等的记载衍生出上述以外的效果。

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【技术保护点】

1.一种显示装置,所述显示装置包含布置为矩阵的多个像素,所述显示装置包括:

2.根据权利要求1所述的显示装置,

3.根据权利要求1所述的显示装置,

4.根据权利要求1所述的显示装置,

5.一种显示装置,所述显示装置包含布置为矩阵的多个像素,所述显示装置包括:

6.根据权利要求5所述的显示装置,

7.根据权利要求5所述的显示装置,

8.根据权利要求5所述的显示装置,

9.一种显示装置,所述显示装置包含布置为矩阵的多个像素,所述显示装置包括:

10.根据权利要求9所述的显示装置,

11.根据权利要求9所述的显示装置,

12.根据权利要求9所述的显示装置,

【技术特征摘要】

1.一种显示装置,所述显示装置包含布置为矩阵的多个像素,所述显示装置包括:

2.根据权利要求1所述的显示装置,

3.根据权利要求1所述的显示装置,

4.根据权利要求1所述的显示装置,

5.一种显示装置,所述显示装置包含布置为矩阵的多个像素,所述显示装置包括:

6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:山崎舜平高桥圭黑川义元
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所
类型:发明
国别省市:

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