【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉的加工领域，特别涉及一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体，包括氮气、氦气为主的环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直法拉生长无错位单晶的设备。
2、使用单晶硅拉制炉进行加工时，其桶装产品的预制体工装，缺少较好的辅助组件帮助其成品的精度进行提高，且不能对其内部的工作状况进行监测工作。
3、因此，提出一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
3、一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶部的正中固定连接有气体管，所述气体管顶部的正中固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的底部通过联轴器固定连接有转动轴，所述转动轴的底部固定连接有籽晶夹持组件；
4、所述单晶炉本体的内腔中活动连接有石墨托板，所述石墨托板的内腔中固定连接有坩埚，所述单晶炉本体底部的左右两侧对称固定连接有电极，所述单晶炉本体底部的右侧固定连接有排气管。
5、优选的，所述气体管右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管，所述惰性气体进气管外壁的正中法兰连接有第一阀门，所述单晶炉本体右侧的底部固定连接有真空泵，所述气体管与单晶炉本体的
6、优选的，所述籽晶夹持组件为底部与外界相通的空腔结构，所述转动轴和籽晶夹持组件活动连接在气体管和单晶炉本体的内腔中，所述籽晶夹持组件正面和背面的正中对称固定连接有固定块，所述籽晶夹持组件内腔的正面和背面对称活动连接有弧形夹持块。
7、优选的，两个所述固定块相背一侧的正中对称固定连接有第二伺服电机，两个所述第二伺服电机相对一侧的正中通过第一转轴对称固定连接有螺纹杆，两个所述弧形夹持块相背一侧的正中对称固定连接有连接柱，两个所述连接柱均为空腔结构，两个所述连接柱对称螺纹连接在两个螺纹杆的外壁，所述连接柱和螺纹杆设置在固定块和籽晶夹持组件的内腔中。
8、优选的，所述单晶炉本体顶部的右侧固定连接有温度传感器，所述单晶炉本体顶部的左侧固定连接有直径控制传感器，所述单晶炉本体左侧的顶部固定连接有进料管，所述进料管外壁的正中法兰连接有第二阀门。
9、优选的，所述单晶炉本体的内壁固定连接有保温壁，所述保温壁的内壁固定连接有石墨加热器，所述石墨托板底部的正中通过第二转轴固定连接有第三伺服电机，所述第三伺服电机的底部固定连接在单晶炉本体内腔的底部。
10、有益效果
11、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
12、该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过设置的设置的惰性气体进气管，能将惰性气体通过气体管导入至单晶炉本体的内腔，通过设置的真空泵，可以起到抽真空的效果，通过设置的籽晶夹持组件，能对晶体进行夹持工作，配合启动设置的第一伺服电机，能通过转动轴带动其进行转动。
13、该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过启动设置的第二伺服电机，能带动螺纹杆进行转动，使得连接柱能与螺纹杆螺纹连接，此时即可带动弧形夹持块进行移动，此时可以对晶体起到夹持工作，以此方便对晶体进行拆卸和安装。
14、该单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，通过设置的温度传感器和直径控制传感器，在单晶炉本体工作时，能对其内腔的温度和成品的直径进行监测处理，通过设置的排气管，方便单晶炉本体进行排气工作，通过设置的保温壁在单晶炉本体工作时能防止热量的流失，通过设置的石墨加热器能起到加热效果。
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1.一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体（1），其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部的正中固定连接有气体管（2），所述气体管（2）顶部的正中固定连接有第一伺服电机（8），所述第一伺服电机（8）的底部通过联轴器固定连接有转动轴（9），所述转动轴（9）的底部固定连接有籽晶夹持组件（10）；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述气体管（2）右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管（3），所述惰性气体进气管（3）外壁的正中法兰连接有第一阀门（5），所述单晶炉本体（1）右侧的底部固定连接有真空泵（4），所述气体管（2）与单晶炉本体（1）的内腔相通。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述籽晶夹持组件（10）为底部与外界相通的空腔结构，所述转动轴（9）和籽晶夹持组件（10）活动连接在气体管（2）和单晶炉本体（1）的内腔中，所述籽晶夹持组件（10）正面和背面的正中对称固定连接有固定块（11），所述籽晶夹持组件（10）内腔的正面和背面
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：两个所述固定块（11）相背一侧的正中对称固定连接有第二伺服电机（12），两个所述第二伺服电机（12）相对一侧的正中通过第一转轴对称固定连接有螺纹杆（13），两个所述弧形夹持块（15）相背一侧的正中对称固定连接有连接柱（14），两个所述连接柱（14）均为空腔结构，两个所述连接柱（14）对称螺纹连接在两个螺纹杆（13）的外壁，所述连接柱（14）和螺纹杆（13）设置在固定块（11）和籽晶夹持组件（10）的内腔中。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部的右侧固定连接有温度传感器（6），所述单晶炉本体（1）顶部的左侧固定连接有直径控制传感器（7），所述单晶炉本体（1）左侧的顶部固定连接有进料管（16），所述进料管（16）外壁的正中法兰连接有第二阀门（17）。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述单晶炉本体（1）的内壁固定连接有保温壁（19），所述保温壁（19）的内壁固定连接有石墨加热器（20），所述石墨托板（22）底部的正中通过第二转轴固定连接有第三伺服电机（21），所述第三伺服电机（21）的底部固定连接在单晶炉本体（1）内腔的底部。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，包括单晶炉本体（1），其特征在于：所述单晶炉本体（1）顶部的正中固定连接有气体管（2），所述气体管（2）顶部的正中固定连接有第一伺服电机（8），所述第一伺服电机（8）的底部通过联轴器固定连接有转动轴（9），所述转动轴（9）的底部固定连接有籽晶夹持组件（10）；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述气体管（2）右侧的顶部固定连接有惰性气体进气管（3），所述惰性气体进气管（3）外壁的正中法兰连接有第一阀门（5），所述单晶炉本体（1）右侧的底部固定连接有真空泵（4），所述气体管（2）与单晶炉本体（1）的内腔相通。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工装，其特征在于：所述籽晶夹持组件（10）为底部与外界相通的空腔结构，所述转动轴（9）和籽晶夹持组件（10）活动连接在气体管（2）和单晶炉本体（1）的内腔中，所述籽晶夹持组件（10）正面和背面的正中对称固定连接有固定块（11），所述籽晶夹持组件（10）内腔的正面和背面对称活动连接有弧形夹持块（15）。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅拉制炉用炭炭复合材料筒状产品预制体固化工...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文，邵海成，郭建刚，沈红卫，鲁政，许馨，
申请(专利权)人：内蒙古栢特新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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