【技术实现步骤摘要】
本公开大体上涉及在原子层沉积(ald)工艺、化学气相沉积(cvd)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统。
技术介绍
1、在晶片的制造工艺中使用经设计用于输送在ald和cvd工艺中使用的固体前体材料的递送系统。此类系统可包含经配置以容纳固体前体材料的安瓿。
技术实现思路
1、递送系统的一些实施例包含具有主体的安瓿，所述主体限定具有内表面的内部腔室。递送系统的这些实施例中的至少一些在ald、cvd或这两种工艺中使用。固体前体材料可用于制造微电子装置。在一些实施例中，固体前体材料是各种有机前体、无机前体、金属有机前体，或其组合。在一些实施例中，需要热来使用固体前体材料。
2、在一些实施例中，安瓿在其内部腔室中包含用于固持固体前体材料的至少一个托盘。在一些实施例中，托盘经配置有用于例如气体等流体从内部腔室的底部流动到内部腔室的顶部、从内部腔室的顶部流动到内部腔室的底部或这两种情况的通路。
3、在一些实施例中，托盘经配置以将热从内部腔室的内表面传导到固体前体材料。在一些实施例中，托盘经配置有至少一部分以推动所述托盘的一部分以增加或最大化与内部腔室的内表面的接触。在一些实施例中，托盘经配置有某一部分，所述部分增加或最大化从内部腔室的内表面到托盘的另一部分、固体前体材料或这两者的热传递。
4、在一些实施例中，托盘经配置有某一结构，所述结构允许托盘改变其结构以使得其可容易或相对容易地放置于内部腔室中，且当放置于内部腔室内时，所述托盘经配置以改变其结构以在内
5、在一些实施例中，用于安瓿的托盘包括具有压缩状态和松弛状态的可压缩部分，其中所述可压缩部分中的弹簧势能比在松弛状态中更高。
6、在所述托盘的一些实施例中，所述托盘包括热传递组件，其中所述热传递组件与所述可压缩部分成热接触。
7、在所述托盘的一些实施例中，所述托盘包括第二热传递组件，其中所述第二热传递组件与所述可压缩部分成热接触。
8、在所述托盘的一些实施例中，当所述可压缩部分被压缩时从所述热传递组件到所述第二热传递组件的距离减少。
9、在所述托盘的一些实施例中，所述热传递组件和所述第二热传递组件经配置为与所述安瓿的内壁表面成热接触，且所述热传递组件和所述第二热传递组件经配置以从安瓿的内壁表面向可压缩部分传送热能。
10、在所述托盘的一些实施例中，所述托盘包括表面，其中所述表面经配置以固持固体前体材料，且所述表面与所述可压缩部分成热接触。
11、在所述托盘的一些实施例中，所述可压缩部分沿着所述表面的径向方向、所述表面的圆周部分或这两者可压缩。
12、在所述托盘的一些实施例中，所述表面包含非平面部分、平面部分或这两者。
13、在所述托盘的一些实施例中，所述可压缩部分包括弹簧。
14、在所述托盘的一些实施例中，所述可压缩部分包括具有脊部方向和折叠方向的风琴褶状表面。
15、在所述托盘的一些实施例中，所述风琴褶状表面经配置以固持固体前体材料。
16、在所述托盘的一些实施例中，所述可压缩部分包括开口环。
17、在所述托盘的一些实施例中，所述托盘包括表面，其中所述表面经配置以固持固体前体材料，且所述表面与所述开口环成热接触。
18、在所述托盘的一些实施例中，所述开口环安置于所述表面的外周边处。
19、在所述托盘的一些实施例中，所述开口环安置于所述表面上方。
20、在所述托盘的一些实施例中，所述开口环安置于所述表面下方。
21、在所述托盘的一些实施例中，所述托盘包括第二表面，其中所述第二表面经配置以固持固体前体材料，且其中所述第二表面与所述开口环成热接触。
22、在所述托盘的一些实施例中，当所述可压缩部分被压缩时距所述表面和所述第二表面的距离减少。
23、在一些实施例中，安瓿包括根据本文所描述的托盘的实施例中的任一个的托盘。
24、在一些实施例中，将托盘插入到安瓿中的方法包括获得根据本文所描述的托盘的实施例中的任一个的托盘；压缩所述托盘的可压缩部分；以及将托盘插入到安瓿的内部体积中。
25、在一些实施例中，所述方法进一步包括释放托盘的可压缩部分，其中所述可压缩部分扩展且托盘经配置为与安瓿的内壁表面成热接触。
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1.一种用于安瓿的托盘，其特征在于所述托盘包括：
2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
4.根据权利要求3所述的托盘，
5.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
6.根据权利要求1所述的托盘，
7.根据权利要求1所述的托盘，
8.根据权利要求7所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
9.根据权利要求8所述的托盘，其特征在于所述开口环安置于所述表面的外周边处。
10.根据权利要求8所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
【技术特征摘要】
1.一种用于安瓿的托盘，其特征在于所述托盘包括：
2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
4.根据权利要求3所述的托盘，
5.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于所述托盘进一步包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：S·L·巴特尔，D·K·奈托，J·N·格雷格，J·托马斯，C·帕克，J·申德勒，B·C·亨德里克斯，B·H·奥尔森，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：新型
国别省市：
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