【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学仪器领域,具体涉及一种基于复合光路的液膜厚度测量仪及其测量方法。
技术介绍
1、现有的液膜厚度测量方法通常为直接接触方法,包括使用物理接触技术,使用探针或传感器,以测量液膜的厚度。这些方法可能会导致液膜污染、损伤或干扰,尤其是在对液膜敏感性要求很高的情况下。
2、且现有的液膜厚度测量方法使用传统的光学技术,使用干涉仪或反射光谱仪,以分析光波与液膜的相互作用。这些方法易受到入射光角度、光路长度和复杂的液膜性质的影响,导致测量不稳定或不准确。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种基于复合光路的液膜厚度测量仪及其测量方法,用以解决现有技术中测量液膜厚度需要进行液膜接触的问题。
2、本专利技术通过以下技术方案实现:
3、一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,所述液膜厚度测量仪包括复色光光源、透明玻璃板、光屏及光路分析器;
4、所述复色光光源发出自然光,以平行于透明玻璃板60°方向射入透明玻璃板,透明玻璃板导出的散射光落到液膜表面,经过液
...【技术保护点】
1.一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述液膜厚度测量仪包括复色光光源、透明玻璃板、光屏及光路分析器;
2.根据权利要求1所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述透明玻璃板与所需测量的液膜平行设置;
3.根据权利要求1所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述光路分析器以角度分辨率分解入射光路,并精确记录不同波长光路成分的强度。
4.一种基于复合光路的液膜厚度测量仪的测量方法,其特征在于,所述测量方法使用如权利要求1-3任一所述的基于复合光路的液膜厚度测量仪,所述测量方法包括以下步骤:
< ...【技术特征摘要】
1.一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述液膜厚度测量仪包括复色光光源、透明玻璃板、光屏及光路分析器;
2.根据权利要求1所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述透明玻璃板与所需测量的液膜平行设置;
3.根据权利要求1所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪,其特征在于,所述光路分析器以角度分辨率分解入射光路,并精确记录不同波长光路成分的强度。
4.一种基于复合光路的液膜厚度测量仪的测量方法,其特征在于,所述测量方法使用如权利要求1-3任一所述的基于复合光路的液膜厚度测量仪,所述测量方法包括以下步骤:
5.根据权利要求4所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪的测量方法,其特征在于,所述步骤1具体为,建立几何模型,以描述液膜的光学特性;
6.根据权利要求4所述一种基于复合光路的液膜厚度测量仪的测量方法,其特征在于,所述步骤3具体为,折...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡少纯,王博,朱禹翰,张佳奕,
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学,
类型:发明
国别省市:
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