【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种半导体设备的通信方法和半导体工艺设备。
技术介绍
1、在半导体工业领域中，半导体设备控制软件系统通常包括下位机控制软件和上位机控制软件两部分，下位机控制软件的主要作用是与硬件进行通信，直接控制机台设备的硬件，是设备控制的实现者和直接实施者，目前半导体设备上的硬件执行单元数量较多，下位机控制软件需要控制的数据量较大，并且不同硬件执行单元与下位机控制软件的通信方式不同，使得每个硬件执行单元数据的读写都需要对应的读写线程，由于不同硬件执行单元的数据量不同，不同硬件执行单元的读写线程对应的读写周期也存在差异，从而对不同硬件执行单元进行读写数据的时间并不能保持一致，使得下位机控制软件针对不同硬件执行单元进行读写数据不能同步，影响了半导体工艺的精确度。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体设备的通信方法和半导体工艺设备。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种半导体设备的通信方法，应用于下位机，所述下位机分别与上位机和通信模块连接，所述通信模块与多个半导体设备的硬件执行单元串联连接，所述方法包括：
3、调用预先创建的读线程，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据，并存储至预先创建的读数据内存区；
4、从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机；
5、接收所述上位机发送的针对所述硬件执
6、调用预先创建的写线程，将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，通过所述通信模块向所述硬件执行单元发送所述下行数据。
7、可选地，所述通信模块包括ethercat主站卡。
8、可选地，所述读数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的读数据子内存区，所述存储至预先创建的读数据内存区，包括：
9、将所述多个硬件执行单元的上行数据，存储至对应的所述读数据子内存区。
10、可选地，所述从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机，包括：
11、调用预先创建的与所述多个硬件执行单元相对应的第一应用线程，从所述读数据子内存区中，获取与所述硬件执行单元对应的上行数据并发送至所述上位机。
12、可选地，所述写数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的写数据子内存区；所述写入预先创建的写数据内存区，包括：
13、调用预先创建的与所述多个硬件执行单元相对应的第二应用线程，将所述针对所述硬件执行单元的下行数据，写入对应的所述写数据子内存区。
14、可选地，所述将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，包括：
15、将所述硬件执行单元对应所述写数据子内存区中的下行数据，写入所述通信模块。
16、可选地，所述调用预先创建的读线程，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据，包括：
17、调用预先创建的所述读线程，根据第一预设周期，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据。
18、可选地，所述调用预先创建的写线程，将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，包括：
19、调用预先创建的所述写线程，根据第二预设周期，将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块。
20、可选地，所述上行数据包括所述硬件执行单元的运行数据，所述下行数据包括根据所述运行数据，生成针对所述硬件执行单元的控制指令。
21、可选地，所述读线程的数量为1，所述写线程的数量为1。
22、本专利技术还公开了一种半导体工艺设备，包括控制器，所述控制器被配置为调用预先创建的读线程，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据，并存储至预先创建的读数据内存区；从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机；接收所述上位机发送的针对所述硬件执行单元的下行数据，并写入预先创建的写数据内存区；调用预先创建的写线程，将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，通过所述通信模块向所述硬件执行单元发送所述下行数据。
23、本专利技术实施例包括以下优点：
24、本专利技术公开了一种半导体设备的通信方法，本专利技术中
25、不同硬件执行单元与一个共用的通信模块串联连接，可以通过通信模块同时读取到所有硬件执行单元的上行数据，也可以将针对所有硬件执行单元的下行数据一次性写入通信模块，提高了对硬件执行单元的数据进行读写的效率；本专利技术中下位机不需要分别与不同的硬件执行单元建立通信，只需要通过预先创建的唯一的读线程，即可获取共用的通信模块获取的多个硬件执行单元的上行数据，通过预先创建的唯一的写线程，即可将写数据内存区中的下行数据通过共用的通信模块发送至硬件执行单元，本专利技术不需要多个读写线程分别对多个硬件执行单元的数据进行读写，只需要唯一的读写线程即可对所有硬件执行单元的数据进行读写，不用考虑不同硬件执行单元的读写周期，使得下位机控制软件针对不同硬件执行单元进行读写数据时能够保持同步，提高了工艺的精确度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种半导体设备的通信方法，其特征在于，应用于下位机，所述下位机分别与上位机和通信模块连接，所述通信模块与多个半导体设备的硬件执行单元串联连接，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通信模块包括EtherCAT主站卡。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述读数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的读数据子内存区，所述存储至预先创建的读数据内存区，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述写数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的写数据子内存区；所述写入预先创建的写数据内存区，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调用预先创建的读线程，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据，包括：
8.根
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述上行数据包括所述硬件执行单元的运行数据，所述下行数据包括根据所述运行数据，生成针对所述硬件执行单元的控制指令。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述读线程的数量为1，所述写线程的数量为1。
11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括控制器，所述控制器被配置为调用预先创建的读线程，读取所述通信模块获取的所述多个硬件执行单元的上行数据，并存储至预先创建的读数据内存区；从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机；接收所述上位机发送的针对所述硬件执行单元的下行数据，并写入预先创建的写数据内存区；调用预先创建的写线程，将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，通过所述通信模块向所述硬件执行单元发送所述下行数据。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的通信方法，其特征在于，应用于下位机，所述下位机分别与上位机和通信模块连接，所述通信模块与多个半导体设备的硬件执行单元串联连接，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通信模块包括ethercat主站卡。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述读数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的读数据子内存区，所述存储至预先创建的读数据内存区，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述从所述读数据内存区，获取所述硬件执行单元的上行数据并发送至所述上位机，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述写数据内存区包括与所述多个硬件执行单元一一对应的写数据子内存区；所述写入预先创建的写数据内存区，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述写数据内存区中的下行数据写入所述通信模块，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调用预先创建的读线程，读取所述通...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓青，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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