异质结太阳能电池及其制备方法技术

技术编号:40055666 阅读:21 留言:0更新日期:2024-01-16 21:53
本发明专利技术提供异质结太阳能电池及其制备方法,包括:对半导体衬底进行制绒得到绒面结构,绒面结构具有待抛光区和位于待抛光区侧部的绒面区;对半导体衬底进行吸杂,形成位于绒面结构表面的磷硅玻璃层;对磷硅玻璃层进行图案化处理,形成贯穿磷硅玻璃层的孔型区域,待抛光区暴露在孔型区域中;对待抛光区进行抛光得到抛光区,绒面结构形成抛光绒面复合结构;去除位于绒面区的磷硅玻璃层;在抛光绒面复合结构的表面依次沉积去复合载流子传输层、透明导电层和栅线,栅线在半导体衬底表面的正投影与抛光区重合,提高了栅线与透明导电层的接触效果,降低了异质结太阳能电池的接触电阻,从而提高了异质结太阳能电池的光电转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池,具体涉及异质结太阳能电池及其制备方法


技术介绍

1、太阳能作为绿色可再生能源一直以来受到人们的广泛关注。在太阳能的有效利用中,太阳能电池的研究和开发日益得到重视。异质结太阳能电池具有结构简单、工艺温度低、钝化效果好、开路电压高、温度特性好、双面发电等优点,是高转换效率太阳能电池的热点方向之一。

2、异质结太阳能电池一般以n型硅片为衬底,衬底正面及背面依次沉积有本征层、掺杂层、透明导电层和栅线。通常对衬底表面进行制绒以获得绒面结构,从而提高异质结太阳能电池的陷光能力,进而获得更高的光电转化效率。在具有绒面结构的衬底表面沉积的本征层、掺杂层和透明导电层也呈绒面。钝化层大多为非晶硅,而非晶硅在200℃以上会逐步晶化,造成非晶硅钝化效果下降,开路电压和填充因子降低,从而影响异质结太阳能电池的光电转化效率,因此高温烧结银浆不适用于第一栅线和第二栅线的制备,因此异质结太阳能电池目前采用固化温度低于200℃的低温固化银浆。而低温银浆一方面成本较高,另一方面在固化过程中,由于低沸点液体挥发,环氧树脂分子链交联,致使固化后体积收缩。而本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述半导体衬底具有相对设置的正面和背面,所述绒面结构位于所述正面和/或背面。

3.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述磷硅玻璃层的厚度为20nm-35nm。

4.根据权利要求1至3任一项所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,对所述磷硅玻璃层进行图案化处理的步骤包括:

5.根据权利要求4所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述掩膜板的材料为耐酸聚合物材料;p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述半导体衬底具有相对设置的正面和背面,所述绒面结构位于所述正面和/或背面。

3.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述磷硅玻璃层的厚度为20nm-35nm。

4.根据权利要求1至3任一项所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,对所述磷硅玻璃层进行图案化处理的步骤包括:

5.根据权利要求4所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述掩膜板的材料为耐酸聚合物材料;

6.根据权利要求4所述的异质结太阳能电池的制备方法,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙鹏张良张景杜文朝
申请(专利权)人:无锡华晟光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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