【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种半导体设备的硬件执行单元的配置方法和装置。
技术介绍
1、在半导体工业领域中，半导体设备控制软件系统通常包括下位机控制软件和上位机控制软件两部分，下位机控制软件的主要作用是与硬件进行通信，直接控制机台设备的硬件，是设备控制的实现者和直接实施者；不同的半导体设备在出厂时可能包含相同型号的硬件执行单元，例如，在不同的半导体设备中存在，相同型号的流量控制阀，相同型号的流量控制阀在出厂时实现相同功能是相同的，但是由于不同半导体设备的需求和业务流程存在差异，在进行具体产品代码开发时，可能会修改其对应的软件实现，导致相同的硬件执行单元的软件具体实现存在差异。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体设备的硬件执行单元的配置方法和装置。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种半导体设备的硬件执行单元的配置方法，所述方法包括：
3、确定所述半导体设备的硬件执行单元的标识；
4、根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的控制组件和配置信息；所述配置信息包括配置参数和对应的配置参数值；不同标识对应的所述控制组件，为针对不同标识的硬件执行单元所实现的功能设置得到；
5、根据所述配置信息对所述控制组件进行配置。
6、可选地，所述配置参数包括允许用户修改的第一配置参数，所述控制组件针对运行用户修改的第一配置参数提供对外接口；
...【技术保护点】
1.一种半导体设备的硬件执行单元的配置方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述配置参数包括允许用户修改的第一配置参数，所述控制组件针对运行用户修改的第一配置参数提供对外接口；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述配置参数包括不允许用户修改的第二配置参数，所述控制组件针对需要运行用户修改的第二配置参数不提供对外接口，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的配置信息，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的控制组件，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设动态链接库包括多个组件库，所述多个组件库包括根据预设规则对不同硬件执行单元的控制组件进行分类得到的组件库，所述根据所述硬件执行单元的标识，从预设动态链接库中获取与所述硬件执行单元匹配的控制组件，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硬件执行单元包括机械手、流量控制阀、
8.一种硬件执行单元的配置装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括控制器，所述控制器被配置为确定所述半导体设备的硬件执行单元的标识；根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的控制组件和配置信息；所述配置信息包括配置参数和对应的配置参数值；不同标识对应的所述控制组件，为针对不同标识的硬件执行单元所实现的功能设置得到；根据所述配置信息对所述控制组件进行配置。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述配置参数包括允许用户修改的第一配置参数，所述控制组件针对运行用户修改的第一配置参数提供对外接口；所述控制器被配置为获取用户通过所述对外接口输入的参数修改信息，并根据所述参数修改信息修改对应的第一配置参数的参数值。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述配置参数包括不允许用户修改的第二配置参数，所述控制组件针对需要运行用户修改的第二配置参数不提供对外接口，所述控制器被配置为获取所述硬件执行单元基于所述配置参数运行的运行结果；若所述运行结果不满足预设业务要求，且根据所述运行结果确定需要修改的配置参数为所述第二配置参数；则修改所述第二配置参数对应的配置参数值。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的硬件执行单元的配置方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述配置参数包括允许用户修改的第一配置参数，所述控制组件针对运行用户修改的第一配置参数提供对外接口；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述配置参数包括不允许用户修改的第二配置参数，所述控制组件针对需要运行用户修改的第二配置参数不提供对外接口，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的配置信息，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述硬件执行单元的标识，获取对应的控制组件，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设动态链接库包括多个组件库，所述多个组件库包括根据预设规则对不同硬件执行单元的控制组件进行分类得到的组件库，所述根据所述硬件执行单元的标识，从预设动态链接库中获取与所述硬件执行单元匹配的控制组件，包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述硬件执行单元包括机械手、流量控制阀、质量流量控制器、冷泵、真空泵、加热器、...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓青，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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