【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及异质结太阳能电池领域,具体涉及一种硅异质结电池铜栅线的制备方法。
技术介绍
1、太阳能电池是一种能将太阳能转换成电能的半导体器件,在光照条件下太阳能电池内部会产生光生电流,通过电极将电能输出。近年来,太阳能电池生产技术不断进步,生产成本不断降低,转换效率不断提高,太阳能电池发电的应用日益广泛并成为电力供应的重要能源。
2、目前铜栅线硅异质结太阳能电池的典型结构为:铜栅线电极/tco/a-si(n)/a-si(i)/c-si/a-si(i)/a-si(p)/tco/铜栅线电极。对正背电极均为铜栅线的电池,工艺流程为:晶硅衬底清洗制绒、pecvd沉积正背面本征及掺杂非晶硅薄膜、pvd沉积正背面tco薄膜以及铜栅线制备。单就铜栅线制备而言,其步骤包括:(a)pvd沉积铜种子层:在正背面tco薄膜表面分别通过pvd沉积正背面铜种子层;(b)光刻图形化:在正背面铜种子层表面依次通过贴膜、层压、曝光、显影步骤形成图形化的掩膜;(c)电镀:电镀沉积正背面铜栅线;(d)去除正背面掩膜;(e)去铜化锡:去除非栅线位置的铜种子层并
...【技术保护点】
1.一种硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,在形成有铜种子层的电池表面印刷或喷涂光固化油墨,并加热使其干燥固化,制得油墨层。
3.根据权利要求2所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述固化的温度为70~100℃,固化的时间为10~30min。
4.根据权利要求1所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述油墨层的厚度为8~35μm。
5.根据权利要求1所述的硅异
...【技术特征摘要】
1.一种硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,在形成有铜种子层的电池表面印刷或喷涂光固化油墨,并加热使其干燥固化,制得油墨层。
3.根据权利要求2所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述固化的温度为70~100℃,固化的时间为10~30min。
4.根据权利要求1所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述油墨层的厚度为8~35μm。
5.根据权利要求1所述的硅异质结电池铜栅线的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,将曝光后的电池放入化学刻蚀液中依次刻蚀去除所述电...
【专利技术属性】
技术研发人员:田宏波,黎力,赵晓霞,李世岚,王伟,宗军,孙金华,范霁红,
申请(专利权)人:国家电投集团科学技术研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:
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