阵列微电极、阵列微电极制备方法及阵列微孔加工方法技术

本申请涉及微电极技术领域，提出一种阵列微电极、阵列微电极制备方法及阵列微孔加工方法，阵列微电极包括多个金属箔和多个电极丝，多个金属箔沿第一方向层叠布置，两个相邻金属箔的相对侧面分别沿第二方向间隔布置有多个放置槽，两个相邻金属箔的相对侧面的放置槽对齐布置以围成多个固定孔；电极丝固定于固定孔内且电极丝的至少一端伸出固定孔；电极丝的电火花加工损耗速率小于金属箔的电火花加工损耗速率。上述阵列微电极在满足电极丝对工件表面加工的情况下，使得电极丝和金属箔一起损耗，这样可以将阵列微电极做的更长一些，以实现一致性良好的阵列微孔的持续大批量制备，解决了阵列微孔加工效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及微电极，特别涉及一种阵列微电极、阵列微电极制备方法及阵列微孔加工方法。

技术介绍

1、微细电火花加工为非接触式加工，具有无宏观切削力、可加工任何导电材料等优点，是在难加工材料表面制备阵列微孔的重要技术手段。

2、目前，阵列微孔主要采用微柱状电极进行逐个加工，然而在电火花加工过程中，微柱状电极不可避免地存在损耗，并且微柱状电极横截面尺寸微小、抗干扰能力弱，需要复杂的伺服控制系统来保证阵列微孔的一致性，使得阵列微孔的加工效率较低。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种阵列微电极、阵列微电极制备方法及阵列微孔加工方法，以解决阵列微孔加工效率低的问题。

2、本申请第一方面的实施例提出了一种阵列微电极，包括多个金属箔和多个电极丝，多个所述金属箔沿第一方向层叠布置，两个相邻所述金属箔的相对侧面分别沿第二方向间隔布置有多个放置槽，两个相邻所述金属箔的相对侧面的所述放置槽对齐布置以围成多个固定孔，所述第一方向与所述第二方向相交；所述电极丝固定于所述固定孔内且所述电极丝的至少一端本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种阵列微电极，其特征在于，包括多个金属箔和多个电极丝，多个所述金属箔沿第一方向层叠布置，两个相邻所述金属箔的相对侧面分别沿第二方向间隔布置有多个放置槽，两个相邻所述金属箔的相对侧面的所述放置槽对齐布置以围成多个固定孔，所述第一方向与所述第二方向相交；所述电极丝固定于所述固定孔内且所述电极丝的至少一端伸出所述固定孔；其中，所述电极丝的电火花加工损耗速率小于所述金属箔的电火花加工损耗速率。

2.如权利要求1所述的阵列微电极，其特征在于，所述金属箔沿所述第一方向层叠布置有至少三个，其中两个所述金属箔为端部金属箔，其余的所述金属箔为中间金属箔，所述中间金属箔设于两个所述端部金属...

【技术特征摘要】

1.一种阵列微电极，其特征在于，包括多个金属箔和多个电极丝，多个所述金属箔沿第一方向层叠布置，两个相邻所述金属箔的相对侧面分别沿第二方向间隔布置有多个放置槽，两个相邻所述金属箔的相对侧面的所述放置槽对齐布置以围成多个固定孔，所述第一方向与所述第二方向相交；所述电极丝固定于所述固定孔内且所述电极丝的至少一端伸出所述固定孔；其中，所述电极丝的电火花加工损耗速率小于所述金属箔的电火花加工损耗速率。

2.如权利要求1所述的阵列微电极，其特征在于，所述金属箔沿所述第一方向层叠布置有至少三个，其中两个所述金属箔为端部金属箔，其余的所述金属箔为中间金属箔，所述中间金属箔设于两个所述端部金属箔之间；所述端部金属箔朝向所述中间金属箔的一侧设有所述放置槽，所述中间金属箔的两侧均设有所述放置槽。

3.如权利要求1所述的阵列微电极，其特征在于，所述放置槽为v形槽或梯形槽。

4.如权利要求1或2或3所述的阵列微电极，其特征在于，所述金属箔为锌箔或锡箔。

5.如权利要求1或2或3所述的阵列微电极，其特征在于，所述电极丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷建国，沈昊天，吴慧勇，徐斌，郭程，赵春洋，程蓉，伍晓宇，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：