【技术实现步骤摘要】
本技术涉及切片机,具体为一种切片机超声波清洗装置。
技术介绍
1、金刚线切片机在切片过程中,金刚线上面会有很多硅粉附着,虽然有切削液在顶部喷淋,但是只能起到润滑作用,并不能达到清洗的效果,金刚线上附着的硅粉,加上切削液会形成硅泥,硅泥会在切割过程中填充在金刚砂缝隙中,在切片的中后期严重影响金刚线的切割效果,为了去除金刚线上面的硅泥,提高切割效果,急需一种借鉴半导体晶圆定向超声波清洗原理的符合切割工艺的金刚线超声波清洗装置。
技术实现思路
1、本技术为了解决现有技术的问题,提供了一种切片机超声波清洗装置。
2、为了解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体、超声波发生器、陶瓷增压泵、切削液水源与电源,所述超声波发生器与电源通过电性连接,所述陶瓷增压泵与电源通过电性连接,所述超声波腔体的一侧固定连接有连接管,所述陶瓷增压泵的输出端通过输液管与连接管固定连接,所述超声波腔体的一侧固定连接有定向超声波换能器,所述定向超声波换能器与超声波发
...【技术保护点】
1.一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体(1)、超声波发生器(2)、陶瓷增压泵(3)、切削液水源(4)与电源(5),其特征在于:所述超声波发生器(2)与电源(5)通过电性连接,所述陶瓷增压泵(3)与电源(5)通过电性连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有连接管(13),所述陶瓷增压泵(3)的输出端通过输液管与连接管(13)固定连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有定向超声波换能器(11),所述定向超声波换能器(11)与超声波发生器(2)的输出端通过管道固定连接,所述超声波腔体(1)的顶端固定连接有定向超声波喷嘴(12),所述定向超声波喷嘴(12)的数量设置
...【技术特征摘要】
1.一种切片机超声波清洗装置,包括超声波腔体(1)、超声波发生器(2)、陶瓷增压泵(3)、切削液水源(4)与电源(5),其特征在于:所述超声波发生器(2)与电源(5)通过电性连接,所述陶瓷增压泵(3)与电源(5)通过电性连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有连接管(13),所述陶瓷增压泵(3)的输出端通过输液管与连接管(13)固定连接,所述超声波腔体(1)的一侧固定连接有定向超声波换能器(11),所述定向超声波换能器(11)与超声波发生器(2)的输出端通过管道固定连接,所述超声波腔体(1)的顶端固定连接有定向超声波喷嘴(12),所述定向超声波喷嘴(12)的数量设置为多个,所述定向超声波喷嘴(12)的内壁喷出...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘尊玲,王一烽,刘尊玄,
申请(专利权)人:无锡上京精密科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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