【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及类金刚石薄膜制备,具体涉及一种于离子液体中电沉积制备类金刚石薄膜的方法。
技术介绍
1、类金刚石薄膜,是一类集优良机械、光学、化学和生物等特性于一体、类似于金刚石的非晶碳膜,比如硬度高、摩擦系数低、宽光学带隙、低介电常数、耐腐蚀、生物相容性好等;由于其优异的材料性能,它已被广泛应用于机械、电子、生物、航空航天等领域;目前,制备类金刚石薄膜的传统方法有物理气相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)两大类。
2、由于上述两种方法都很复杂,且需要精密且昂贵的设备在真空、高温、高压等条件下进行,同时此类制备方法对衬底材料和工艺环境要求严格,制备流程耗时长,大面积成膜较为困难,在一定程度上限制了类金刚石薄膜制备的进一步发展;鉴于大多数能在气相条件下制备得到的薄膜材料同样可以在液相条件下通过电化学沉积的方法得到,因此,还可以采用电化学沉积(即电沉积)方法制备类金刚石薄膜;电化学沉积方法的基本原理是:通过选用含有碳源(一般为甲基基团)的有机试剂作为电解液,在外加电压的作用下电解有机试剂,在阴极表面形成碳膜;研究发现:一些介电
...【技术保护点】
1.一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:S1中导电玻璃进行超声清洗10min。
3.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:S2中氯化胆碱、乙二醇溶液在25-80℃范围内搅拌、分散30min。
4.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:S3中以3V恒电压进行电解。
5.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:导电玻璃为
...【技术特征摘要】
1.一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:s1中导电玻璃进行超声清洗10min。
3.根据权利要求1所述的一种于离子液体中制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:s2中...
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