【技术实现步骤摘要】
本公开涉及量子信息处理器件的形成方法。
技术介绍
1、量子计算是一种利用量子力学现象(诸如两个量子态的叠加及属于分开的且相距遥远的实体的量子态之间的纠缠)的新计算方法。与使用配置为处于两个双稳态(例如，“0”和“1”)的“位”来存储和操纵信息的数字计算机相比，量子计算系统旨在使用配置为量子态的叠加(例如，a|0>+b|1>)的“量子位”来操纵信息。每个量子位的量子态可以彼此纠缠，即，一个量子位的测量结果与另一量子位的测量结果紧密相关。这些特性提供了优于经典计算机的关键优势，即量子计算机的速度与量子位数量成指数关系。
技术实现思路
1、总体上，在一些方面中，本公开的主题可以以包括形成量子信息处理器件的至少部分的方法来体现，形成量子信息处理器件的至少部分包括：在衬底的主表面上提供由第一导电材料形成的第一导电层；在第一导电材料上沉积电介质材料层；图案化电介质材料层，以形成电介质材料垫并暴露第一电导电层的第一区域；在电介质材料垫上并且在第一导电层的第一区域上沉积第二导电层；图案化第二导...
【技术保护点】
1.一种方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，图案化所述电介质材料层暴露所述第一导电层的第一区域。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，图案化所述电介质材料层暴露所述第一导电层的第二区域，所述第二导电层沉积在所述第一导电层的所述第二区域上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，使用各向同性气相蚀刻，去除电介质材料的至少一个图案化的区域包括：
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，使用各向同性气相蚀刻，去除电介质材料的所述至少一个图案化的区域包括：
6.根据权利要求1至3中...
【技术特征摘要】
1.一种方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，图案化所述电介质材料层暴露所述第一导电层的第一区域。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，图案化所述电介质材料层暴露所述第一导电层的第二区域，所述第二导电层沉积在所述第一导电层的所述第二区域上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，使用各向同性气相蚀刻，去除电介质材料的至少一个图案化的区域包括：
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，使用各向同性气相蚀刻...
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