一种静压气浮轴承的性能检测装置制造方法及图纸

技术编号:4002034 阅读:156 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种静压气浮轴承的性能检测装置,它至少包括:基座(1)、薄膜压力传感器(2)、调压阀(3)、进气管(4)、气体压力表(5)、被测静压气浮轴承(6)、压板(7)、轴承固定件(8)、轴承连接件(9)、线性驱动器连接件(10)、限位螺栓(11)、线性驱动器(12)、机架(13)、支架(14)、力传感器(15)、位移传感器(16)、从动齿轮(17)、主动齿轮(18)、驱动电机(19)和旋转编码器(20),本发明专利技术可以检测静压气浮轴承在不同供气压力和不同气膜厚度下的承载能力、刚度和轴承内气体的压力变化,以便对静压气浮轴承进行性能检测并对轴承的结构参数进行优化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静压气浮轴承的性能检测装置,属于精密设备的性能检测领域。
技术介绍
静压气浮轴承是以一定压力亚音速流动的气体作为润滑介质的一种无摩擦/极 低摩擦的支撑元件,具有精度高、无磨损、清洁、无污染、寿命长、免维护、低发热、结构设计 灵活、耐高/低温及原子辐射等特点,广泛应用在三坐标测量机、高精度数控加工、生物芯 片技术、光纤对接、以及微型机械零件的操纵、装配和精密定位、加工等领域。随着制造工艺 和测量技术的飞速发展,加工技术不断向极限加工、超高精度和更高效率的方向迈进,促使 加工设备日益大型化甚至巨型化,加工设备的精度不断提高。因此,对静压气浮轴承的承载 能力和刚度等性能指标提出了越来越高的要求。为满足工业领域对静压气浮轴承的要求,需定量和定性分析影响轴承性能的各个 因素,并根据其影响程度进行集成参数优化,使轴承的性能指标达到最优。然而目前的检测 装置只能检测静压气浮轴承的性能与轴承的形状、节流方式、几何参数和供气压力之间关 系,而影响轴承性能的直接因素轴承内气体的压力分布却无法直接检测,不能直接分析上 述各因素引起轴承内气体的压力变化情况,很难准确得出影响轴承内气体压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静压气浮轴承的性能检测装置,它至少包括:基座(1)、薄膜压力传感器(2)、调压阀(3)、进气管(4)、气体压力表(5)、被测静压气浮轴承(6)、压板(7)、轴承固定件(8)、轴承连接件(9)、线性驱动器连接件(10)、限位螺栓(11)、线性驱动器(12)、机架(13)、支架(14)、力传感器(15)、位移传感器(16)、从动齿轮(17)、主动齿轮(18)、驱动电机(19)和旋转编码器(20),其特征在于:所述的薄膜压力传感器(2)固定在基座(1)上,调压阀(3)和气体压力表(5)安装在进气管(4)上,被测静压气浮轴承(6)通过压板(7)、轴承固定件(8)、轴承连接件(9)、线性驱动器连接件...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李运堂袁柯铭
申请(专利权)人:中国计量学院
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]

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