【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文中的描述涉及用于带电粒子射束系统的系统上自诊断和自校准技术。
技术介绍
1、在集成电路(ic)的制造过程中，检查未完成或已完成的电路部件以确保它们根据设计制造并且没有缺陷。可以采用利用光学显微镜或带电粒子(例如，电子)射束显微镜(诸如扫描电子显微镜(sem))的检查系统。随着ic部件的物理尺寸不断缩小，缺陷检测的准确性和产率变得更加重要。
2、当在检查系统中发现性能问题时，难以确定其根本原因，因为检查系统由可能导致性能问题的许多子系统或部件组成。随着检测系统变得更加复杂，用于调试的系统停机时间变得更长，因此芯片制造过程的效率可能会降低。因此，期望改进检查系统中的性能诊断和校准。
技术实现思路
1、本文中所提供的实施例公开了一种粒子射束检查装置，更具体地涉及一种使用一个或多个带电粒子射束的检查装置。
2、在一些实施例中，提供了一种对带电粒子检查系统执行自诊断的方法。该方法包括：基于带电粒子检查系统的输出数据来触发自诊断；响应于对自诊断的触发，接收带电粒子检查系统的子系统的诊断数据；基于子系统的诊断数据来识别与输出数据相关联的问题；以及根据所识别出的问题来生成控制信号以调整子系统的操作参数。
3、在一些实施例中，提供了一种对带电粒子检查系统执行自诊断的装置。该装置包括存储器，存储指令集合；以及至少一个处理器，被配置为执行指令集合以使得装置执行：基于带电粒子检查系统的输出数据来触发自诊断；响应于对自诊断的触发，接收带电粒子检查系统的子系统的诊断数据
4、在一些实施例中，提供了一种非瞬态计算机可读介质，存储指令集合，该指令集合可由计算设备的至少一个处理器执行，以使得计算设备执行对带电粒子检查系统执行自诊断的方法。该方法包括：基于带电粒子检查系统的输出数据来触发自诊断；响应于对自诊断的触发，接收带电粒子检查系统的子系统的诊断数据；基于子系统的诊断数据来识别与输出数据相关联的问题；以及根据所识别出的问题生成控制信号以调整子系统的操作参数。
5、在一些实施例中，提供了一种估计带电粒子检查系统的检测通道的带宽的方法。该方法包括：获取样品的多个检查图像，该多个检测图像使用不同的平均指数获得；确定最大平均指数，从该最大平均指数开始，增加平均指数无助于检查图像的清晰度；获取与多个检查图像中的第一检查图像相对应的第一信号和与多个检测图像中的第二检查图像相对应的第二信号，其中第一检查图像使用平均指数1获得，而第二检查使用最大平均指数获得；获取第一信号的第一信号频谱和第二信号的第二信号频谱；获取具有最大平均指数的比率的经移位的第二信号频谱，其中经移位的第二信号频谱和第一信号频谱分布在同一频率范围内；以及基于第一信号频谱和经移位的第二信号频谱来获取检测通道的经估计的部分频率响应。
6、在一些实施例中，提供了一种估计带电粒子检查系统的检测通道的带宽的装置。该装置包括存储器，存储指令集合；以及至少一个处理器，被配置为实施指令集合，以使得装置执行：获取样品的多个检查图像，该多个检测图像使用不同的平均指数获得；确定最大平均指数，从该最大平均指数开始，增加平均指数无助于检查图像的清晰度；获取与多个检查图像中的第一检查图像相对应的第一信号和与多个检测图像中的第二检查图像相对应的第二信号，其中第一检查图像使用平均指数1获得，而第二检查使用最大平均指数获得；获取第一信号的第一信号频谱和第二信号的第二信号频谱；获取具有最大平均指数的比率的经移位的第二信号频谱，其中经移位的第二信号频谱和第一信号频谱分布在同一频率范围内；以及基于第一信号频谱和经移位的第二信号频谱来获取检测通道的经估计的部分频率响应。
7、在一些实施例中，提供了一种非暂态计算机可读介质，存储指令集合，该指令集合可由计算设备的至少一个处理器实施，以使得计算设备执行估计带电粒子检查系统的检测通道的带宽的方法。该方法包括：获取样品的多个检查图像，该多个检测图像使用不同的平均指数获得；确定最大平均指数，从该最大平均指数开始，增加平均指数无助于检查图像的清晰度；获取与多个检查图像中的第一检查图像相对应的第一信号和与多个检测图像中的第二检查图像相对应的第二信号，其中第一检查图像使用平均指数1获得，而第二检查使用最大平均指数获得；获取第一信号的第一信号频谱和第二信号的第二信号频谱；获取具有最大平均指数的比率的经移位的第二信号频谱，其中经移位的第二信号频谱和第一信号频谱分布在同一频率范围内；以及基于第一信号频谱和经移位的第二信号频谱来获取检测通道的经估计的部分频率响应。
8、在一些实施例中，提供了一种对带电粒子检查系统执行自诊断的装置。该装置包括存储器，存储指令集合；以及至少一个处理器，被配置为实施指令集合，以使得装置执行：基于带电粒子检查系统的输出数据来触发自诊断；响应于对自诊断的触发，接收带电粒子检查系统的检测通道的诊断数据；基于诊断数据来估计检测通道的带宽；以及基于所估计的带宽来生成控制信号以调整与检测通道相关联的操作参数。
9、应当理解，以上一般描述和以下详细描述两者均只是示例性的和解释性的，而非对如可能要求保护的所公开的实施例的约束。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种对带电粒子检查系统执行自诊断的装置，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述诊断数据通过所述带电粒子检查系统的内置硬件部件获得。
3.根据权利要求2所述的装置，其中所述内置硬件部件包括电路系统，所述电路系统被配置为生成测试信号，并且采集由所述子系统响应于所述测试信号而生成的所述子系统的所述诊断数据。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述输出数据包括系统级输出数据，并且
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述特性包括图像失真程度、图像清晰度程度、图像灰度级或图像对比度。
6.根据权利要求4所述的装置，其中在触发所述自诊断时，所述至少一个处理器被配置为实施所述指令集合，以使得所述装置还执行：
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述输出数据包括所述带电粒子检查系统的操作期间的所述子系统的子系统级输出数据或所述子系统级输出数据的性能信息。
8.根据权利要求7所述的装置，其中在触发所述自诊断时，所述至少一个处理器被配置为实施所述指令集合，以使得所述装置还执行：
9.根据权
10.根据权利要求1所述的装置，其中所述诊断数据包括初级射束波动或轮廓信息、射束像差信息、射束限制孔径性能信息或检测通道性能信息。
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述检测通道性能信息包括所述检测通道的偏移信息或带宽信息、所述检测通道中包括的模拟信号路径的性能信息、所述检测通道中包括的转换器的性能信息、或所述检测通道的噪声信息。
12.根据权利要求10所述的装置，其中所述检测通道包括传感器层，所述传感器层包括感测元件，并且
13.一种非暂态计算机可读介质，存储指令集合，所述指令集合能够由计算设备的至少一个处理器实施，以使得所述计算设备执行对带电粒子检查系统执行自诊断的方法，所述方法包括：
14.根据权利要求13所述的计算机可读介质，其中所述输出数据包括系统级输出数据，并且
15.根据权利要求14所述的计算机可读介质，其中在触发所述自诊断时，能够由所述计算设备的至少一个处理器实施的所述指令集合使得所述计算设备还执行：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种对带电粒子检查系统执行自诊断的装置，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述诊断数据通过所述带电粒子检查系统的内置硬件部件获得。
3.根据权利要求2所述的装置，其中所述内置硬件部件包括电路系统，所述电路系统被配置为生成测试信号，并且采集由所述子系统响应于所述测试信号而生成的所述子系统的所述诊断数据。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述输出数据包括系统级输出数据，并且
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述特性包括图像失真程度、图像清晰度程度、图像灰度级或图像对比度。
6.根据权利要求4所述的装置，其中在触发所述自诊断时，所述至少一个处理器被配置为实施所述指令集合，以使得所述装置还执行：
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述输出数据包括所述带电粒子检查系统的操作期间的所述子系统的子系统级输出数据或所述子系统级输出数据的性能信息。
8.根据权利要求7所述的装置，其中在触发所述自诊断时，所述至少一个处理器被配置为实施所述指令集合，以使得所述装置还执行：
9.根据权利要求4所述的装置，其中所述输...
【专利技术属性】
技术研发人员：王勇新，B·拉方丹，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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