光波导层间耦合结构、电光调制器及光学陀螺仪制造技术

本申请涉及一种光波导层间耦合结构、电光调制器及光学陀螺仪，其中，光波导层间耦合结构包括：基底；光波导层，与基底层叠设置，光波导层包括包层以及被包层包覆在内的芯层，芯层沿第一方向延伸并与基底间隔设置；调制波导层，设置于光波导层背离基底的一侧并沿第一方向延伸，在光波导层间耦合结构的厚度方向上，芯层的正投影与调制波导层的正投影至少部分重叠；芯层在厚度方向上的延伸尺寸为L1，芯层在垂直于第一方向上的宽度为L2，L2/L1＝1.6～3.3。本申请提供的光波导层间耦合结构能够提高耦合效率、降低耦合损耗。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学传感，特别是涉及一种光波导层间耦合结构、电光调制器及光学陀螺仪。

技术介绍

1、光学陀螺仪是一种能够检测运动载体角速度的光学传感器，通常应用于武器制导、航天航空、自动化控制等领域，随着近年来相关领域技术的发展，光学陀螺仪逐渐向芯片化、集成化的方向发展，以波导代替光纤，从而将部分有源、无源器件在芯片上进行集成，使其体积减小、重量降低且运转更可靠。在此类芯片化的光学陀螺仪中，常使用铌酸锂相位调制器来调制光信号相位、改善传感器性能。但现有的相位调制器中，在将光信号由无源波导耦合至铌酸锂层时，其耦合效率低、损耗高。

2、因此，亟需一种能够提高耦合效率、降低耦合损耗的光波导层间耦合结构以及相应的电光调制器、光学陀螺仪。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种光波导层间耦合结构、电光调制器及光学陀螺仪，其中光波导层间耦合结构能够降低耦合损耗，提高耦合效率。

2、第一方面，根据本申请实施例提出了一种光波导层间耦合结构，包括：基底；光波导层，与基底层叠设置，光波导层包括包层以及被包层包覆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光波导层间耦合结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，L2/L1＝1.7～1.8。

3.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，所述包层包括二氧化硅，且在所述厚度方向上，所述芯层与所述调制波导层之间的间距为130～200nm。

4.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，380≤L2≤670nm。

5.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，所述芯层包括主体部以及在所述第一方向上靠近所述调制波导层设置的层间耦合部，沿远离所述主体部的方向，所述层间耦合部的宽...

【技术特征摘要】

1.一种光波导层间耦合结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，l2/l1＝1.7～1.8。

3.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，所述包层包括二氧化硅，且在所述厚度方向上，所述芯层与所述调制波导层之间的间距为130～200nm。

4.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，380≤l2≤670nm。

5.根据权利要求1所述的光波导层间耦合结构，其特征在于，所述芯层包括主体部以及在所述第一方向上靠近所述调制波导层设置的层间耦合部，沿远离所述主体部的方向，所述层间耦合部的宽度逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：许文渊，
申请(专利权)人：重庆自行者科技有限公司，
类型：新型
国别省市：