基材载具制造技术

本技术涉及基材载具，包括：底板(102)，包含第一区域(104)和第二区域(106)；第一区域(104)包括底板(102)的第一支撑表面(108)，第二区域(106)包括形成在底板(102)的第一支撑表面(108)中的凹陷(110)，第一区域(104)包括至少一个第一抽吸装置(112)提供真空力，第二区域(106)包括至少一个第二抽吸装置(114)提供真空力，所述至少一个第二抽吸装置(114)包括在所述至少一个第二抽吸装置的上表面上的第二支撑表面(116)，第二支撑表面(116)低于第一支撑表面(108)，第二支撑表面(116)包括围绕第二抽吸开口(120)的密封落座结构(118)。

【技术实现步骤摘要】

本公开内容大体上涉及用于保持基材的设备，更具体来说，涉及用于保持基材的真空辅助设备。

技术介绍

1、用于保持基材的设备可以用于各种应用。例如，诸如基材载具之类的设备被用于在生产区域中支撑和运输工件。例如，在激光加工过程期间，可以使用基材载具来支撑例如同时受到激光束辐射的玻璃片。在激光加工过程中，工件相对于会导致工件发生移动的激光束位移。

2、因此，专利技术人提供了用于保持基材的改进设备。

技术实现思路

1、在第1个实施方式中，基材载具包括：底板(102)，其包含第一区域(104)和第二区域(106)；其中，第一区域(104)包括底板(102)的第一支撑表面(108)以及第二区域(106)包括形成在底板(102)的第一支撑表面(108)中的凹陷(110)，其中，第一区域(104)包括至少一个第一抽吸装置(112)用于提供真空作用力，以及其中，第二区域(106)包括至少一个第二抽吸装置(114)用于提供真空作用力，其中，所述至少一个第二抽吸装置(114)包括在所述至少一个第二抽吸装置的上表面上的第二支撑表面(116)，其中，第二支撑表面(116)低于第一支撑表面(108)，以及其中，第二支撑表面(116)包括围绕第二抽吸开口(120)的密封落座结构(118)。

2、本公开内容的第2个实施方式可以包括第1个实施方式，其中，第一支撑区域构造成对没有一个或多个预先形成的功能部件的工件的第一部分进行支撑，以及其中，第二区域构造成对具有预先形成的功能部件的工件的第二部分进行支撑。

3、本公开内容的第3个实施方式可以包括第2个实施方式，其中，所述至少一个第一抽吸装置构造成在工件的第一部分与第一支撑表面之间提供低压力区域。

4、本公开内容的第4个实施方式可以包括第2至第3个实施方式中的任一项，其中，所述至少一个第二抽吸装置构造成在工件的第二部分与第二支撑表面之间提供低压力区域。

5、本公开内容的第5个实施方式可以包括第1个实施方式，其中，底板包括金属材料。

6、本公开内容的第6个实施方式可以包括第1个实施方式，其中，底板是作为整体形成的。

7、本公开内容的第7个实施方式可以包括第1个实施方式，其中，密封落座结构包括弹性材料。

8、本公开内容的第8个实施方式可以包括第7个实施方式，其中，弹性材料是硅或橡胶中的一种。

9、本公开内容的第9个实施方式可以包括第7个实施方式，其中，密封落座材料是以下一种：圆形、矩形或者五边形形状。

10、本公开内容的第10个实施方式可以包括第7个实施方式，其中，密封落座结构具有以下一种：圆形横截面、椭圆形横截面、矩形横截面、实心(solid)横截面或甜甜圈形横截面。

11、本公开内容的第11个实施方式包括前述实施方式之一，其中，第二抽吸装置形成底板的整体式部件。

12、本公开内容的12个实施方式包括前述实施方式之一，其中，第一支撑表面是第三抽吸装置的部件。

13、本公开内容的第13个实施方式包括第12个实施方式，其中，第三抽吸装置形成为底板的突出物。

14、本公开内容的第14个实施方式包括第12和第13个实施方式之一，其中，第三抽吸装置包括与第一抽吸装置对齐的第三抽吸开口。

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【技术保护点】

1.一种基材载具，其包括：

2.如权利要求1所述的基材载具，其中，第一支撑区域构造成对没有一个或多个预先形成的功能部件的工件的第一部分进行支撑，以及其中，第二区域构造成对具有预先形成的功能部件的工件的第二部分进行支撑。

3.如权利要求2所述的基材载具，其中，所述至少一个第一抽吸装置构造成在工件的第一部分与第一支撑表面之间提供低压力区域。

4.如权利要求2所述的基材载具，其中，所述至少一个第二抽吸装置构造成在工件的第二部分与第二支撑表面之间提供低压力区域。

5.如权利要求1所述的基材载具，其中，底板包括金属材料。

6.如权利要求1所述的基材载具，其中，底板是作为整体形成的。

7.如权利要求1所述的基材载具，其中，密封落座结构包括弹性材料。

8.如权利要求7所述的基材载具，其中，弹性材料是硅酮或橡胶中的一种。

9.如权利要求7所述的基材载具，其中，密封落座材料是以下一种：圆形、矩形或者五边形形状。

10.如权利要求7所述的基材载具，其中，密封落座材料具有以下一种：圆形横截面、椭圆形横截面、矩形横截面、实心横截面或甜甜圈形横截面。

11.如权利要求1所述的基材载具，其中，第二抽吸装置形成了底板的整体式部件。

12.如权利要求1所述的基材载具，其中，第一支撑表面是第三抽吸装置的部件。

13.如权利要求12所述的基材载具，其中，第三抽吸装置形成了底板处的突出物。

14.如权利要求12所述的基材载具，其中，第三抽吸装置包括与第一抽吸装置对齐的第三抽吸开口。

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【技术特征摘要】

1.一种基材载具，其包括：

2.如权利要求1所述的基材载具，其中，第一支撑区域构造成对没有一个或多个预先形成的功能部件的工件的第一部分进行支撑，以及其中，第二区域构造成对具有预先形成的功能部件的工件的第二部分进行支撑。

3.如权利要求2所述的基材载具，其中，所述至少一个第一抽吸装置构造成在工件的第一部分与第一支撑表面之间提供低压力区域。

4.如权利要求2所述的基材载具，其中，所述至少一个第二抽吸装置构造成在工件的第二部分与第二支撑表面之间提供低压力区域。

5.如权利要求1所述的基材载具，其中，底板包括金属材料。

6.如权利要求1所述的基材载具，其中，底板是作为整体形成的。

7.如权利要求1所述的基材载具，其中，密封落座结构包括弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：H·乌穆尔，M·A·沃尔弗特，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：新型
国别省市：